GB/T 31058-2014
基本信息
标准号： GB/T 31058-2014
中文名称：电子工业用气体 四氟化硅
标准类别：国家标准(GB)
标准状态：现行
出版语种：简体中文
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标准分类号
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出版信息
相关单位信息
标准简介
GB/T 31058-2014 电子工业用气体 四氟化硅
GB/T31058-2014
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标准内容
ICS 71.100.20
中华人民共和国国家标准
GB/T31058—2014
电子工业用气体
四氟化硅
Gases for electronic industry-Silicon tetrafluoride2014-12-22发布
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局中国国家标准化管理委员会
2015-07-01实施
中华人民共和国
国家标推
电子工业用气体四氟化硅
GB/T 31058—2011
中国标准出版社出版发行
北京市朝阳区和平里西街甲2号（100029）北京市西城区三里河北街16号(100045)网址 spc,net,cn
总编室：（010)68533533发行中心：（010)51780238读者服务部：(010)68523946
中国标准出版社素皇岛印刷厂印刷名地新华书店经销
开本880×12301/16
印张 0.5 字数 11 千字
2015 年1月第一版
2015 年4 月第一次印刷
书号：155066·1-51307定价
如有印装差错
由本社发行中心调换
版权专有
侵权必究
举报电话：(010)68510107
本标准按照GB/T1.12009给出的规则起草GB/T31058—2014
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（SAC/TC203)提山并归口。本标准起草单位：核工业现化工程研究院华核新技术开发公司、佛山市华特气体有限公司、绿菱电子材料（天津)有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、贵州大学、西南化工研究设计院有限公司本标准主要起草人：邓建平、李于教、傅铸红、汤有伦、崔学文、方华、康安江、周鹏云。T
1范围
电子工业用气体
四氟化硅
本标准规定了四氟化硅的技术要求、试验方法.标志，包装、运输和贮存等内容。GB/T 31058—2014
本标准适用于萤石硫酸法、六氟硅酸盐热分解法、单质硅直接氟化法制备的四氟化硅。它主要用作电子！业中等离了蚀刻、发光一极管P形掺杂、离子注入工艺、外延沉积扩做的硅源和光导纤维用高纯英啵璃的原料，也是生产多品硅的重要原料。分子式:SiF.。
相对分子质量：104.0786128（按2009年国际原子相对质量）。2规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注月期的版术适用于本文件。凡是不注月期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单)适用于本文件。GB190危险货物包装标志
GB/T 3723
业用化学产品采样安全通则
GB35099
钢质无缝气瓶
GB7144
气瓶颜色标志
GB14194永久气体充装规定
（GI315258化学品安全标签编写规定GB16804气瓶警示标签
GB/T26571特种气体储存期规范
GB/T287262012气体分析氮离了化气相色谱法G13/T28727气体分析硫化物的测定火焰光度气相色谱法气瓶安全监察规程（2000版）
危险化学品安全管理条例（2002版）特种设备安全监察条例（2009版）3技术要求
四氟化硅的技术要求应符合表1的要求。表 1 技术指标
四氰化硅纯度(体积分数)/10-2
氢(H2)含量(体积分数)/10-d
(氧十氢）(()a十Ar)含量(体积分数）/10-6氮(Nz)含量（体积分数)/105
GB/T 31058—2014
氧化（C0)）含量（体积分数)/10-B二氧化碳(CO:)含量（体积分数)/10~6甲烷(CH,)含量(休积分数)/10-8统化（H,S)含量\（体积分数)/10-二氧化硫（SO2)含量\(体积分数)/10-总杂质含量(体积分数)/10-6
六氟二甲基硅醚
1适用于萤石硫酸法制备的产品
试验方法
抽样、判定和复验
表1（续）
供需双方商定
供需双方商定
供需双方商定
供需双方商楚
供需双方商楚
供需双方商定
4.1.1从同--来源稳定充装的四氟化硅气体构成一批。纯度为99.99×10-2（体积分数）的四氟化硅抽样瓶数按表2规从每批产品中随机抽样。当检验结果有项不符合本标准要求时，则应重新加倍随机抽样并进行复验，复验结果有一项不符合本标准要求时，则判定该批产品不合格。表2瓶装四氟化硅产品抽样表
每批产品气瓶数
最少抑样气瓶数
4.1.2纯度为99.999×10-（体积分数）的四氟化硅产品应逐瓶检验。当检验结果有任何一项指标不符合本标准技术要求时，则判该产品不合格。4.1.3四氟化硅采样安全应符合GB/T3723中的相关规定。4.2四氟化硅纯度
总杂质含量按式(1)计算：
+++垂++++
式中：
重——总杂质含量（体积分数），10-°，重,-\--氢气的含量(体积分数）,10；2
更——氮气的含量（体积分数），10-5；@，--—氧十氨的含量（体积分数），105一氮化碳的含量（体积分数）,10-；，——一氧化碳的含量（体积分数),10-\，Φ：—-中烷含量(体积分数）,10:;硫化氢含量（体积分数），10-\——二氢化硫含量(林积分数）,10-54.2.2四氟化硅纯度按式(2)计算：±=100—：×10 4
式中：
重——四臧化硅纯度(体积分数）,1024.3氢、氧十氩、氮、一氧化碳、甲烷、二氧化碳含量的测定GB/T 31058—2014
按G13/T287262012规定的切割样的方法测定四氟化硅中的氢、氙+氩、氮、一氧化碳，二氧化嵌、中烧含量.
预分离柱:长约 5 tm、内径约 2 mm 的 316 I. 不锈钢管,内装约粒径为 (.18 mm~0.25 mm 的 Prapak Q(一种高分子聚合物）,或其他等效色谱柱。色谱柱：色谱柱工：长约3m、内径2mm的316L不锈钢柱，内装粒径为0.18mm-~0.25mm的5A分子筛,或其他等效色语柱。该样用下分析氢、鼠十氩,氮含，色谱柱Il：长约2m、内径约2mm的316L不锈钢管，内装粒径为0.18mm~0.25mm的HayeSepIB，或其他等效色谱柱。该柱用手分析-氧化碳、甲烷二氧化碳含量标推样品：纽分含量的体积分数为1×106~5×105,或与样品其中的组分含量相近，平衡气为氮。
允许采用其他等效的方法测定四氟化硅中的氢、氧十氯、氮、一氧化碳，一氧化碳、甲烷含量、当以上测定结果有异议时,本标推规定的方法为仲裁方法。4.4硫化氢、二氧化硫含量的测定按GB/T28727规定的方法测定四氟化硅中的硫化氢、二氧化碰含量预分离柱：长约5m,内径约2mm的聚四氟乙烯管,内装约粒径为0.18 min~0.25mm的PorapakQ(-种高分子聚合物),或其等效色谱柱。色谱柱长约3m、内径约2mm的聚四氟乙烯管，内装粒径为0.18mm~0.25mm的CDX-303，或其他等效色谱柱。
标准样品：纽分含量的体积分数为1×10～5×[0\，或与样品其中的组分含量相近，平气为氨。
允许来用其他等效的方法测定四氟化硅中的硫化氢、二氧化硫含量：当以1测定结果有异议时，本标雅规的方法为师裁方法。
5包装.标志、运及安全
5.1包装、标志及贮运
5.1.1四氟化硅的充装及贮运应符合《气瓶安全监察规程》《危险化学品安全管理条例》和《特种设备安全监察条例》的相关规定。
GB/T 31058—2014
5.1.2包装四氟化硅的气瓶应符合GB5099的规定。5.1.3推荐使用经过内表面处理的气瓶，处理后的气瓶应满足本标准的要求。瓶阀出气口接方式推荐使用CGA330。
5.1.4成防止瓶口被污染和泄漏wwW.bzxz.Net
5.1.5四氟化硅的充装应符合(G13 14194的相关规定。5.1.6四氟化硅的包装标志应衍合GB190的相关规定，颜色标志应符合GB7144的规定，标签应符合G316804、GB 15258规定的要求，5.1.7包装睿器上应标明电子四氟化硅”字样。5.1.8四氟化硅的保存期限按GB/T26571规定执行。5.1.9四氟化硅出厂时应附有质量合格证，其内容至少应包括：产品名称、生产厂名称；
生产月期或批号、充装质量(kg)；-本标推编号及技术指标、检验员号。5.1.10四氟化硅产品应存放在阴凉、干燥、通风的库房内，严禁噪晒，远离热源、油污环境，定期用卤素检漏仪检查、消漏。
5.2安全警示
5.2.1四氟化硅在常温常压下为具有室息性刺激臭的无色气体，空气中不燃烧。在空气中能形成白色烟募,水解后牛成 HF和氟硅酸。5.2,2四氟化硅遇水分解生成的氟化氢等氟化物对人体产生毒作用。它对皮肤、眼睛和呼吸道黏膜产生刺激和附属作用，能引起流泪、眼痛、咳嗽、呼吸困难、肺水肿等症状。长期接触可引起牙齿酸蚀症及骨硬化症：
5.2.3对于燥的四氟化硅可使用大多数通用金属材料，对潮湿的气体可以用蒙乃尔等合金。5.2.4灭火方法：消防人员必须穿全身防火防毒服，在上风间灭火。切断气源。水冷却容器，可能的话将容器从火场移至空旷处。灭火剂为雾状水、于粉、砂十。5.2.5泄应急处理：迅速撤离泄漏污染区人员至上风处，并立即隔离，严格限制出人。应急处理人员应穿戴配备正压白给式呼吸器的化学防护服（完全隔离）。从上风处入现场。尽可能切断泄潴源。合理通风，加速扩散。构筑围堤或挖坑收容产生的大量废水。漏气容器要要善处理，修复、检验后再用。5.2.6操作注意事项：严加密闭，提供充分的局部排风和全面通风。操作人员必须经过专门培训，严格遵守操作规程。建议操作人员穿戴配备正压自给式呼吸器的化学防护服，戴橡胶手套。防正气体泄瀚到工作场所空气中。避免与酸类接触。尤其娶注意避免与水接触。搬运时轻装轻卸，防止钢瓶及附件破损。配备泄漏应急处理设备。贮存注意事项：贮存于阴凉、干煤、通风良好的库房。远离火种、热源。库温不宜超过30℃。应与酸类、食用化学品分开存放，切忌混贮。贮区应备有泄漏应急处理设备。版权专有侵权必究
书号:155066 -1-51307
GB/T 31058-2014
打扩印日期：2015年7月7几F009定价：
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中华人民共和国国家标准
GB/T31058—2014
电子工业用气体
四氟化硅
Gases for electronic industry-Silicon tetrafluoride2014-12-22发布
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局中国国家标准化管理委员会
2015-07-01实施
中华人民共和国
国家标推
电子工业用气体四氟化硅
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印张 0.5 字数 11 千字
2015 年1月第一版
2015 年4 月第一次印刷
书号：155066·1-51307定价
如有印装差错
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本标准按照GB/T1.12009给出的规则起草GB/T31058—2014
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（SAC/TC203)提山并归口。本标准起草单位：核工业现化工程研究院华核新技术开发公司、佛山市华特气体有限公司、绿菱电子材料（天津)有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、贵州大学、西南化工研究设计院有限公司本标准主要起草人：邓建平、李于教、傅铸红、汤有伦、崔学文、方华、康安江、周鹏云。T
1范围
电子工业用气体
四氟化硅
本标准规定了四氟化硅的技术要求、试验方法.标志，包装、运输和贮存等内容。GB/T 31058—2014
本标准适用于萤石硫酸法、六氟硅酸盐热分解法、单质硅直接氟化法制备的四氟化硅。它主要用作电子！业中等离了蚀刻、发光一极管P形掺杂、离子注入工艺、外延沉积扩做的硅源和光导纤维用高纯英啵璃的原料，也是生产多品硅的重要原料。分子式:SiF.。
相对分子质量：104.0786128（按2009年国际原子相对质量）。2规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注月期的版术适用于本文件。凡是不注月期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单)适用于本文件。GB190危险货物包装标志
GB/T 3723
业用化学产品采样安全通则
GB35099
钢质无缝气瓶
GB7144
气瓶颜色标志
GB14194永久气体充装规定
（GI315258化学品安全标签编写规定GB16804气瓶警示标签
GB/T26571特种气体储存期规范
GB/T287262012气体分析氮离了化气相色谱法G13/T28727气体分析硫化物的测定火焰光度气相色谱法气瓶安全监察规程（2000版）
危险化学品安全管理条例（2002版）特种设备安全监察条例（2009版）3技术要求
四氟化硅的技术要求应符合表1的要求。表 1 技术指标
四氰化硅纯度(体积分数)/10-2
氢(H2)含量(体积分数)/10-d
(氧十氢）(()a十Ar)含量(体积分数）/10-6氮(Nz)含量（体积分数)/105
GB/T 31058—2014
氧化（C0)）含量（体积分数)/10-B二氧化碳(CO:)含量（体积分数)/10~6甲烷(CH,)含量(休积分数)/10-8统化（H,S)含量\（体积分数)/10-二氧化硫（SO2)含量\(体积分数)/10-总杂质含量(体积分数)/10-6
六氟二甲基硅醚
1适用于萤石硫酸法制备的产品
试验方法
抽样、判定和复验
表1（续）
供需双方商定
供需双方商定
供需双方商定
供需双方商楚
供需双方商楚
供需双方商定
4.1.1从同--来源稳定充装的四氟化硅气体构成一批。纯度为99.99×10-2（体积分数）的四氟化硅抽样瓶数按表2规从每批产品中随机抽样。当检验结果有项不符合本标准要求时，则应重新加倍随机抽样并进行复验，复验结果有一项不符合本标准要求时，则判定该批产品不合格。表2瓶装四氟化硅产品抽样表
每批产品气瓶数
最少抑样气瓶数
4.1.2纯度为99.999×10-（体积分数）的四氟化硅产品应逐瓶检验。当检验结果有任何一项指标不符合本标准技术要求时，则判该产品不合格。4.1.3四氟化硅采样安全应符合GB/T3723中的相关规定。4.2四氟化硅纯度
总杂质含量按式(1)计算：
+++垂++++
式中：
重——总杂质含量（体积分数），10-°，重,-\--氢气的含量(体积分数）,10；2
更——氮气的含量（体积分数），10-5；@，--—氧十氨的含量（体积分数），105一氮化碳的含量（体积分数）,10-；，——一氧化碳的含量（体积分数),10-\，Φ：—-中烷含量(体积分数）,10:;硫化氢含量（体积分数），10-\——二氢化硫含量(林积分数）,10-54.2.2四氟化硅纯度按式(2)计算：±=100—：×10 4
式中：
重——四臧化硅纯度(体积分数）,1024.3氢、氧十氩、氮、一氧化碳、甲烷、二氧化碳含量的测定GB/T 31058—2014
按G13/T287262012规定的切割样的方法测定四氟化硅中的氢、氙+氩、氮、一氧化碳，二氧化嵌、中烧含量.
预分离柱:长约 5 tm、内径约 2 mm 的 316 I. 不锈钢管,内装约粒径为 (.18 mm~0.25 mm 的 Prapak Q(一种高分子聚合物）,或其他等效色谱柱。色谱柱：色谱柱工：长约3m、内径2mm的316L不锈钢柱，内装粒径为0.18mm-~0.25mm的5A分子筛,或其他等效色语柱。该样用下分析氢、鼠十氩,氮含，色谱柱Il：长约2m、内径约2mm的316L不锈钢管，内装粒径为0.18mm~0.25mm的HayeSepIB，或其他等效色谱柱。该柱用手分析-氧化碳、甲烷二氧化碳含量标推样品：纽分含量的体积分数为1×106~5×105,或与样品其中的组分含量相近，平衡气为氮。
允许采用其他等效的方法测定四氟化硅中的氢、氧十氯、氮、一氧化碳，一氧化碳、甲烷含量、当以上测定结果有异议时,本标推规定的方法为仲裁方法。4.4硫化氢、二氧化硫含量的测定按GB/T28727规定的方法测定四氟化硅中的硫化氢、二氧化碰含量预分离柱：长约5m,内径约2mm的聚四氟乙烯管,内装约粒径为0.18 min~0.25mm的PorapakQ(-种高分子聚合物),或其等效色谱柱。色谱柱长约3m、内径约2mm的聚四氟乙烯管，内装粒径为0.18mm~0.25mm的CDX-303，或其他等效色谱柱。
标准样品：纽分含量的体积分数为1×10～5×[0\，或与样品其中的组分含量相近，平气为氨。
允许来用其他等效的方法测定四氟化硅中的硫化氢、二氧化硫含量：当以1测定结果有异议时，本标雅规的方法为师裁方法。
5包装.标志、运及安全
5.1包装、标志及贮运
5.1.1四氟化硅的充装及贮运应符合《气瓶安全监察规程》《危险化学品安全管理条例》和《特种设备安全监察条例》的相关规定。
GB/T 31058—2014
5.1.2包装四氟化硅的气瓶应符合GB5099的规定。5.1.3推荐使用经过内表面处理的气瓶，处理后的气瓶应满足本标准的要求。瓶阀出气口接方式推荐使用CGA330。
5.1.4成防止瓶口被污染和泄漏wwW.bzxz.Net
5.1.5四氟化硅的充装应符合(G13 14194的相关规定。5.1.6四氟化硅的包装标志应衍合GB190的相关规定，颜色标志应符合GB7144的规定，标签应符合G316804、GB 15258规定的要求，5.1.7包装睿器上应标明电子四氟化硅”字样。5.1.8四氟化硅的保存期限按GB/T26571规定执行。5.1.9四氟化硅出厂时应附有质量合格证，其内容至少应包括：产品名称、生产厂名称；
生产月期或批号、充装质量(kg)；-本标推编号及技术指标、检验员号。5.1.10四氟化硅产品应存放在阴凉、干燥、通风的库房内，严禁噪晒，远离热源、油污环境，定期用卤素检漏仪检查、消漏。
5.2安全警示
5.2.1四氟化硅在常温常压下为具有室息性刺激臭的无色气体，空气中不燃烧。在空气中能形成白色烟募,水解后牛成 HF和氟硅酸。5.2,2四氟化硅遇水分解生成的氟化氢等氟化物对人体产生毒作用。它对皮肤、眼睛和呼吸道黏膜产生刺激和附属作用，能引起流泪、眼痛、咳嗽、呼吸困难、肺水肿等症状。长期接触可引起牙齿酸蚀症及骨硬化症：
5.2.3对于燥的四氟化硅可使用大多数通用金属材料，对潮湿的气体可以用蒙乃尔等合金。5.2.4灭火方法：消防人员必须穿全身防火防毒服，在上风间灭火。切断气源。水冷却容器，可能的话将容器从火场移至空旷处。灭火剂为雾状水、于粉、砂十。5.2.5泄应急处理：迅速撤离泄漏污染区人员至上风处，并立即隔离，严格限制出人。应急处理人员应穿戴配备正压白给式呼吸器的化学防护服（完全隔离）。从上风处入现场。尽可能切断泄潴源。合理通风，加速扩散。构筑围堤或挖坑收容产生的大量废水。漏气容器要要善处理，修复、检验后再用。5.2.6操作注意事项：严加密闭，提供充分的局部排风和全面通风。操作人员必须经过专门培训，严格遵守操作规程。建议操作人员穿戴配备正压自给式呼吸器的化学防护服，戴橡胶手套。防正气体泄瀚到工作场所空气中。避免与酸类接触。尤其娶注意避免与水接触。搬运时轻装轻卸，防止钢瓶及附件破损。配备泄漏应急处理设备。贮存注意事项：贮存于阴凉、干煤、通风良好的库房。远离火种、热源。库温不宜超过30℃。应与酸类、食用化学品分开存放，切忌混贮。贮区应备有泄漏应急处理设备。版权专有侵权必究
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