本标准规定了真空技术方面的一般术语、真空泵及有关术语、真空计术语、真空系统及有关术语、检漏及有关术语、真空镀膜技术术语、真空干燥和冷冻干燥术语、表面分析技术术语和真空冶金术语。本标准适用于真空技术方面的技术文件、标准、书籍和手册等有关资料的编写。 GB/T 3163-2007 真空技术 术语 GB/T3163-2007 标准下载解压密码：www.bzxz.net

ICS23.160
中华人民共和国国家标准
GB/T3163---2007
代替GB/T3163—1993
真空技术
Vacuum technology-T'erminology(ISO 3529:1981 Vacuutr technologyVocabulary,MOD)2007-12-02发布
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局中国国家标化管理委员会
2008-06-01实施
一般术语
真空泵及有关术语
真空计
真空系统及有关术语：
检漏及有关术语·
真空镀膜技术，
其空干燥和冷冻干燥·
表面分析技术，
真空治金
附录A（资料性附录）
附录B（资料性附录）
附录（资料性附录）
附录D（资料性附录）
附录E（资料性附录）
中文索引
文索引
参孝文献，
在采用国际单位制(SI 制)之前使用的压力单位和换算系数符号表
真空泵分类表
本标准章条编号与ISO3529：1981章条编号的对照一览表本标准与1S0)3529：1981的技术性差异GB/T 3163—2007
GB/T3163—2007
本标准修改采用1503529-1;1981&真空技术术语第1部分：一般术语》英文版】、IS03529-2：1981真空技术术语第2部分：真空泵及有关术语》（英文版)和I50 3529-3：1981真空技术求
语第3部分：真空计》英文版）。本标准对JSO 3529-1:1981、ISO 3529-2:1981和ISO 3529-3:198[进行了整合非重新起草。在采用1S0 3529：1981真空技术术语多时.谢除了国际标准的前言，考患到技术的发展.本标准增加了一些条款，也做了一些编辑上的修改：IS0 3529-1:1981 中的附录 A为本标谁中的附录 A：ISO 3529-1:1981 中的附录 B为本标准中的附录 B;ISO3529-2:1981出的附录A为本标准中的附录C;1ISO3529-1:1981.1SO3529-2:1981和1SO3529-3：1981中的英文索引整合为木标准中的英文紫引。
本标推参考了[IN28400&真空技术术语及定义》的系列标准，增加了真技术术语的章节。分别是：
一第5 意:真空系统及有关术语：第6章：捡漏及有关术语：
一第7章：真空镀膜技术
-第8章真空于燥和冷冻干蝶：
第9章:表面分析技术；
———第10章：其空冶金。
在附录 D中列出了本标准章条编号与1SO 3529:1981《其空技术术语章条编号的对照一览表。将有关技术性差异缩人正文中并在它们所涉及的条目的页边空白处用垂直单线标识。在附录上中给出了这些技术性的差异及其原因的一览表以供参考。本标推增加广参考文献和中文紧引本标准代替G13/T31G3—1993真空技术术语》。本标准的附录 A、附录 B,附录 C,附录 D、附录 E均为资料性附录。本标准由中国机械业联合会提出。本标准由全国真空技术标推化技术委员会(SAC/TC18)归口。本标推起草单位：东北大学、沈阳真空技术研究所。本标准主要起草人：张世伟、生晓冬，巴德纯、张以忧、徐成海、王学智本标准所代替标准的历次版本发布情况为：-CB/T 3163—1982,GB/T 3163--1993。I
真空技术术语
GB/1 3163—2007
本标推规定了真空技术方面的一般术语，真空及有关术语、真空计术语、真空系统及有关术讲、检漏及有关术语、真空镀膜技术术语、真空于燥和冷冻干燥术语、表面分析技术术语和真空冶金术语。本标推适用于空技术方面的技术文件,标准、书籍利手册等有关资料的编写。2一般术语
标准环境条件standard ambient canditions温度：20℃
相对湿度：65%
干燥空气大气压力：101325Pa=1013.25mhal2.2
标准气体状态standard reference onditions for gases溢度：0℃
压力:101 325 Pa
vacuum
用米描述低干大气压力或大气质量密度的稀薄气体状态或基于该状态环境的通用术语。2.4
真空区域rangesof vacuum
事实上根据、定的压力间隔，划分了不同的真空范囤或真空度，而在选定真空度范围时，会有所不同，下面所列为大致认可的典型真空度范围：105 P=~10° Pa
102 Pa--10-! Pa
10-1Pa~105Pa
<10-i Pa
低（粗)真空
中真案
高真空（EV)
超高真空（UHV)
压力 pressure(符号:P;单位:Pa)a】气体作用于表面上的压力pressure uf a gas on a hmundary surface气体作用于表面上力的法向分量除以该面积(如果存在气体流动，规定表面方向与气体流动方向相对应）。
气体中某一特定点的乐力pressureataspecificlpointitaagax气体分了通过位于特定点的小平面时.其在小平面法向上的动量变化率除以该面积（如果存在气体流动，规定平面方向与气体流动方向相对应）。注：当在静止气体中使用术语“压力“时，是指气体稳态下流动的静正力。2.6
帕斯卡pascal(符号：Pa）
压力单位名称.其值等于每平力米一牛顿的作用力（国际单位制中的压力单位）。注：其地压力单位见附录A，但不排荐使用。1
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分压力Partial prtssure(如果B为特定成分.其符号为P：单位：Pa)亢体混合物中某一特定组分的压力，2.8
全压力tatal pressure(单位：Pa）当\压力”不能明确区分分压力和它们之和之问的区别时，常用来表示气体混合物所有组分分压力之和。
真空度degreeanf vacuum
表示真空状态下气体的稀薄程度.通常用压力值来表示。2.10
气体gas
不要分子间药束，能自电据择意可达空间的物巅。注在其空技术中，\气体“它泛据非可性气体和燕气。2.11
非可凝性气体nm-condensublegas温度处在愉界温度忘上的气体，即单纯增加压方不能使其凝结的气体。2.12
蒸气vapour
温度处在临界温度以下的气体.即单纯增加压力就能使其凝结的气体。2. 13
饱和蒸气压satmratinnvapourpressure（符号：Pi.单位：Pa）在给定溢度下，蒸气与其凝聚相处热力平衡时蒸气的东力。2. 14
饱和度degree of saturation
蒸气压力与它的饱和蒸气压力之比。2. 15
饱和蒸气 saturated vapour
在给定漏度下.压为等于其他和燕气压的蒸气。当蒸气与物质的凝聚相处于热力学平衡时、蒸气始终处于饱和状态。
未饱和蒸气unsaluraled vaour
在给定温度下，蒸气压力低于其饱和蒸气压的蒸气。2. 17
分子数密度nomherdensityofmolecules（符号：n：单位：m-\）1瞬间”，气体中某·点周围选定体积内的分子数除以该体积，2.18
concentration of molecules efa given component若B为给定成分.符号：：单给定成分分子浓度
位：m-*3
」瞬间,泥合气体中某一点周围选定容积内的给定成分分子数目除以该体积。2.19
单位质量密度unitarymass density_符号：P,：单位：kg/（m·Pa）气体的质量密度除以其压力。
1）（指辟间。更仰切地说，起指一段短的延续时间：的平均值·这段延续时间要合适.以便获得可拍的统计平均值2
平均自由程mean free path(符号:l, a,单位:m)GB/T 3163—2007
分子的平均自出程：一个分子和其他气体分子两欲连续碰撞之间所走过的平均距离，该平均值应是在足够多的分子数且足够长的时间间隔下得到的统计值（平均自由程也能用于其他相互作用形武的定义)。
碰撞率collision rate（符号：y;单位：s-1)在给定的时间间隔内，一个气体分子(或其他粒子)相对于其他气体分子（或其他规定粒子)运动所受到的平均碰撞次数，除以该时间间隔。该平均值应是在足够多的分子数且足够长的时间间隔下得到的统计值。
体积碰撞率volume collisian rate(符号:x ;单位： m-3 s-1)在给定的时问问限内，搬绕一点特定范围内的气体分于间（或选定的粒子阅）的平均碰撞次数，除以该时间和该空间的体积，所取的时间间隔和体积不能太小。2.23
气体量 quantity o gas(压力-体积单位)(符号;G:单位,Pa*m,Pa·L)处于平衡状态的理想气体所占体积与其压力的乘积。该值必须换算成标准环境溢度20℃或指明气体的温度。这样定义的气体量等于气体的质量除以其单位质量密度所得的商。注，汽体盘是气体新占体机内气内能（势能）的2/3。2.24
气体的扩散itfusiunofgas
由于浓度梯度引起的一种气体在另一种介质中的运动。介质可以是另一种气体(在这种情况下称为互扩散)或是一种可凝性介质。2.25
扩散系数diffusiancnefficient；diffusivity符号：D：单位：m\/s）气体通过单位面积的质量流率除以该面积法线方向的密度梯度的绝对值，2.26
滞流viscousflo
气体分半平均自由程远小于导敏小截面尺寸时气体通过导管的流动。流动取决于气体的黏滞性。流动可以是层流或瑞流。
黏滞系数viscousfactor
在流速度梯度方向单位面积上的切向力与速度梯度之比。2.28
伯误叶流Poiseuile flow
特指通过圆截面长导管的层流黏滞流动。2.29
分子流molecular门ow
气体平均自由程远大于导管最大截面尺寸时气体通过导管的流动。2.30
中间流intermediate flou
在层流黏滞流和分子流之间的中间状态下，气体通过导性的流动。GB/T 3163—2007
克努曾数numberofKnudsen
气体分子的平均白出程与导管直径之比。2.32
分子泻流molecalareffusion;effosiveflow孔口的最大尺寸小于气体平均自由程时，气体通过孔口的流动。2.33
流逸lranspiration
由压力差引起的气体通过多孔固体的流动。2.34
热流逸thermal transpiralion
在两相连容器之间，由丁容器温度不同引起的气体流动：当气体迁移达到平衡时，两容器间产生压力梯度。
分子流率，分子通量moleculeftowrate，molccularflux（符号：q；单位：s-\）通过一个给定表面S的分子流率：在给定时间间隔内,从给定方问通过5的分子数月与反向穿过S的分于数目之差，除以该时间。2.36
分子流率密度.分子通量密度molecule flow rate density,density of nkoleclar flux(单位:s-1 m-)分子流率除以表面5的面积。
流量Ihroughput(符号;qci单位:Pa·m/s.Pa·L/s)在给定时间闻隔内，流经截面的气体迅（压力-体积单假除以该时间。它亦是质风流率除以单位质量密度。
质量流率mass low rate(符号：9m单位：kg/s）通过给定表面S的质量流率为：在给定时间间隔内.通过S的气体质盘除以该时问。2.39
体积流率votume flow rate(符号:gx:单位:m /s)通过给定表而S的体积流率为:在特定的温度和压为下,给定附间间隔内,通过S的气体体积除以该时间。
摩尔流率molar flow rale(符号：q.：单位：kg ·mnl/s)通过给定表面S的瞬尔流率为：在给定的时间间隔内·给定气体通过S的摩尔数除以该时间。2.41
麦克斯韦速度分布 Maxwellian velncily distribution是基于麦克斯韦一波尔兹受速度分布痫数的速度分布：对于给定温度，处于平衡状态并且距器壁距离大于分子平均自由程处的气体分子的速度分布。2.42
传输几率transmissionprobablltiy（符号：P）随机进人管道人口的气体分子通过管道出口而没有沿相反方向返回人口的儿率。2.43
分子流导molecule conductance(符号：CU；单位：m*/s,L/s)GB/T 3163—2007
孔山或管道两特定截面之间的分子流导为：分子流率除以小孔两侧或管道两截面间的平均分子数密度差。
流导conduclanre（符号：C,U：单位：m/s.L/s）管逆或导道的一都分或孔口的流导为：等温条件下，流最除以两个特定截面间或孔口两侧的平均压力差。
固有流导intrinsicconductanee（符号：C,，U,，单位：m/s，l/s）容器气体分子按走克斯韦速度分布的条件下，连按两个容器的管道（或孔口）的流导。在分子流态下，等于人口流导与传输几率的乘积。2.46
流阻 resistance(符号:w;单位：s/m,s/L)流导的倒数。
吸附sorptinn
固体或体(吸附剂)对气体或蒸气（吸附质）的捕集。2.48
表面吸附adsorption
气体或蒸气(吸附质)保持在固体或液体(吸附剂)表面上的吸附。2.49
物理吸附physisorption
由于物理力产生的，面非化学键产生的吸附。2.50
化学吸附chemisarption
形成化学键的吸附。
吸收absorption
气体（吸收质）扩散进人固体或液体（吸收剂)内部的吸附，2.52
适座系数accommodaljonfaclor「符号·人射粒子和表面间实际交换的平均能量与人射粒子和表而达到完全热平衡时应该交换的平均能滑之比。
入射率impingement ratet符号:v;单位;m-2。s-1 )给定时间问隔内人射到表面上的分子数除以该时间和表面面积。2.54
凝结率condensation rate
给定时间间隔内·凝结在表面上的分子数（物质的数量或质量)除以该时间和表面面积。2.55
黏萄率stlcking rate
给定时问间隔内，吸附在表面上的分子数目除以该时间间隔和表面而积。5
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黏着几率slicking probahility(符号：P,）黏着率与入射率之比。
滞留时间residence time(符号：t:单位：s)吸附于表面上的分子被表面约束的平均时间。2.58
迁移migration
分子在某一表面上的运动。
解吸desorptinn
被材料吸附的气体或燕“的释放现象。释放可以自然进行，也可用物理方法加速。2.60
去气degassing
气体从某一材料上的人为解吸。2. 61
放气wuigassing
气体从某一材料上的自然解吸。2.62
蒸发率evapnrafinn ratei单位:m-1 s-l,kg *mol/t m s).g/(m* . s)]给定时间间晰内，从某一表而上燕发的分子数（物质数量或物质质量）除以该时间和然发表面积。2. 63
解吸（或放气或去气）率desorptionor autgasstng:or degassing）rate<符号：gx.，单位：Pa·m/s.m-1 . s-1)
在给定时间内，冷凝材料上解吸（或放气或去气）的气流量（或分子流率）除以材料表面积，2.64
渗透permeatinn
气体通过某一固定体限挡层的过程。该过程包括气体在固体内的扩散堪包括各种表而现象。2.65
透率permtahilityt符号力
处于稳定流动状态下的某种气体通过某一固体阻挡层的渗透率为：通过阻挡层的气体流量除以数值，该值起固体整而两侧体压力的病数。这个函数的形式取决于实际渗透所包括的物理过程。2.66
添透系数permeability coefficient(符号：P)渗透率和阻持层厚度的乘积，除以阳挡层的面积。3真空泵及有关术语
3.1真空泵
yacuum pump
真空泵
获得改善和（或）维持其空的一种装置。可以分为两种类型：气体传输泵（3.1.2和3.1.3)和辅集6
系(3. 1.4)。
变容（真空）泵pusitivedisplacement（vacuum）pumpGB/T3163—2007
充满气体的泵腔，其人口被周期性地隔离，然后将气体输送到出口的一种其空。大多数的变容真空泵，气体在排出之前是被压缩的。它可分为两类，往就式变容其空泵（3.12.2）和旋转式真空泵(3. 1. 2. 3~-3. 1. 2. 5) .免费标准下载网bzxz
3.1.2.1变容泵的有关术语
3. 1. 2. 1. 1
气镇（真空）泵gasballast(yacuum）pump在泵正缩腔内·放人可控的适量非可凝性体以降低（被抽气榨)在泵中凝结程度的一种变容真尘泵。 这种装肾可装在 3. 1.2. 1. 1 -3. 1, 2. 4. 3 类型的泵上。3, 1. 2. 1. 2
油封（液封）真空oi-sealked(liquid-sealed）acuumpump用泵油来密封相对运零部件间的间隙，减少压缩腔未端残余死空间的一种旋转式变容其空泵。3. 1. 2. 1. 3
干式真空泵dry-sealedvacunmpump(dryvacuumpump）不封（或被封)的变容真空录。
3. 1. 2. 2
活塞真空泵pistonvacuumpump
由泵内活赛往复运动将气体压缩并排出的一种变容真空象：3. 1. 2. 3
液环真空泵tiguidringvaruumpump泵内装有带固定叶片的偏心转子，将液体抛间定子壁·液体形成与定子间心的液环液环与转子叶片一起构成叫变容积的一种旋转变容真空。3.1.2.4使用滑动离的旋转真空泵3. 1. 2. 4. 1
旋片真空泵sfidingyanerotaryvacumnpumptrotaryvanevacuumpump）泵内偏心安装的转子与定子固定面相切，两个（或两个以上）旋片在转子错内滑动（通常为径向的）并与定子内相接触·将亲腔分成几个可变容积的一种旋转必容真率录。3. 1. 2, 4. 2
rotary piston vacuum pump
定片真空泵
泵内偏心安装的转了和定了内壁相接触转动，相对于定子运动的片与转子压紧并把象腔分成可变容积的-种变容点空泵。
3. 1. 2. 4. 3
rolary plunger acuum pump
滑阀真空泵
泵内偏心安装的转子相对定了内壁转动·间定在转子上的滑阀在定子适当位置可摆动的导轨中滑动，并将定于腔分成两个可变容积的·种变容真空录。3. 1. 2. 5
罗茨真空泵Raotsvacuumpump
泵内装有两个方向相反间步旋转的叶形转子，转子叫、转子与泵壳内壁有细小间隙而互不接触的-种变容真空泵。
GB/T 3163—2007
3. 1. 2. 6
余摆线泵trochoid pump
泵内装有一断面为余樓线型的转子(例如：椭圆),其重心沿圆轨道运动的一种旋转变容泵。3. 1. 3
动量真空泵kineticyacuumpump
将动址传递给气体分子，使气体由人口不断地输送到出口的一种其空案，可分为二类：液体输送泵和牵引真空。
3. 1.3. 1
涡轮真空泵lurbinevacuumpump
录内由一高速施转的转子去传送大量气体，可以获得无擦动密封的一种旋转动量泵。泵内气体既可以平行于转轴方向流动（轴流泵）也可以垂值于旋转轴方向流动（径流泵）。3. 1.3. 2
喷射真空泵ejectnrvacuum pump利用文丘里（Veaturi)效应产生压力降，被抽气体被速气流携带到出的一种动量泵。喷射泵在黏滞流和中间流态下工作。
3. 1. 3. 2. 1
液体喷射真空泵liquld jet vacuum pump以液体（通常为水)为传输流体的一种喷射泵，3. 1. 3. 2. 2
气体喷射真空泵gasjetyacuumpnmp以非可凝性气体为传输流体的一种喷射泵。3. 1. 3. 2. 3
蒸气喷射真空泵vapourjetvacuunpump以蒸气(水、汞或油蒸气)为传输流体的一种喷射泵。3.1.3.3
扩散泵dirfusionpump
以低压、离速然气射流为工作介质的一种动量泵。气体分子扩散到蒸气射流内并被携带到出口。在蒸气射流内气体分子数密度总是较低。扩散泵在分子號态下工作。3. 1. 3. 3. 1
自净化扩散泵self-purifyingdirfuskonpump工作液中的挥发性杂质不能返回锅炉而被输送到出口的一种特殊油扩散泵。3. 1. 3. 3. 2
分馏扩散泵fractianating diffusion punp将工作介质巾密版高、蒸气压力低的馏分供给最低压力级，而将密度小，蒸气压高的馏分供给高压力级的种多级油扩散泵。
3. 1. 3. 4
扩散喷射泵diffusion-ejecturpump泵内前一级或几级具有扩散泵的特性，而后一级或几级具有喷时泵特性的一种多级动证渠。3. 1. 3. 5
牵引分子泵moleculardragpump
泵内气体分子和高速转子表而相碰撞而获得动量，使气体分子间泵出口运动的一种动量泵。8
3, 1. 3. 5. 1
涡轮分子泵lurbo-molecutarpumpGB/T3163—2007
泵内由开圆盘或叫片组成的转子，在定子1的相应圆盘间转动，转子圆周线速度与气体分子度为同：-数盘级的--种牵引分子泵。涡轮分子泵通常工作在分了流态下。3.1.3.6
离子传输泵ion transfer pump
泵内气体分子被电离，然后在电磁场或电场作用下向出口输运的一种动量聚。3. 1. 4
entrapment(capturc)vacuum pump捕集真空泵
气体分子被吸附或冷凝而保留在泵内表面上的-种真空泵。3. 1.4,1
吸附泵adsorptionpump
泵内气体分子主要被具有大的表面积材料（如多孔物质）物理吸附而保留在泵内的一种捕集泵。3. 1.4.2
吸气剂泵getterpump
系内气体分子主要与吸气剂化合而保留在票内的一种捕集泵。吸气剂通常是一种金属或合金，并以散装或积成新鲜薄膜的状态存在。3. 1. 4. 3
升华（蒸发）泵sunblimation(evaporatiun）pump聚内吸气剂材料被升华（蒸发)的一种捕集泵注：本文内升华和蒸发为相似概念。3. 1. 4. 4
吸气剂离子泵getterionpump
泵内气体分子被电离.在电磁场或电场作用下输运到泵内表面.并被吸气剂吸附的一种捕集泵。3. 1. 4. 4. 1
升华（蒸发）离子蒙suhlimation（evaporation）ionpump录内被电离的气体被输运到由连续或不连续蒸发或升华所获得的吸气剂上的一种吸气剂离于泵。3. 1. 4. 4. 2
溅射商子sputferionpump
案内被电离的气体输运到由阴极连续溅射所获得的吸气剂上的一种吸气剂离子案。3. 1. 4. 5
低温泵cryopump
由被冷却至可以凝结残余气体的低温表面组成的一冲捕集泵。冷凝物因此保持在其平衡蒸气压力等于或低于真空室要求压力的温度下。注：泵冷面的温选择依赖于被油气体的性质,应低于120K。3.2泵的零部件
泵壳pumpcase
将低压气体与大气隔开的泵外壁。3. 2.2
入口inlel
被抽气体被真空泵吸人的入。
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