基本信息

标准号： GB/T 14141-2009

中文名称：硅外延层、扩散层和离子注入层薄层电阻的测定 直排四探针法

标准类别：国家标准(GB)

标准状态：现行

发布日期：2009-10-30

出版语种：简体中文

下载格式：.rar .pdf

下载大小：KB

相关标签： 外延 扩散 薄层 电阻 测定 探针

标准分类号

关联标准

替代情况：替代GB/T 14141-1993

出版信息

出版社：中国标准出版社

标准价格：0.0 元

出版日期：2010-06-01

相关单位信息

发布部门：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会

标准简介