基本信息

标准号： GB/T 24580-2009

中文名称：重掺n型硅衬底中硼沾污的二次离子质谱检测方法

标准类别：国家标准(GB)

标准状态：现行

发布日期：2009-10-30

出版语种：简体中文

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相关标签： 衬底 沾污 二次 离子 质谱 检测 方法

标准分类号

关联标准

出版信息

出版社：中国标准出版社

标准价格：0.0 元

出版日期：2010-06-01

相关单位信息

发布部门：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会

标准简介