本标准规定了硬面光掩模用玻璃基板的要求、试验方法、检验规则等内容。本标准适用于硬面光掩模用玻璃基板。 GB/T 15871-1995 硬面光掩模基板 GB/T15871-1995 标准下载解压密码：www.bzxz.net

GB/T15871--1995
本标准非等效采用SEMI标准SemiP1—92硬面光掩模基板》。本标准基板技术要求全部按 Semi P1—92 中第 4 章至第 8 章制定。本标准附录A是提示的附录。
本标准由中华人民共和国电子工业部提出。本标准由电子工业部标准化研究所归口。本标准起草单位：长沙韶光徽电子总公司，电子工业部标准化研究所。本标准主要起草人：吴保华、王亦林、赵爾生、谈仁良。1范围
中华人民共和国国家标准
硬面光掩模基板
Hard surface photomask substrales本标准规定了硬面光掩模用玻璃基板的要求.试验方法、检验规则等内容。本标准适用于硬面光掩模用玻璃基板(以下简称基板）。2引用标准
GB/T 15871—1995
下列标准所包含的条文，通过在本标准中引用而构成为本标准的条文。本标准出版时，所示版本均为有效。所有标准都会被修订，使用本标准的各方应探讨使用下列标准最新版本的可能性。GB19J—90包装储运图示标志
GB2828—87逐批检查计数抽样程序及抽样表（适用于连续批的检查）GB2829—87周期检查计数抽样程序及抽样表（适用于生产过程稳定性的检查）GB 3102.3—93力学的量和单位
GB7238-87玻璃及铬板表面平整度的测试方法GB9622.2—88电子被璃平均线热膨胀系数的测试方法微电子学光掩蔽技术术语
S1/T 10584—94此内容来自标准下载网
3定义
本标准采用 SJ/T10584规定的定义。4要求
4.1外形尺寸
4.1.1方形基板的外形尺小应符合表1和图1的规定。表-1方形基板的外形尺寸
63. 5×63. 5
76×76
88.9X 88.9
100x100
边长()
国家技术监督局1995-12-22批准nex
垂直度
0.05/25.40
0.05/25.40
0.05/25.40
0.05/25.40
摩度()
1996-08-01实施
127X127
152×152
177.8x177.8
边长()
GB/T15871-—1995
续装1
垂直度
注：高热膨服皱璃（HTE）垂直度为0.0B/25.40。0.05/25.40
0.05/25.40
0.05/25.40
图1方形硬面光掩模基板
4.1.2基板的边缘应倒成斜角或圆角，其尺寸应符合表2和图2、图3规定。min
厚度(T）
（标称）
GB/T15871—1995
表2斜角和圆角边尺寸
D4个角
图2斜角边尺寸
4.2平面度要求
GB/T15871-1995
D型4·个角
E型4选2面
图3圆角边尺于
基板的一面，在规定的整个圆形或方形质量区内，应分别具有2μm、5μm,10μm或20μt的平面度(T.1.R)。质量区的范围，见图4和图5。L2
注：D=上—12. 7
图1圆形质量区
4.3外观要求
注：D-L12.7
图5方形质量区
4.3.1基板的缺陷包括质区内的内部缺陷、正面表面缺陷、背面表面缺陷、质量区外的缺陷。基板各类缺陷数应分别符合表3、表4、表5、表6的规定。玻璃种类
高热膨胀玻璃
中热膨胀玻璃
低热膨胀玻璃
超低热膨胀玻璃
GB/T 15871—1995
表3质最区内的内部缺陷
不避光点
（玻璃）
内部缺陷尺寸规定为：（长轴+短釉)×1/2。1
2 该表基于以下假定:小于 3 μm 的缺陷,在透镜系统焦深之外将失效,不予列出。表4质量区内的表面缺陷（正面）正面
(玻璃）
划痕大小
总划痕缺陷
廖光尺寸
注：鹿光尺少：基板表面局部有光泽的小点的缺陷尺寸。总磨光缺陷
个/em
不透光点
总缺陷
个/cm
总不透光疏点缺酪
个/em
(玻璃）
边缘碎屑
珊痕大小
径向深度
外围条痕
GB/T 15871—1995
质最区内的表面缺陷(背面）
总划癌缺陷
表6质量区外的缺陷
缺陷极限值
不透光症点
由供需双方商定
不允许在何尺寸的缺陷摄坏表面，2径向深度：边续碎屑垂直十边缘的距离。3外围条痕：边续碎屑担边缘的距离。4.3.2基板均应按图6所示的凹口在背面作标记。凹门尺小应符合图7的规定。a）白冕和钠钙玻璃(HTE>以：-角凹口作标记，如图 6a 所示；b）翻硅和铅硅玻璃（MTE）以三角凹口作标记、如图6b所承；c）铝玻璃（LTE>以相邻两角回口作标记，如图6c所示：d）石英玻璃(UL.TE)以两个对角叫I作标记，如图6d所示。4.3.3基板表面不得有破缺、裂纹。F冕和钠钙玻璃(HTE）
总不透光窥点缺陷
硼硅和铝硅玻璃（MTE）
图6玻璃基板的凹口标记
怡建玻璃（LTE）
GB/T 15871—1995
续图6
2. 5mm±0.5m
, 75 mml0. 5 um
背面口（方角）
图？玻璃基板的四口尺寸
4.4材料性能要求
石英玻璃（(ULTE)
4.0mm±1.0 rm
0. 75 mm±0. 5 mm
b背面凹口(面角)
基板材料分为高热膨服（HTE）材料，如白冕和钠钙玻璃，中热膨胀（MTE)材料，如硼硅和铝硅玻璃，低热膨胀(LTE)材料，如铝硅玻璃和超低热膨胀(ULTE)材料，如石英玻璃。4.4.1基板材料的热膨胀系数和透光率应符合表7的规定。膨账系数(0~300 )
玻璃种类
HTE80×10-100×10
MTE 40×10-? --60×10-
LTE30X10-1~39×10-7
ULTE <7. 5X10
注：NA表示几乎不透光。
GB/T15871—1995
表？基板材料特性
1.5mm厚基板系列波长的最小透光率%
254 nm
365 nm
4.4.2高热膨胀，中热膨胀、低热膨胀和超低热膨胀玻璃的部分物理性能，在附录A中仅作为资料提供。
5试验方法
5.1外形尺寸检查
基板的外形尺寸用精度为0.02 mm的游标卡尺和百分表测量。垂直度(基片相邻两边的夹角)用精度为2'的万能量角仪测量。倒角有关尺寸(如A、B,C等)用5倍测微放大镜测量。5.2平面度检查
平面度按GB7238—87标准进行检查。5.3外观检查
基板的缺陷按4.3要求，用40倍大视场立体显微镜检查。缺陷的尺寸用500倍测量显微镜检查，凹口尺寸用精度为0.02mm的游标·卡尺检查。破报、裂纹用肉眼检查。5.4材料性能检查
5.4.1基板的热膨胀系数按GB9622.2进行测试。5.4.2基板的透光率用精度为1.nm的uv-可见光分光光度计进行测量。6检验规则
基板检验分交收检验和例行检验。6.1交收检验
6.1.1基板入库前应逐批进行交收检验。6.1.2所有检验均应在供货单位质量门进行，必要时订货单位亦可派人其同进行。供货单位提供检验的必要条件，并对检验结果负责。6.1.3订货单位有权对交收检验的结果进行复查。6.1.4交收检验应按GB2828中规定的一次正常检查方案进行抽样，交收检验的项目及AQL值应符合表8的规定。
检验项目
外形尺寸
外观要求
技术要求黎号
GB/T 15871--1995
表8交收检验
试验方法条号
6.1.5若交收检验不合格，该批基板应进行100%筛选后再提交检验，但必须使用加严检验。替加产检验仍不合格，则不得再次提交检验。6.2例行检
6.2.1有下列情况之一者,应进行例行检验。a）产品定型；
b)产品结构、材料、工艺有较大收变时；）正常生产情况下，每年进行一次；d）产品停产一年以上，恢复生产时。6.2.2例行检验必须在交收检验合格的批中随机抽取。例行检验应按GB2829中一次抽样方案进行抽样，例行检验项目及RQL值应符合表9的规定。表９例行检验
检验项目
外形尺寸
外观费求
平面度要求
材料性能
技术要求条号
试验方法条号
6.2.3例行检验项目中，有一项不合格时，即该批产品例行检验为不合格。7标志、包装、运输、贮存
7.1包装利标志
7.1.1内包装，基板应在100级的净化环境中包装，包装盒应能防止玻璃与玻璃相接触，并能避免基板在装运过程中受到站污。包装盒上应贴上合格证，合格证上应注明：a）产品名称、编号：
b）产品缀别与规格尺寸；
e)数量,
d）检验日期及检验员签章。
7.1.2外包装：基板采用钙塑瓦楞纸或硬纸板制作的箱子包装。包装箱应附有标签，并标明：a）产品名称、型号；
b）产品编号；
c）生产日期；
d）制造单位名称、地址。
7.1.3“包装箱外壁应标有符合GB191规定的“保持干爆”，“向上”、“小心易碎”等字样和标志。7.2运输
产品在运输过程中应防湿、防震、防损伤，不得与离蚀性物质混装运输。7.3贮存
7.3.1产品应存放在相对湿度不大于60%、干净、无有害气体的库房内。7:3.2产品从出厂之日起，存期年。硬面光掩模玻璃特性见表A1。
玻璃种类
高热膨胀玻璃
中热膨胀玻璃
抵热膨胀玻璃
超低热膨胀玻璃
(ULTE)
蝉性模量
CB/T 15871-1995
附录A
（提系的附录）
理面光掩模玻璃特性
泊松比
7. 0×10~7. 3×10a
7. 1X103~9. 4X103
7. 5×10~8. 7X103
6. 7X10~7. 4 ×10d
0. 220, 23
0. 18~~0, 26
0. 16~0. 24
0. 16~0. 19
注：泊松比CB3102.3—93力学的量和单位中3-17。密度
g/cnm3
2. 50~2. 56
2. 36~ 2. 87
2.52~2,58
2.18~2.2m
折射率
1.49~1.57
1.53~1.56
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