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  • GB/T 24580-2009  重掺n型硅衬底中硼沾污的二次离子质谱检测方法

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  • GB/T 24579-2009  酸浸取 原子吸收光谱法测定多晶硅表面金属污染物

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  • GB/T 24577-2009  热解吸气相色谱法测定硅片表面的有机污染物

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  • GB/T 24576-2009  高分辩率X射线衍射测量GaAs衬底生长的AlGaAs中Al成分的试验方法

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  • GB/T 24575-2009  硅和外延片表面Na、Al、K和Fe的二次离子质谱检测方法

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  • GB/T 24574-2009  硅单晶中Ⅲ-Ⅴ族杂质的光致发光测试方法

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  • GB/T 14264-2009  半导体材料术语

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