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基本信息

标准号: GB/T 21287-2007

GB/T 21287-2007电子工业用气体三氟化氮

标准类别:国家标准(GB)

发布日期:2007-12-14

实施日期:2008-07-01

出版语种:简体中文

下载格式:.rar.pdf

相关标签: 电子 气体 氟化

标准分类号

标准ICS号:化工技术>>化工产品>>71.100.20工业气体

中标分类号:化工>>其他化工产品>>G86工业气体与化学气体

关联标准

出版信息

出版社:中国标准出版社

页数:20页

标准价格:18.0 元

计划单号:20051092-T-469

出版日期:2008-07-01

相关单位信息

首发日期:2007-12-14

起草人:余启富、宋再卿、刘新明、戴龙侠、方治文、牛学坤、金美兰、任清贵、王少楠

起草单位:湖北沙隆达天门农化有限责任公司、中国船舶重工集团公司第七一八研究所、核工业理化工程研究院特气中心、中核红华特种气体股份有限公司、黎明化工研究院等

提出单位:全国半导体材料和设备标准化技术委员会气体分会(SAC/TC203/SC1)

发布部门:中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会

主管部门:国家标准化管理委员会

标准简介

本标准规定了瓶装电子工业用气体---三氟化氮的技术要求、试验方法、检验规则及包装、标志、运输、储存和安全。本标准适用于电子工业用三氟化氮。它主要用作电子工业中等离子体工艺等离子体刻蚀剂和化学气相沉积的清洗剂。 GB/T 21287-2007 电子工业用气体三氟化氮 GB/T21287-2007