GB/T 28786-2012
基本信息
标准号： GB/T 28786-2012
中文名称：真空技术 真空镀膜层结合强度测量方法 胶带粘贴法
标准类别：国家标准(GB)
标准状态：现行
出版语种：简体中文
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标准分类号
关联标准
出版信息
相关单位信息
标准简介
GB/T 28786-2012 真空技术 真空镀膜层结合强度测量方法 胶带粘贴法
GB/T28786-2012
标准压缩包解压密码：www.bzxz.net
标准图片预览
标准内容
ICS 23. 160
中化人民北和团国家桥准
G3/T287862012
真空技术
真空镀膜层结合强度测量方法
胶带粘贴法
Vatum tecnnoiogy--Meturds of honing strength muensurenent tor vacuuncoatiag tllm-Measmring ahesion by tape test2012-11-05发布
中华人民共和国国家质量监督检验检教总局中国国家标雄化管理委员会
2013-03-01实施www.bzxz.net
中华人民法知蹈
国家标
真空镀膜层结合强度测量方法
寡空技术
胶带粘贴法
CB/T 28786—20:2
中国务淮出版社出版发行
北京市朝阳区和里西街2号（：00013）北京市西城区里河北街：6号（ICOC5)网证 se. el. t:n
发行中心：（020)5180235
总编室：(010)64275323
读者服务部：（010)68523946
学国标准出版社秦挚岛印刷」所各地新华书店经销
开本880×12351/16
201.3年3月第一版
张 0. 75
字数16于字
2073年3月第次印削
站号：155066-1-45998
如有印装差钳
由本社发行中心调换
版权专有侵权必究
举报电话：(010)68510107
本标准按照B/T1.1-200给出的规则起草。本标滩由中国机械工业联合会凝出。膏
本标准由金国真空技术标准化技术委员会SAC/TC18)问口。小标准负责起草单位：东凳幼胜精密组件股份有限公司。GB/T28786—2012
本标准参加起声单：合肥工业大学、成都南光机器有限公司、安徽皖仪型技股份有服公司、沈阳真空技术研究所。
本标症王要起草人：去长明、张学节、欧胤、胡冰、工旭迪、胡焕林、彭宏、靳毅、肯文平、刘黏、李容影下玲玲。
」范围
真空技术真空镀膜层结合强度测量方法胶蒂粘贴法
CB/T 28786---2012
本标准规定了用胶带粘贴检测真空链膜膜层结含驱度的测试方法，对试验！具、样本的采策要求和步骤，结果评估与评定等内容作「规定，适用了丁膜层与想料裁片之间的结合强度测试。本标准适用于在10-Pa~10Pa的压力范图内，用蒸发、溅射，离了镀等真空镀膜方式聚甲鼎芮烯酸甲瞻（PMMA）、聚对苯一甲酸乙醇脂（FET)和碳酸疆（PC)等塑料基片上制备金属膜层和兰属膜虞，也适用于其他其空镀模方法制务的膜展。2规范性引用文件
下列义件对了本文件的应用是必不可少。乱量法划的引用交件，仅注日期的版本适用于本文件、凡是个注后期的，用文件，其最新题本（包活所有的像改单）道用了本文件。GB/T25472008翼料取样方法
（3/T2918-1998塑料试举状态调节试验的标洗环境（TS0）291：.997）G路/T3163—2007真零技术术语（IS03529：1981）LEC60454-2：2307电工闲医敏帮带第2部分：试验偿（Pressure.scnsitive actiesivetapes foelecsrical purpcsesPari 2:Mieahods of iest)3术语和定义
H13/T31632CC7界定的以及下列术语和定义适用了本文件。3.1
#wacunmcoating
真空镀膜
真空环魔下，作选片上制圾膜层的种方法3.2
基片sahstrats
膜层受体。
ceatelsumple
膜层样本
已制务的真空镀膜膜层测武样品或产品3. 4
yacuum cyaporationcoatimg
空蒸镀
仗膜层林料蒸发到基片上的嘉空镀膜过程。3.5
真空溅射
vaczemsputering
真空环境下，惰性气体离了从靓表而覆出原子（分子）或原一团在蒸片成膜的过程。1
GB/T 28786--2012
离子镀 latig
真空环境下，利用气体放使气体或被蒸发物质部分电离，在气体离了或被蒸发物质离了发击作用的同时，将蒸发物质或其反应物沉积在基片上的过程，3.1
膜层结合强度honclingstrengtlofcaatedfilm真空镀谟的谟层和基片之间的附着力3.8
胶带粘贴法measuring aihesion by tape tseseex道过在试样的测试区域以格图酸舒葡膜层穿透至基片，新斯敏胶带粘贴款离膜层，以膜层脱落的一种素重方的与
密度偿判别结合强的
repealabaty
指在相问测量象征下对间一被测景对象进行连续多次测量所得结果之间3.10
專瑰性
rrodueibility
文称复现樂
4试验工息
4.1切割工翼
般要求
举在攻变了
保所便用教切工具
在所有情形就先綫用单刃切割工具。致
4.1.2利4.1.3规是款工具适用了手工架作，这是较常用的方法，刀只可以要装在切制线条更均匀的电动驱动装置上
4.1.2单刃切割工具
单刃切割工具的刀切为 20~~30，研&我mm，如图1a)所示。当儿尖摩损G.i mm时,应将其重新研磨。
4. 1.3多对切割工具
多切割具至少其有六个切割，力刃闻隔为1mm.2mm或m，见图1b）六刃的宽度为，刃隔为1mm时1为5mm，刀刃间隔为2mm时L为10mm，刀刃间隔为3n时为i5mm
激的素
说明：
装示六切割力为的宽班，
糖尿究,病能织化能
多刃切割下是
6·-患示所有的切制刀刃然落在同水孕前上：惠示切割方向。
当力尖烩韧o.1m时煎新器
图1切割工
4.2导向与刃刃间工具
G3/ 28786-2012
单位为尝来
为广把闻隔初割得正确，尚用单刃切割工具时，要系列导的和力刃前隔婆暨，如降2所示。3
TTKAONrKAca
GB/T 28786--2012
1--间距1mm内10条边
2——层状解料或剂
一原胶。
4.3透阴的压敏粘胶带
图2刀口简距系列
采用粘着力 6 N/25 mm2-~10 N/25tntu2（按脏 [EC 60454-2:2c7的要求测庭)的透明压敏粘胶带，此粘胶带的宽度应在50mm以.上。4.4放大镜
使用手持式放大镜，放大倍数为%倍或3倍。5采样
接G3/T2547-—2008的规定取受诚产品的代表性或样。6样本
6.1 基片选定
基片应平整，无变形、折痕、污物、划伤等缺陷，基片的度不小于15gmml,宽度不小于100 mm。6.2试样制备
用蒸发、溅射、离了镀等真空镀膜方式制备试样4
7胶带粘贴试验
7.1试验原班
GB/T 28786—2012
首先通过在试样的测试区城以网络图形切割膜层穿透至基片，然后在膜层划区粘贴和影离压敏粘胶带的方式,对漠层与塑料基片之闻的结合强度逆行测试。7.2试验要求
7.2. 1试验条件
按照GB/T2918--1998的规定，试样在23上2℃和据对湿度50%±5%的坏境中进行测试。7.2.2切割数
在相互垂南的两个方向「切部数量应各为11条，7.2.3切割间距
每个为向上的切翻间阅应等，且切尚距以1m正或2mm为宜，7.2.4测定次数
至少在3个不同位胃处试样逆行试验，如果3个测试位置的试验结果编差大7一个等级，删需杯冏一试洋的另外多个位暂进行量复试验.7.3手动切割法
7.3.！将制各好的试样放置在坚的平百上以防试样在试验过程中变形，7.3.2在试验前，签寄力具的切割儿刃，并题过研磨或渠换万片使其符合4，1.2利会1.3的要求，73.3握住切制力具他门本直寸试祥表面，使用间距导向装置（签考4.2），对刀具均匀施力并以均到的现制速率在点空喂晟「形成规定的切割数，每条切制綫都需划透至基片。7.3.4量复7.3.3摄作，再切相同数量的行线，与原先别割裁成90°角相交，形放网落图形7.3.5用毛刷将试样测试区减内划剃品的碎润清担干等。7.3.6对试样进行新贴前，放将避明压做粘胶带前2圈拉取出并恶分，再以划到速度拉取出后面的-段粘胶带，划取长度约75im
7.3.7将切取的粘胶带的中心置下网格上齐，并与其中的-组划判线评平行，始图3所示，然后用手指压平新胶带网烯方的部意，粘綫装长度至少超过网20怕7.3.8为了确保黏胶带与真空镀膜层接触良好，用橡皮擦来回压粘胶带至月视切割区域的胶带与镀膜层完全贴金。
7.3.9在贴上晚带后应将试群箭置5x.再孤住胶低的--端，并以约60°的角度，在0.5s1s内知速批剩离胶带（见图3）。
7.3.10试验宪戏后，建议保留皎崇以作参考。5
irKAoNiiKAca
GB/T 28786—2012
说明：
胶带；
一一惯退；
齿割线；
A·渐离方。
结果评估与评定
模据网格定粘胶带位置
置接从网格上撕离前的位置
图3 粘胶带定位及剥离
按附录A的规定对测试结果进行评估与评定。A.1评估
附录胜
（规范性附录）
结果评估与评定
CE/T28786-2012
在6901x～10001x照明环境下，用手持放大镜（4.4)仔继检查试样的测试区域。在观察过翌巾转动试样，使操作者对测试区或的观察不肩限于：个方间。以类似方式检查驳带也是有效施。将测试后的试样测试区域状说与表A.1选行对比，对试验缩策进行评值，并按照表A1中给出的个级到进行分级。
表 A.1试验结果分级
A.2精度
切割达究全光滑，无一格脱露
衣别潮交受处有少诈膜层脱范，变支划制前积受形响不能太于%
认割边缘和/戴变义处有膜层源路，受影略的切积大于。,仁小于离
腾富船划染缘部分惑全部以大片聘落，说在择下不同部部分或全部脱落，些影响动而积大注最等于15%，但小35%
膜层沿切制边缘部分或全留人片脱落，或一些格子部分或全部脱落.受影响初割面积大下或等了55%,很小了65片
超过等级的仟彻释度的脱落
A.2. 1童复性限 r
安正脱济的十守资双切割区的表面外观(以人条平行切密线为例)
3.S中豹“一致性\是定量的，可以用点复性条件下对间·量进行多次测量所得结果的分数性来表示：而表示测量药果分做证的暨，最为常用的是实验标准[偏}差。在重复性条件下按贝塞尔（B5l）公式算得的实验标净【假}差被称为“意复性标牵差”，并记以S，，了标一被称为“薰复性限”它是重复性条件下两次澜量结果之养以95的概率所存在的区间，即离次测氧结架之差落丁这个区间内战这TTKAONrKAca
GB/T 28786-2012
个差小于或等于，的率为95%。假定多次测量所得结果呈正态分布，而且算得的S，充分可靠（白由度充分大），赠可求得，即惠复性限约为重复性标准差的3倍，观测名适常可以利用重复性限，来了解测最方法导致的不确定度，并用于评定测量结果是否符合要求。A.2.2再现性限R
当给出再规差时，应说明哪些条件是变化的，可改变的条件包括：测量原埋、測量方法，观测人员、测仪器、参考测量标准、地点、使用条件和时间。再现性用实验标准偏差表这，关称之为再现性标准偏燕S，（reproducibilityslandarddeviatiani）。在给定再现性条件下，离测量结果之间的差以95%的概率不致被超出的范围数为现划限R(teraclucibililylitnit)，当S充分可靠的条件下,R=2.83SsA.3试验报告
试验报先应至少包括以卜内容：识别受试产品所器的所有信息；a
b）注明参照本标准；
使眉切割才具的类型；
d）与规步骤的们小同之处；
e）试验中观察倒的任伺不闻寻带的特征；”试验结果（判定等级)：
报告出具单位、测试人员、试验日期。版汉专有侵权必究
书号：135066·1-45398
GB/128786-2012
打印日款：2013年4月1间007
G102—98280 1/
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中化人民北和团国家桥准
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真空技术
真空镀膜层结合强度测量方法
胶带粘贴法
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中华人民共和国国家质量监督检验检教总局中国国家标雄化管理委员会
2013-03-01实施www.bzxz.net
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国家标
真空镀膜层结合强度测量方法
寡空技术
胶带粘贴法
CB/T 28786—20:2
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北京市朝阳区和里西街2号（：00013）北京市西城区里河北街：6号（ICOC5)网证 se. el. t:n
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读者服务部：（010)68523946
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201.3年3月第一版
张 0. 75
字数16于字
2073年3月第次印削
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本标准由金国真空技术标准化技术委员会SAC/TC18)问口。小标准负责起草单位：东凳幼胜精密组件股份有限公司。GB/T28786—2012
本标准参加起声单：合肥工业大学、成都南光机器有限公司、安徽皖仪型技股份有服公司、沈阳真空技术研究所。
本标症王要起草人：去长明、张学节、欧胤、胡冰、工旭迪、胡焕林、彭宏、靳毅、肯文平、刘黏、李容影下玲玲。
」范围
真空技术真空镀膜层结合强度测量方法胶蒂粘贴法
CB/T 28786---2012
本标准规定了用胶带粘贴检测真空链膜膜层结含驱度的测试方法，对试验！具、样本的采策要求和步骤，结果评估与评定等内容作「规定，适用了丁膜层与想料裁片之间的结合强度测试。本标准适用于在10-Pa~10Pa的压力范图内，用蒸发、溅射，离了镀等真空镀膜方式聚甲鼎芮烯酸甲瞻（PMMA）、聚对苯一甲酸乙醇脂（FET)和碳酸疆（PC)等塑料基片上制备金属膜层和兰属膜虞，也适用于其他其空镀模方法制务的膜展。2规范性引用文件
下列义件对了本文件的应用是必不可少。乱量法划的引用交件，仅注日期的版本适用于本文件、凡是个注后期的，用文件，其最新题本（包活所有的像改单）道用了本文件。GB/T25472008翼料取样方法
（3/T2918-1998塑料试举状态调节试验的标洗环境（TS0）291：.997）G路/T3163—2007真零技术术语（IS03529：1981）LEC60454-2：2307电工闲医敏帮带第2部分：试验偿（Pressure.scnsitive actiesivetapes foelecsrical purpcsesPari 2:Mieahods of iest)3术语和定义
H13/T31632CC7界定的以及下列术语和定义适用了本文件。3.1
#wacunmcoating
真空镀膜
真空环魔下，作选片上制圾膜层的种方法3.2
基片sahstrats
膜层受体。
ceatelsumple
膜层样本
已制务的真空镀膜膜层测武样品或产品3. 4
yacuum cyaporationcoatimg
空蒸镀
仗膜层林料蒸发到基片上的嘉空镀膜过程。3.5
真空溅射
vaczemsputering
真空环境下，惰性气体离了从靓表而覆出原子（分子）或原一团在蒸片成膜的过程。1
GB/T 28786--2012
离子镀 latig
真空环境下，利用气体放使气体或被蒸发物质部分电离，在气体离了或被蒸发物质离了发击作用的同时，将蒸发物质或其反应物沉积在基片上的过程，3.1
膜层结合强度honclingstrengtlofcaatedfilm真空镀谟的谟层和基片之间的附着力3.8
胶带粘贴法measuring aihesion by tape tseseex道过在试样的测试区域以格图酸舒葡膜层穿透至基片，新斯敏胶带粘贴款离膜层，以膜层脱落的一种素重方的与
密度偿判别结合强的
repealabaty
指在相问测量象征下对间一被测景对象进行连续多次测量所得结果之间3.10
專瑰性
rrodueibility
文称复现樂
4试验工息
4.1切割工翼
般要求
举在攻变了
保所便用教切工具
在所有情形就先綫用单刃切割工具。致
4.1.2利4.1.3规是款工具适用了手工架作，这是较常用的方法，刀只可以要装在切制线条更均匀的电动驱动装置上
4.1.2单刃切割工具
单刃切割工具的刀切为 20~~30，研&我mm，如图1a)所示。当儿尖摩损G.i mm时,应将其重新研磨。
4. 1.3多对切割工具
多切割具至少其有六个切割，力刃闻隔为1mm.2mm或m，见图1b）六刃的宽度为，刃隔为1mm时1为5mm，刀刃间隔为2mm时L为10mm，刀刃间隔为3n时为i5mm
激的素
说明：
装示六切割力为的宽班，
糖尿究,病能织化能
多刃切割下是
6·-患示所有的切制刀刃然落在同水孕前上：惠示切割方向。
当力尖烩韧o.1m时煎新器
图1切割工
4.2导向与刃刃间工具
G3/ 28786-2012
单位为尝来
为广把闻隔初割得正确，尚用单刃切割工具时，要系列导的和力刃前隔婆暨，如降2所示。3
TTKAONrKAca
GB/T 28786--2012
1--间距1mm内10条边
2——层状解料或剂
一原胶。
4.3透阴的压敏粘胶带
图2刀口简距系列
采用粘着力 6 N/25 mm2-~10 N/25tntu2（按脏 [EC 60454-2:2c7的要求测庭)的透明压敏粘胶带，此粘胶带的宽度应在50mm以.上。4.4放大镜
使用手持式放大镜，放大倍数为%倍或3倍。5采样
接G3/T2547-—2008的规定取受诚产品的代表性或样。6样本
6.1 基片选定
基片应平整，无变形、折痕、污物、划伤等缺陷，基片的度不小于15gmml,宽度不小于100 mm。6.2试样制备
用蒸发、溅射、离了镀等真空镀膜方式制备试样4
7胶带粘贴试验
7.1试验原班
GB/T 28786—2012
首先通过在试样的测试区城以网络图形切割膜层穿透至基片，然后在膜层划区粘贴和影离压敏粘胶带的方式,对漠层与塑料基片之闻的结合强度逆行测试。7.2试验要求
7.2. 1试验条件
按照GB/T2918--1998的规定，试样在23上2℃和据对湿度50%±5%的坏境中进行测试。7.2.2切割数
在相互垂南的两个方向「切部数量应各为11条，7.2.3切割间距
每个为向上的切翻间阅应等，且切尚距以1m正或2mm为宜，7.2.4测定次数
至少在3个不同位胃处试样逆行试验，如果3个测试位置的试验结果编差大7一个等级，删需杯冏一试洋的另外多个位暂进行量复试验.7.3手动切割法
7.3.！将制各好的试样放置在坚的平百上以防试样在试验过程中变形，7.3.2在试验前，签寄力具的切割儿刃，并题过研磨或渠换万片使其符合4，1.2利会1.3的要求，73.3握住切制力具他门本直寸试祥表面，使用间距导向装置（签考4.2），对刀具均匀施力并以均到的现制速率在点空喂晟「形成规定的切割数，每条切制綫都需划透至基片。7.3.4量复7.3.3摄作，再切相同数量的行线，与原先别割裁成90°角相交，形放网落图形7.3.5用毛刷将试样测试区减内划剃品的碎润清担干等。7.3.6对试样进行新贴前，放将避明压做粘胶带前2圈拉取出并恶分，再以划到速度拉取出后面的-段粘胶带，划取长度约75im
7.3.7将切取的粘胶带的中心置下网格上齐，并与其中的-组划判线评平行，始图3所示，然后用手指压平新胶带网烯方的部意，粘綫装长度至少超过网20怕7.3.8为了确保黏胶带与真空镀膜层接触良好，用橡皮擦来回压粘胶带至月视切割区域的胶带与镀膜层完全贴金。
7.3.9在贴上晚带后应将试群箭置5x.再孤住胶低的--端，并以约60°的角度，在0.5s1s内知速批剩离胶带（见图3）。
7.3.10试验宪戏后，建议保留皎崇以作参考。5
irKAoNiiKAca
GB/T 28786—2012
说明：
胶带；
一一惯退；
齿割线；
A·渐离方。
结果评估与评定
模据网格定粘胶带位置
置接从网格上撕离前的位置
图3 粘胶带定位及剥离
按附录A的规定对测试结果进行评估与评定。A.1评估
附录胜
（规范性附录）
结果评估与评定
CE/T28786-2012
在6901x～10001x照明环境下，用手持放大镜（4.4)仔继检查试样的测试区域。在观察过翌巾转动试样，使操作者对测试区或的观察不肩限于：个方间。以类似方式检查驳带也是有效施。将测试后的试样测试区域状说与表A.1选行对比，对试验缩策进行评值，并按照表A1中给出的个级到进行分级。
表 A.1试验结果分级
A.2精度
切割达究全光滑，无一格脱露
衣别潮交受处有少诈膜层脱范，变支划制前积受形响不能太于%
认割边缘和/戴变义处有膜层源路，受影略的切积大于。,仁小于离
腾富船划染缘部分惑全部以大片聘落，说在择下不同部部分或全部脱落，些影响动而积大注最等于15%，但小35%
膜层沿切制边缘部分或全留人片脱落，或一些格子部分或全部脱落.受影响初割面积大下或等了55%,很小了65片
超过等级的仟彻释度的脱落
A.2. 1童复性限 r
安正脱济的十守资双切割区的表面外观(以人条平行切密线为例)
3.S中豹“一致性\是定量的，可以用点复性条件下对间·量进行多次测量所得结果的分数性来表示：而表示测量药果分做证的暨，最为常用的是实验标准[偏}差。在重复性条件下按贝塞尔（B5l）公式算得的实验标净【假}差被称为“意复性标牵差”，并记以S，，了标一被称为“薰复性限”它是重复性条件下两次澜量结果之养以95的概率所存在的区间，即离次测氧结架之差落丁这个区间内战这TTKAONrKAca
GB/T 28786-2012
个差小于或等于，的率为95%。假定多次测量所得结果呈正态分布，而且算得的S，充分可靠（白由度充分大），赠可求得，即惠复性限约为重复性标准差的3倍，观测名适常可以利用重复性限，来了解测最方法导致的不确定度，并用于评定测量结果是否符合要求。A.2.2再现性限R
当给出再规差时，应说明哪些条件是变化的，可改变的条件包括：测量原埋、測量方法，观测人员、测仪器、参考测量标准、地点、使用条件和时间。再现性用实验标准偏差表这，关称之为再现性标准偏燕S，（reproducibilityslandarddeviatiani）。在给定再现性条件下，离测量结果之间的差以95%的概率不致被超出的范围数为现划限R(teraclucibililylitnit)，当S充分可靠的条件下,R=2.83SsA.3试验报告
试验报先应至少包括以卜内容：识别受试产品所器的所有信息；a
b）注明参照本标准；
使眉切割才具的类型；
d）与规步骤的们小同之处；
e）试验中观察倒的任伺不闻寻带的特征；”试验结果（判定等级)：
报告出具单位、测试人员、试验日期。版汉专有侵权必究
书号：135066·1-45398
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