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基本信息

标准号: GB/T 13388-2009

中文名称:硅片参考面结晶学取向X射线测试方法

标准类别:国家标准(GB)

标准状态:现行

发布日期:2009-10-30

出版语种:简体中文

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相关标签: 硅片 参考 取向 射线 测试方法

标准分类号

关联标准

替代情况:替代GB/T 13388-1992

出版信息

出版社:中国标准出版社

标准价格:0.0 元

出版日期:2010-06-01

相关单位信息

发布部门:中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会

标准简介

GB/T 13388-2009 硅片参考面结晶学取向X射线测试方法 GB/T13388-2009

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