GB 29447-2012 多晶硅企业单位产品能源消耗限额 GB29447-2012 标准压缩包解压密码：www.bzxz.net

ICS27.010
中华人民共和国国家标准
GB 29447-2012
多晶硅企业单位产品能源消耗限额The norm of energy consumption per unit products of polysilicon enterprise2012-12-31发布
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局中国国家标准化管理委员会
2013-10-01实施
本标准4.1、4.2为强制性的,其余为推荐性的GB 294472012
本标推由国家发展和改革委员会资源节药与环境保册司，T业与信息化部节能与综合利用司提出，本标准由全国能源基础与管理标准化技术委员会（SAC/TC20)和全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC243)归。
本标推起草单位：路阳中硅高科技有限公司、多晶硅材料制备技术国家工程实验室、中国恩菲工程技术有限公司、中国有色金属工业标准计量质量研究所、江苏中能硅业科技发展有限公司、四川新光硅业科技有限责任公司东方电气集团峨嵋半导体材料有限公司、乐山乐电天威硅业科技有限责任公司、江西赛维LDK光伏硅科技有限公司、陕西天宏硅材料有限责任公司、亚洲硅业（青海）有限公司、特变电工新疆硅业有限公司，宜昌南玻硅材料有限公司，内蒙古神舟硅业有限责任公司。本标雅主要起草人：严大洲，荡传斌，肖荣晖，贺东江，万烨、杜俊平，囊金满谢案，银波。范围
多晶硅企业单位产品能源消耗限额GB29447—2012
本标准规定了多晶硅企业单位产品能源消耗（以下简称能耗）限额的技术要求、统计范围、计算方法、计算范围、节能管与措施。本标准适用于所有以工业硅、氮气、氢气为原料生产三氯氢硅，以及副产物四氯化硅经氢化生产三氯氢硅，三氟氢硅经精缩提纯屑，用高纯氢气还原生产多晶硅的企业单位产品能耗的计算、考核，以及对新建项目的能耗控制。
2规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注口期的引用文件，仅注日期的版本适用丁本文件。凡是不注且期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件：GB/T2589综合能耗计算通则
硅多晶
GB/T 12963
GB/T 17167
用能单位能源计量器其配备和管通则GB/T 25074
太阳能级多晶硅
3术语和定义
下列术语和定义适用于本文件。3.1
工序能源单耗unit energy consumption in working procedure工序生产过程中生产单位合格产品消耗的能源量。3.2
工序实物单耗unitobjectconsumptioninworkingprocedureT序生产过程中生产单位合格产品消耗的某种能源实物最，3.3
工艺能源单糕unit energy consumption of technology工艺生产过程中生产单位合格产品消耗的能源量，3.4
工艺电耗unitelectricityeonsumptionoftechnology工艺生产过程中生产单位合格产品消耗的电量。3.5
蒸汽消耗steam consumption
生产单位合格产品所消耗的蒸汽。GB 29447--2012
综合电能源单耗unitconsumptionofintegrateelectricity即单位产品综合电能消耗，是指工艺电能源单耗与工艺产品辅助电能消耗及损耗分摊量之和，3.7
综合能源单耗nnitconsumption of integrateenergy即单位产品综合能源消耗，是指工艺能源单耗与工艺产品辅助能耗及损耗分摊量之和。4技术要求
4.1现有多晶硅企业单位产品能耗限定值现有多晶硅企业单位产品能耗限定值应符合表1的要求。表1多晶硅企业单位产品能耗限定值每公斤多晶群综合能耗限定值
T艺、工序
三氯氢硅合成工序
三氟氨硅精缩提统 T.序
四氯化硅高温氢化.T.序
四氮化硅低温氢化T.序
原工序
还原尾气干法回收工序
多晶硅产品处理、包装工序
催芯制备工序
公册上程包括：纯水系统.循环水、脱盐水，制氮、压缩空气、锅炉、空谢、水源、中控及其他
制氢系统
\三斑”处理工序
多晶硅工艺能耗(高温氢化)
多晶鞋工艺能耗（低温氢化）
新建多晶硅企业单位产品能耗准入值工艺电耗
≤:191.8
新建多晶硅企业单位产品能耗准人值应符合表2的要求。2
蒸汽消耗
综合电耗
kw- h/kg
≤200
综合能耗
kgce/kg
表2新建多晶硅企业单位产品能耗准入值GB 294472012
每公厅多晶硅综合能耗准人值
工艺、工序
三氧氢硅合成工序
三氟氢硅精馏提纯工序
四氟化硅高温氢化工序
四氮化硅低温氨化工序
还原工序
还原尾气下法回收工序
多晶硅产品处理、包装工序
硅芯制备工序
公用工程包括：纯水系统、循环水、纯水，脱盐水、制氨、压缩空气、锅炉、空调、水源、巾控及其他
制氢系统
“三废\处理工序
多晶硅工艺能耗（高溺氢化）
多晶硅工艺能耗（低温氢化）
多晶硅企业单位产品能耗先进值工艺电耗
kw-h/sg
多晶硅企业单位产品能耗先进值应符合表3的要求蒸汽消耗
表3多晶硅企业单位产品能耗先进值综合电耗
kW-h/kg
每公斤多晶硅综合能耗先进值
工艺,工序
三氟氢硅合成工序
三氧氢硅精馏提纯工序
四氟化硅高温氢化工序
四氯化硅低温氢化工序
还原工序
还原尾气干法回收工序
多晶硅产品处理.包装工序
硅芯制备T.序
工艺电耗
蒸汽消耗
综合电耗
kw·h/kg
综合能耗
kgce/kg
综合能耗
kgce/kg
GB 29447--2012
工艺、工序
公用工程包括：纯水系统、循环水、纯水，脱盐水，制氮、压缩空气、锅炉、空调、水源、中控及其他
制氢系统
三废”处理工序
多晶硅工艺能耗（高温氢化）
多晶硅工艺能耗（低温氢化）
4.4其他
表3（续）
工艺电耗
每公斤多晶硅综合能耗先进值
蒸汽消耗
综合电耗
kW·h/kg
综合能耗
kgce/kg
.3c. 9
半导体级直拉用多晶硅还原电耗≤100kW，h/kg-区熔用多晶硅还源电耗≤120kW·h/kg，半导体级产品，其他工序能耗限额参照执行。多晶砖产品质量应满足GB/T25074利GB/T12963的要求。5统计范剧.计算方法及计算范围5.1统计范围
5.1.1企业实标（生产）消耗的各种能源企业实际消耗的各种能源包括：一次能源（原煤、石油、天然气等），二次能源（电力、热力、石油制品、焦炭、煤气等)和生产使用的耗能工质(水、氧气、压缩空气等)所消耗的能源。企业实际消耗的各种能源是指用于生产活动的各种能源。其包括主要尘产系统、辅助生产系统和附属生产系统用能，不包括生活用能和批准的基建项日用能。在企业实际消耗的能源中，用作原料的能源也必须包括在内：
尘活用能是指企业系统内的宿舍、学校、文化妖乐、医疗保健、商业服务等直接用于生活方面的能耗。Www.bzxZ.net
5.1.2企业计划报告期内的能源实物消耗量和能源消耗量企业计划报告期内的某种能源实物消耗量的计算，应符合式(1)：en =ei F e? -- es - ea -es - er式中：
企业的能源实物消耗量；
企业购人能源实物量；
期初库存能源实物量；
期末库存能源实物量：
外销能源实物量；
生活用能源实物景；
（1）
企业工程建设用能源量。
企业计划报告期内的能源消耗量的计算，应符合公式(2)：E-E, +E -E, -F4 -- E,
或E-EZG+EzF
式中：
企业报告期内的能源消耗量；
购入能源量；
库存能源增减量：
外销能源最；
生活用能源量：
企业工程建设用能源量；
诸产品T艺能源消耗量；
闻接辅助生产部门用能源量及损耗：谐产品综食能源消耗量。
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所消耗的各种能源不得重计或漏计。存在供需关系时，输人，输出双方在计算中量值上应保持致。设备大修的能源消耗也应计算在内，且按检修后设备的运行周期逐月平均分摊。企业综合能耗的计算按照CB/T2589的舰定进行。5.1.3各种能源的计量单位
企业生产能耗量、产品工艺能耗量、产品综合能耗量的单位：千克标准煤每千克（kgce/kg）.吨标准煤每干克（tce/kg）
煤炭、焦炭、重油、汽油、柴油的单位：丁克(kg)、吨(t)。电力的单位：千瓦时(kW·h）、万千瓦时（10*kW，h)；蒸汽的单位：千焦（kJ）、兆焦（MJ）白万干焦（GJ)；煤气、压缩空气、氧气、天然气的单位：立方米（m*）、万立方米（10°m\）；水的单位：吃（t）、万吨（10*t）。多晶硅综合能耗量的单位：kgce/kg（T克标准煤每千克），5.1.4各种能源（包括生产耗能工质消耗的能源）折算标准煤量方法应用基于发热量等于29.3076MJ的燃料，即1kgce。各种能源及耗能工质消耗量在折算标准煤量时，外购的燃料能源可取实测的低（位）发热量或供货单位提供的实测值为让算基础.或用国家统计部门的折算系数折算，参见附录A，二次能源及耗能工质均按相应的能源等价值折算（电用当量值）！企业能源转换自产时，按实际投入的能源实物量折算标准煤量；由集中生产单位外销供应时，其能源等价值按主管部门规定；外购外销时，其能源等价值应相同；当未提供能源等价值时，可按国家统计部门的折算系数折算，参见附录B；企业回收的余热按热力的折算系数，余热发电统按电力的折算系数折算。5.1.5多鼠硅产品能耗的计算原则多品硅各工序能耗的计算，采用同一计划报告期内产出的合格产品实物产量计算单位产品能耗。所有产品产量均以千克（kg）为计量单位，以企业计划统计部门正式上报的数据为准。5.1.6企业余热利用能源的计算原则企业回收的余热，属于节约能源循环利用，不属于外购能源，在计算时，应避免和外购能源重复计5
GB 294472012
算。余热利用装置用能计人能耗。回收能源自用部分，计入自用工序，转供其他工序时，在所用工序以正常消耗计人；回收的能源折标准煤后应在回收余热的工序、工艺中扣除。5.1.7其地
企业的辅助、附属生产系统的能源消耗及耗能工质在企业内部贮存、转换与分配供应及外销中的横耗，应根据各产品工艺能耗占企业生产工艺能耗量的比例，分摊给各个产品。5.2计算方法
5.2.1工序（工艺）实物单耗的计算序(工节)实物单耗按式(3)计算：Es Ms
式中：
Es——某工序（艺)的实物单耗,单位为于克每千克(kg/kg),千瓦时每于克(W，h/k:g）、立方米每干克（m/kg)；
Ms—-\某工序(工艺)直接消耗的某种能源实物总量,单位为千克(kg)、千瓦时(kW，h)、立方米(m);
Pz·某工序(工艺)产出的合格产品总实物量，折合成多品硅计算，单位为下克(kg)。5.2.2工序（工艺）能源单耗的计算T序(T艺)能源单耗式(4)计算：
式中：
Ei—某工序（工艺）能源单耗，单位为于克标准煤每f克，（kgce/kg）·4)
En——某工序（工艺）直接消耗的各种能源实物量折标准煤为代数和，单位为千克标推煤（kgce）；Pz——某工序(工艺)产出的合格产品总实物最，折合成多品硅计算，单位为千克(kg)。5.2.3企业综合能耗的计算
综合能耗的计算应符合公式(5)：Et =E, +E.
式中：
Ez——综合能耗，单位为干克标准煤每于克(kgcc/kg);El——工艺能耗，单位为千克标准煤舞于克（kgce/kg)；Er—辅助能耗和损耗分摊量，单位为于克标准煤每千克（kgce/kg)5.3计算范围
5.3. 1三氯氢硅合成工序
从合成用氢气制备、氢气纯化、液氯气化，氯化氢合成，氯化氢脱水，氯化氢预热，硅粉干燥预热、三氯氢硅合成、合成产物分离、气回收，到分离得到含三氯氢硅99%为止。包括从备料、配料、进料、合成、分离提纯，排渣、供排风、物料输送、收尘、供排水、辅助设务及照明等所有能源消耗量。按一吨三氟氢硅产品计算能源消耗，折多晶硅能源消耗时，按每吨多晶硅消耗的三氯氢硅数量确定。6
5.3.2三氯氢硅精馏提纯工序
GB 29447—2012
从粗三氯氢硅开始到产出精二氯氢硅为止。包括从备料、进料、蒸发、冷凝、废液排放、排渣、制冷、供排风、物料输送、供排水、辅助设备及照明等所有能源消耗量。5.3.3四氯化硅氢化工序
从四氯化硅开始到氢化产出98%三氯氢硅为止。包括从备料、配料、进料、活化、氢化、氢气循环，尾气回收、氢化料分离、废液处理、排渣、制冷、供排风、物料输送，供排水，辅助设备及照明等所有能源消耗量。
5.3.4还原工序
从精馏后合格的三氯氢硅开始到产出多品硅棒为比。包括从石墨件烘烧等备件处郵、备料、进料预热、还源、停炉取棒、供排风、物料输送、供排水、辅助设备及照明等所有能源消耗量。5.3.5多晶硅还原尾气于法回收工序从还原炉排出尾气开始到回收、分离得到合格氢气、氯化氢和氯硅烷为止。包括从尾气缓冲，进料、淋洗、混合气体压缩、氯硅烧分离、氯化氢吸收分离、制冷、氢气回收纯化、储存、供排风、物料输送、供排水、辅助设备及照明等所有能源消耗量。5.3.6多晶硅产品处理、包装工序从棒状多品硅开始到产出免清洗、洁净包装的多品硅为止，包括从多晶硅破碎、酸腐蚀、纯水清洗、烘十、包装、废液中和排放，废气处理、制冷、供排风、物料输送、供排水、辅助设备及照明等所有能源消耗量。
5.3.7公用工程
包括纯水系统、循环水、脱盐水.制氟、压缩空气、钢炉、空调、水源、巾控及其他等工序所有能源消耗量。
5.3.8硅芯制备工序
从棒状多品硅开始到产出洁净包装的硅芯为止。包括从棒状多品硅加工，酸腐蚀、纯水清洗、烘于、棒状多品硅包装、痣芯拉制（或划割）、硅芯磨削加工、酸腐蚀，纯水清洗、烘于、包装等过程中的物料输送、加工、供排风、供排水、辅助设备及照明等所有能源消耗量。5.3.9氢气制备工序
包括电解液制备、电解、氢气纯化等制备工艺，或其他氢气方法制备氧气的工艺过程中的物料输送，工艺，供排风，辅助设备及照明等所有能源消耗量。5.3. 10“三废”处理工序
包括多晶硅生产过程中尾气收集、尾气淋洗（或燃烧、水解）、污水收集、污水处理、固渣处理等系统物料输送、供排风、供排水、辅助设备及照明等所有能源消耗量，5.4表1、表2、表3取值说明
5.4.1缺省工序，综合能耗应增加该T序能耗。例如：缺省“三氯氢硅合成工序”，应增加相应的能源GB 29447—2012
消耗。
5.4.2采用高温氢化的按高温氨化能耗指标考核，采用低温氮化的按低温氢化能耗指标考核，两项都有的按产能比列核算
5.4.3蒸汽计算基准条件：压力0.9MPa(表),温度197℃,其他质量蒸汽按热值折算。5.4.4每千克多晶硅消耗新三氯氢硅按 3 kg计算；增加或减少用量按比例折算。5.4.5每干克多晶硅需要氢化的四氯化硅按19kg计算；增加或减少用量按比例折算。5.4.6每干克多晶硅氨气消耗按2Nm计算，增加或减少用量按比例折算：5.4.7每千克多晶硅消耗高纯三氟氢硅总量按50kg计算，增加或减少用量按比例折算。5.4.8各工艺、工序能耗为考核参考值。建议综合利用热能，考核以综合能耗为准。6节能管理与措施
6.1节能基础管理
6.1.1企业应建立节能考核制度，定期对多品硅各生产工序能耗情况进行考核，并把考核指标分解落实到各基层单位。
6.1.2企业应按要求建立能耗统计体系，建立能耗计算和统计结果的文件档案，并对文件进行受控管理。
6.1.3企业应根据GB17167的要求配备相应的能源计量器具并建立能源计量管理制度。6.2节能技术管理
多晶硅企业应配备余热回收等节能设备，最大限度地回收各工序产生的能源。8
（资料性附票）
常用能源品种现行参考折标准煤系数A.1常用能源品种现行折标准煤系数见表A.1.常用能源品种现行折标准煤系数表A.1
洗精煤
液化石油气
电力（当量值）
煤气，
天然气
平均低位发热量
20 908 kJ/kg(5 000 kcal/kg)
26344kJ/kg(6300 kcal/kg)
41 815 kJ/kg(10 000 kcal/kg)42 652 kJ/kg(10 2C0 kual/kg)13 07C kl/kg(10 300 kcal/kg)2%435k//kg（6800kcal/kg)(东分13.5%）50 179 kJ/kg(12 000kcal/sg)
3 600 kJ/(kw + h>L86n kcal/38 931 kJ/m(9 310 keal/m*)
压力0.9MPa(表),温度197℃
注1：蒸汽折标准烘系数按热值计。注2：部分品种仍采用“万”为计盘单位。GB 29447-2012
折标准煤系数及单位
注3：折标准煤系数如避国家统计部门规定发生变化，能耗等级指标则成另行规定，单位
kgce/kg
kgce/kg
kgce/kg
kgce/kz
kgce/kg
kgce/kg
kgce/ky
kgve/(kW-h)
kgce/M
tce/10t m
tee/10 m
GB29447—2012
附录B
（资料性附象）
耗能工质能源等价参考值
常用耗能工质能源等价值见表B.1。B.i
常用耗能工质能源等价值
能源等价值
新鲜水
软化水
压缩空气
二氧化碳气
热值/
14. 234 7
11. 723 0
19. 677 1
243.G72 2
注：能源等价值如有变动，以国家统计部门最新公布的数据为准。10
折标准煤
指尚未使用过的白来水，
按平均耗电计算
当副产品时
当主产品时
按耗电石计莞
按平均耗焦炭、电等计算
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