本规范适用于新建、扩建和改建的电子工业洁净厂房设计。 GB 50472-2008 电子工业洁净厂房设计规范 GB50472-2008 标准下载解压密码：www.bzxz.net

中华人民共和国国家标准
GB 50472 - 2008
电子工业洁净厂房设计规范
Code for design of electronic industry clean room2008-12-15发布
2009-0701实施
中华人民共和国住房和城乡建设部中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局联合发布
中华人民共和国国家标准
电子工业洁净厂房设计规范
Code for design of electronic industry clean roomGB50472-2008
主编部门：中华人民共和国工业和信息化部批准部门：中华人民共和国住房和城乡建设部施行日期：2009年7月1日
中国计划出版社
2009北京
中华人民共和国国家标准
电子工业洁净厂房设计规范
GB50472-2008
中华人民共和国工业和信息化部中国计划出版社出版
（地址北京市西城区木棒地北里甲11号国宏大厦C座4层）3电话63906433
（邮政编码100038
新华书店北京发行所发行
世界知识印刷厂印刷
63906381）
850×1168毫米1/3255印张
139千字
2009年5月第1版2009年5月第1次印刷印数110100册
统一书号1580177：176
中华人民共和国住房和城乡建设部公告第200号
关于发布国家标准
《电子工业洁净厂房设计规范》的公告现批准《电子工业洁净厂房设计规范》为国家标准，编号为GB50472-2008，自2009年7月1日起实施。其中，第3.2.5、4.3.3(1)、5.4.2、5.5.6、6.2.1、6.2.6、6.2.7、6.2.8、6.2.9、6.3.1、7.1.6、7.5.1、7.5.3(1、2、4、5、6、7、8)、7.5.4、7.5.6、7.6.1、7.7.2、7.7.7(2、3)、8.3.1、8.3.2、8.5.1、8.5.2(1)、8.5.3(3)、9.2.3(3、4、5)、10.15、10.1.6、10.1.7(2、3)、10.1.8(1、3、4)、10.2.5、10.2.6、10.4.2、10.4.3(1、2、3)、10.4.5、11.2.1(1、2、3、5、6、7、8)、11.2.2、112.3、11.2.5、11.3.1、12.1.8、12.2.3(1)、12.2.4、12.3.2、12.3.4(1、3)、12.3.6、12.3.7、12.38、12.4.4、13.2.1(2、3)、13.3.4条(款)为强制性条文，必须严格执行。本规范由我部标准定额研究所组织中国计划出版社出版发行。中华人民共和国住房和城乡建设部二0〇八年十二月十五日
本规范是根据建设部“关于印发《2005年工程建设标准规范制订、修订计划（第二批）》的通知”（建标函【2005】124号）的要求，由中国电子工程设计院会同有关单位编制完成的。本规范在编制过程中，编制组结合我国电子工业洁净厂房设计建造和运行的实际情况，进行了广泛的调查研究，收集整理相关的专题报告、测试资料，认真总结多年来电子工业洁净厂房设计建造和运行方面的经验，广泛征求了国内有关单位的意见，最后经审查定稿。
本规范共分15章和4个附录。主要内容有：总则、术语、电子产品生产环境设计要求、总体设计、工艺设计、洁净建筑设计、空气净化和空调通风设计、给水排水设计、纯水供应，气体供应、化学品供应、电气设计、防静电与接地设计、噪声控制、微振控制等。本规范中以黑体字标志的条文为强制性条文，必须严格执行。本规范由住房和城乡建设部负责管理和对强制性条文的解释，由中国电子工程设计院负责具体内容的解释。本规范在执行过程中，希望各有关单位结合工程实践，认真总结经验，若发现需要修改和补充之处，请将意见和有关资料寄至中国电子工程设计院《电子工业洁净厂房设计规范》管理组（地址：北京市海淀区万寿路27号，邮政编码：100840，传真：010--68217842，[email protected]），以供今后修改时参考。本规范主编单位、参编单位和主要起草人：主编单位：中国电子工程设计院参编单位：信息产业电子第十一设计研究院有限公司上海电子工程设计研究院有限公司.1
深圳市电子院设计有限公司
中国电子系统工程第二建设有限公司北京中瑞电子系统工程设计院
主要起草人·陈霖新秦学礼显阳张利群
侯忆穆京祥赵海
高艳敏
肖红梅李杰李锦生
长钟景华牛光宏
邹英杰
焦明伟
路振福
张晓敏
王唯国
王毅勃
章光护
周志刚
电子产品生产环境设计要求
一—般规定
生产环境设计要求
总体设计
位置选择和总平面布置
洁净室型式
洁净室布置和综合协调
5工艺设计
般规定
工艺布局
人员净化
物料净化
设备及工器具
6洁净建筑设计
一般规定
防火和疏散
室内装修
空气净化和空调通风设计
一般规定
气流流型和送风量
净化空调系统
空气净化设备
（6）
（15)
采暖、通风
76排烟
风管、附件
给水排水设计
一般规定
消防给水和灭火设备Www.bzxZ.net
纯水供应
-般规定
纯水系统
管材、阀门和附件
气体供应
一般规定
常用气体系统
干燥压缩空气系统
特种气体系统
化学品供应
一般规定
化学品储存、输送
管材、阀门
电气设计
通信与安全保护装置
自动控制
防静电与接地设计
（23)
（35）
（41)
一般规定
防静电措施
防静电接地
14噪声控制
一般规定
噪声控制设计
微振控制
附录A
一般规定
容许振动值
微振动控制设计
各类电子产品生产对空气洁净度等级的要求：附录B
电子产品牛生产间/工序的火灾危险性分类举例
附录C
精密仪器、设备的容许振动值举例附录D洁净室（区）性能测试和认证本规范用词说明
附：条文说明
（49）
（51)
（53）
1总则
1.0.1为在电子工业洁净厂房设计中，做到技术先进、经济适用安全可靠、节约资源、降低能耗、确保质量，并符合劳动卫生和环境保护的要求，制定本规范。
1.0.2本规范适用于新建、扩建和改建的电子工业洁净厂房设计。
1.0.3电子工业洁净厂房的设计应满足需洁净环境的电子产品生产工艺要求，并应根据具体情况为今后产品生产发展或生产工艺改进的需要预留条件。
1.0.4电子工业洁净厂房的设计应为施工安装、调试检测和安全运行、维护管理创造必要的条件。1.0.5电子工业洁净厂房设计除应执行本规范外，尚应符合国家现行有关标准的规定。
2术语
2.0.1洁净室cleanroom
空气悬浮粒子浓度受控的房间。它的建造和使用应减少室内诱人、产生及滞留粒子。室内其他有关参数如温度、湿度、压力等按要求进行控制。
2.0.2洁净区cleanzone
空气悬浮粒子浓度受控的限定空间。它的建造和使用应减少空间内诱入、产生及滞留粒子。空间内其他有关参数如温度、湿度、压力等按要求进行控制。可以是开放式或封闭式。2.0.3人员净化用室roomforcleaninghumanbody人员在进入洁净室（区）之前按一定程序进行净化的房间。2.0.4物料净化用室roomforcleaningmaterial物料在进入洁净室（区）之前按一定程序进行净化的房间。2.0.5粒径partical size
由给定的粒子尺寸测定仪响应当量于被测粒子等效的球体直径。对离散粒子计数、光散射仪器采用当量光学直径。2.0.6悬浮粒子airborneparticles用于空气洁净度分级的空气中悬浮粒子尺寸范围在01～5um的固体和液体粒子。
2.0.7含尘浓度particleconcentration单位体积空气中悬浮粒子的颗数。2.0.8洁净度cleanliness
以单位体积空气某粒径粒子的数量来区分的洁净程度。2.0.9空态as-bult
设施已经建成，所有动力接通并运行，但无生产设备、材料及·2·
人员。
2.0.10静态at-rest
设施已经建成，生产设备已经安装，并按业主及供应商同意的状态运行，但无生产人员。
2.0.11动态operational
设施以规定的状态运行，有规定的人员在场，并在商定的状况下进行工作。
2.0.12气流流型airpattern
室内空气的流动形态和分布。
2.0.13单向流unidirectionalairflow沿单一方向呈平行流线并且横断面上风速一致的气流。包括垂直单向流和水平单向流。
2.0.14非单向流non-unidirectionalairflow凡不符合单向流定义的气流。
2.0.15混合流mixedairflow
单向流和非单向流组合的气流。2.0.16洁净工作区cleanworkingarea指洁净室内离地面高度0.815m（除工艺特殊要求外）的区域。
2.0.17空气吹淋室arshower
利用高速洁净气流吹落并清除进入洁净室人员或物料表面附着粒子的小室。
2.0.18气闸室airlock
设置在洁净室出入口，阻隔室外或相邻房间的污染气流和压差控制而设置的缓冲间。
2.0.19传递窗passbox
在洁净室隔墙上设置的传递物料和工器具的开口。两侧窗扇的开启应进行联锁控制。
2.0.20洁净工作服cleanworkinggarment.3.
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