本标准规定了氧化铟锡靶材的要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和储存。本标准适用于氧化铟锡靶材。 GB/T 20510-2006 氧化铟锡靶材 GB/T20510-2006 标准下载解压密码：www.bzxz.net

ICS 77. 150. 60
中华人民共和国国家标准
GB/T20510-—2006
氧化铟锡靶材
Indium-tin oxide target
2006-09-26 发布
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局验你
中国国家标准化管理委员会
2007-02-01实施
-iikAoNiKAca-
GB/T 20510—2006
本标准是根据我国氧化钢锅靶材的生产实践，参考德国贺利氏（Heraeus）美国Umic(ore公司氧化钢靶材产品标准制定的，
本标难附录A为规范性附录。
本标准由巾国有色金属下业协会提出。本标准山全国有色金属标滩化技术委员会归口片负责解释本标滩由株洲冶炼集团有限责任公司负责起肖，本标准主要起草人:钟鸣、彭小苏、陈卫飞、陈阳、李晨辉、谭仪文。本标准首饮制定。
1范围
氧化锡靶材
GB/T 20510—2006
本标推规定了氧化钢锅（简称1TO)靶材的要求、试验方法、检验规则改标志、包装、运輪和贮存，本标适用于氧化铟靶材.
2规范性引用文件
下列文件的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡屋注日期的用文件，其随后所有的修改单（不包括勘误的内容）或修订版均不适用于本标准，然而，鼓励根据本标准达成协议的各方研究是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本适用于本标推，GB/T351金属材料电阳系数测量方法G1/T1250极限数值的表示方法和判定方法GB/T5163可渗性烧结金属材料密度的测定GB/T8170数值修约规则
GB/T16535—1996工程陶瓷线滕账张系数试验方法3术语和定义
下列术语和定义适用于本标准。3. 1
apparenl densily
表密度
每单位体积物质的质量。
相对密度 relative density
物质的密度与参照物的密度的比值，本标准中是指化铟锡靶材的表观密度与理论密度之比（本标准中氧化铟锡靶材当In.O,：Sm0,=0)：I0 时,埋论密度为7.15 /cm）。3.3
失氣率deoxygenatlon coefficient氧化钢锡靶材脱氧的百分率。
电阻率resistivity
在单位长度上通过试样横截面积的电阻。是衡鼠物质导电性能好坏的一个物理量，以字母P表示，单位为 mm/m。在数值上等于长 1 m,截面积为1 mm的导体,在温度 20时的电阴值。3.5
线膨胀系数linear cxpansivity在指定温唑范围内，氧化铟羯靶材在单位温度下相对伸长最的平均值。用式1)表示：AL
式中：
α—平均线膨胀系数，单位为每摄氏度（℃-）：室温至所测温度的仲长量，单位为旁米（mm）；-..( 1 )
GB/T205102006
4要求
室温至所测温度的温度差,单位为摄氏度（℃）：试样在室温下的长度.单位为毫米(mm）。4.1产品分类
氧化铟锡靶材按其相对密度分为二个牌号：RD99、RD98.RL97。4.2化学成分
4.2. 1要成分
1n0,：SnO- 90 10(质量分数）,偏差为二0.%（质量分数）。4.2.2氧化铟锡靶材的杂质成分应符合表1的规定。表1氧化锶锡靶材杂质成分
杂质量（×10)不大
4.2.3需方如对氧化翻靶材的化学成分有特殊要求时，出供需双力商定。4.3物理性能
-iiKAoNiKAca-
单位为质量分数（光）
4.3.1对密度：RD99、RD98,RD97牌号的氧化钢锅靶材相对密度应分别99%,98%,97%。密度均匀性偏差±0.2%.
4.3.2电阻率，2.00mm/m
4.3.3线膨胀系数：(2~9)×105℃4.3.4失氧率：10%。
4.4物理规格
氧化钢锡靶材呈片状或其他形状，其尺小及偏差供需双方商定。4.5表面质量
4.5.1氧化锡靶材颜色应均勾。
4.5.2氧化钢靶材表面应半整，无裂纹，无明显射边，气孔直径不大于0.5m.且无任何外来夹杂物和污染物。
4.6内部缺陷
氧化铟锡靶材内部无裂纹.无异物，气孔直径不人于0.5nm。5试验方法
5.1化学成分仲裁分析方法
氧化铟锡靶材的化学成分裁分析方法由供需效力商定，5.2物理性能检验方法
5.2.1相对密度检验方法
氧化钢锡靶材相对密度的测定，按GB/T5163的规定测定氧化钢锡靶材的表观密度，然后与氧化锅锣靶材的理论懿度之比值，得出化铟锡靶材的相对密度5.2.2电阻率检验方法bzxz.net
氧化铟锡靶材电阻宋的测定按GR/T331的规定进行，5.2.3线膨胀系数检验方法
氧化锡靶材线膨账系数的测定按(G13/16535的规定进行。5.2.4失氧率检验方法
氧化钢锡靶材的失载率的测定按本标准附录A的规定进行，5.3氧化铟锡靶材的物埋规格卡尺测量5.4氧化锅靶材的表面质量用目视法检验，5.5氧化钢锡靶材的内部缺陷用超卢波扫描显微镜检验，6橙验规则
6.1检查和验收
GB/T 20510--2006
6.1.1氧化铟锡靶材应由供方技术监督部门进行检验，保证产品质量符合本标准或订货单（合同)的规定.并填写质量证明书(合格证)。6.1.2需方应对收到的产品按本标准的规定进行检验，如检验结果与本标谁或订货单（合同)的规定不符时，应在收到产品之日起30d内向供方提出，由供需双方协商解决。如需仲裁，仲裁取样在需方共同进行：
6.2组批
氧化铟锡靶材应成批提交检验,每批应由同炉次或同一靶坏切割下来的产品组成，6.3检验项目
存批氧化钢靶材应进行化学成分、物理性能、物理规格表面质量及内部缺陷的检验，6.4仲裁取样和制样
仲裁取样和制样应符合表2的规定，表2
检验项目
化学成分
相对密度
电阻率
线肤系敏
先氧率
物理规情
衣面质量
内部缺陷
取样规定
化学分析仲裁样的采取和制备方法由供需双效方商定！每批按10%取样·但不少于1片(件),每片(件)沿靶材的中心线等距分取20 mm×20 mm的样品 3-~4块，用超声波清洗器清洗干净后进行检验每批按10取样,但不少下1片(件),每片(件)沿靶材的边切下識面为心mm×6mm、长120mr的矩形长条试样 2个。用超声波清洗器清洗干净后进行检验每批按10取样,不少【片(件),每片(件)沿靶材的边切割下G1i/T\6535中规定的标准战样长度形状-致的试杆2个，用超而波清洗幕清洗十净后进行检验
每批按16§取样,但不少于1片(件),每片:件)切制出大小不等的块状样，取样总重垫不小于400遥片(件)拾查
逐片(件)检查
，连片|件)检查
6. 5检验结果的判定
要求的条号
试验方法的章条号
6.5.1氧化锡靶材检验结果的数值修约按GB/I 8170 中的有关规定进行，修约后的数值的判定按GB/T 1250中的有关规定进行。
6.5.2氧化钢锡靶材的化学或分、物理性能的检验结果与本标准1.2、1.3的现定不符时，按批判峻。3
GB/T 20510—2006
iiKANrKAca-
6.5.3氧化钢鼠靶材的物理规格.表面质量和内部缺陷与本标准1.1、1.5、1.6的规定不符时，按片(件)判峻，
7标志、包装、运输和贮存
7.1标志
每片（件）氧化钢锡靶材的包装上应标汁注册商标（或企业标志），产品名称、批牌及产品合格标志。
7.2包装
每片氧化铟锡靶材应单独采用真空包装，并采用相应的防震措施。7.3运输和贮存
运输及存过程中应注意防震,防潮,防压，防止二次污染。7.4其他
需力如对氧化铟锡靶材的标志，包装、运输与些存有特殊要求时，山供需双力商定5质量证明书（合格证）
每批氧化钢靶材出厂时应附质量证明书（合格证），其上注明a）供方名称和商标；
b）产品名称：
c）牌号：
l）批号；　
e）净重和件数，
）分析检验结果和技术监督部门印记；g）本标准编号：
h）出广『期。
8订货单（或台同)内客
本标准所列材料的订货单(或合同)内应他括下列内容：）产品名称；
h）产品牌号；
c）化学成分,物理性能、物理规格、表面质最等特殊要求；d）数；
c）本标滩编号；
共他需要协商或增加标准以外要求的内容。4
A.1范围
附录A
（规范性附录）
氧化铟锡(ITO)靶材失氧率测定方法本附录规定了氧化(IT())靶材头氧率的测定方法，本附录适用于各种方法制备的氧化铟锡靶材失氧率的测定。A.2方法原理
辑化铟锡靶材失氧率应按式(A.1)计算：尖氨率
理论含氨敏一样品密际含氧量×100%埋论含氧量
GB/T 20510—2006
由于氧化钢锡靶材中氧为基体元素，含量很高，无法准确测定：本标准采用热增重法测定氧化钢锣靶材的失氧率：先测定氧化钢锡靶材的实际重量，然后将靶材制成粉体.升湿氢化至恒垂.根据升温氧化后所增的重量,推算出靶材的失氧率,按式A,2)计算：氧化后的担重氧化前的摄重×100%失氧斑三
氧化后的恒重文现论智萄量
...(A.2
本标推按90%In:()与10%Sn(：配比的含氧量为理论含鼠进行Ⅱ算,理论含氧鼠为17.7%。A.3仪器设备
A.3.1 马州炉。
A.3.2天平感量：0.1mg）
A.3.3氧化铝地。
A.4试样
A.4.1去除氧化钾锡靶材样品表面的脏物和油污：A.4.2将清洗T净的样品破碎、研磨，全数通过150 μm(1(o月)筛。A.4.3制样过程中不能带入低何响检测结果的杂质。A.5测定步
A.5.1将试样置于温度为120℃—5℃烘箱中，烘下至慎重：A.5.2推称取20 g~200g试样（精确至0.0001g）,装人氧化铝圳蜗中,放进马兆炉。A.5.3按 5℃/nin-~10%/min的升温速度,根据靶材的具体情况升至 700℃.~800℃保温 3 h,随炉冷却至200℃以下,取出：放人下燥器中冷至恒重后称重。A.5.4每个样品应平行测定2 次，取其平均值。5
GB/T 20510—2006
结果计算
按式(4.3)计算失氧率
式中：
一氧化铟锡靶材的失氧率；
氧化后的恒重，单位为克(g)；
w。—氧化前的恒重，单位为克（g)17.75%
W×17.7%×100%
90%In，（，与10%的Sn0：配比制备的靶材的理论氨含量（%）。测定结果表示至二位小数。
ikANrKAca-
GB/T 20510-2006.
中华人民共
国家标
氧化锅靶材
GB/T 20510—2006
中国标准出版社出版发行
北京复兴门外三里河北街16号
邮政编码：100045
网：bacbs.com
电话：6852314668517548
中国标准出版社皇岛印刷！印刷各地新华书店经销
开本880×12301/16
20G7年2川第-版
印张0.75
学数12字
2007年2月第一次印刷
书号：155066·1-28751
定价10.0元
如有印装差错
由本社发行中心调换
版权专有
侵权必究
举报电话：（010）68533533
小提示：此标准内容仅展示完整标准里的部分截取内容，若需要完整标准请到上方自行免费下载完整标准文档。