标准号： GB/T 21287-2007
中文名称：电子工业用气体三氟化氮
标准类别：国家标准(GB)
标准状态：现行
发布日期：2007-12-14
实施日期：2008-07-01
出版语种：简体中文
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标准ICS号：化工技术>>化工产品>>71.100.20工业气体
中标分类号：化工>>其他化工产品>>G86工业气体与化学气体
出版社：中国标准出版社
页数：20页
标准价格：18.0 元
计划单号：20051092-T-469
出版日期：2008-07-01
首发日期：2007-12-14
起草人：余启富、宋再卿、刘新明、戴龙侠、方治文、牛学坤、金美兰、任清贵、王少楠
起草单位：湖北沙隆达天门农化有限责任公司、中国船舶重工集团公司第七一八研究所、核工业理化工程研究院特气中心、中核红华特种气体股份有限公司、黎明化工研究院等
归口单位：全国半导体材料和设备标准化技术委员会气体分会(SAC/TC 203/SC 1)
提出单位：全国半导体材料和设备标准化技术委员会气体分会(SAC/TC203/SC1)
发布部门：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
主管部门：国家标准化管理委员会