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基本信息

标准号: GB 4298-1984

GB 4298-1984半导体硅材料中杂质元素的活化分析方法

标准类别:国家标准(GB)

发布日期:1984-03-28

实施日期:1985-03-01

出版语种:简体中文

下载格式:.rar.pdf

相关标签: 杂质 元素 半导体

标准分类号

标准ICS号:29.040.30

中标分类号:冶金>>金属化学分析方法>>H17半金属及半导体材料分析方法

关联标准

出版信息

出版社:中国标准出版社

页数:18页

标准价格:13.0 元

出版日期:1985-03-01

相关单位信息

首发日期:1984-03-28

复审日期:2004-10-14

起草人:周云鹿、章家鼎

起草单位:有色金属研究总院

提出单位:有色金属总公司

发布部门:国家标准局

主管部门:中国有色金属工业协会

标准简介

本标准适用于单晶硅、多晶硅中金属杂质素和非金属杂质素含量的测定。本标准包括杂质素(十六个)的反应堆中子活化仪器分析方法、铜和砷的反应堆中子活化放射化分离分析方法、磷的反应堆中子活化放射化分离分析方法、氧的α粒子活化仪器分析方法和碳的氘子活化仪器分析方法。 GB 4298-1984 半导体硅材料中杂质元素的活化分析方法 GB4298-1984