GB∕T 33633-2017
基本信息
标准号： GB∕T 33633-2017
中文名称：真空技术 容积真空泵 水蒸气容限的测量
标准类别：国家标准(GB)
标准状态：现行
出版语种：简体中文
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标准分类号
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标准简介
GB∕T 33633-2017 真空技术 容积真空泵 水蒸气容限的测量
GB∕T33633-2017
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标准内容
ICS 23.160
中华人民共和国国家标准
GB/T33633-—2017
真空技术
容积真空泵
水蒸气容限的测量
Vacuum technology-Positive-displacement vacuum pump-Measurement of water vapour tolerance2017-05-12发布
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局中国国家标准化管理委员会
2017-12-01实施
2规范性引用文件
3术讲和定义
5水蒸气容限的测量
附录A（资料性附录）
附录B(资料性附录)
水的饱和蒸气压
水的气化热
附录C (资料性附录)
水蒸气抽除量的计算
GB/T 33633—2017
本标准按照GB/T1.1-2009给出的规则起草本标摊由中国机械工业联合会提出。本标准由全国真空技术标准化技术委员会（SAC/TC18)归口。GB/133633—2017
本标准起草单位：浙江真空设备集团有限公司、浙汀飞越机电有限公司、介肥智海光电技术有限公司、淄博真空设备厂有限公司、东莞胜精密组件股份有限公司、山东伯仲真空设备股份有限公司、台州环球真空设备制造有限公司、淄博市机电泵类产品质量检验研究院，沈阳真空技术研究所。本标准主要起草人：正西龙、罗根松、许涛、钟云会、蒋发荣、刘磊、张晨光、胡眉、徐法俭、王长明、张维、郭金光、赵伟胜、赵计春、姜云峰、马琨岩、王玲玲rrKAONiKAca
1范围
真空技术
容积真空泵
水蒸气容限的测量
本标准规定了容积真空泵水蒸容限的一种气体转换测量方法，本标准适用于直排大气，并且基础压力低于100Pa的泵。2规范性引用文件
GB/T 33633—2017
下列文件对丁本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仪注日期的版本适用于本文件。凡是不注H期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。GB/T3163真空技术术语
3术语和定义
GB/T 3163界定的以及下列术语和定义适用于本文件。3.1
气镇 gas ballast
将适量的非川凝性气体（镇气)引入到泵的压缩腔内，以避免或减少被抽气体在压缩过程中产生冷凝液的一种方法。
气镇量volume Flow rale of ballast gasB
单位时间内引入录压缩腔内的镇气休积。注：单位为1./s。
water vapour talerance
水蒸气容限
标准环境条件（温度 293K,大气压101325Pa,相对湿度 65%）下,连续运转时录内不发生冷凝,所能抽除水蒸气的最高入口压力。注：单位为Pa。
饱和蒸气压saturatiun yupour presurep.
某-温度下，液相和气相处于平衡状态时的压力。注：单位为 Pa。
水蒸气饱和温度
water vapour saturation temperature对应于水蒸气饱和压力时的温度，注：单位为 K。
KAOMiKAca
GB/T 33633--2017
walervapourpump-outcapacity
水蒸气拖除量
标准环境条件（温度293K，人气压101325Pa，相对湿度65%）下，连续运转时泵内不发生冷凝，单位时间内所能抽除的水的最大质量。注：单位为g/h。
4装置
4.1测量装置
水蒸气容限的量装置如图1所示，4.1.1
说明：
--测试军；
2流量计(测量气镇量3);
一试验浆：
进气阀：
度计测蛋相对湿度)；
点空计（测量人口压：）；
温度计《测量排气溢度了)；
卡力表（测量排气压力)；
气压表(测逆大气压力)。
图1水蒸气容限的测量装置
KAoNiKAca
4.1.2测量排气温度和压力的测量管如图2所示。e.544
说明：
排气温度 T测点：
2-压力计+
D——排气管内径
aso.5D。
图2测量排气温度和压力的测量管4.2温度计
温度计误差应不超过士0,5 K，bzxZ.net
GB/T33633—2017
排气温度的测量是在按图2所示弯管中进行的。旁管口径应等于泵排气口径，但不小于20mm温度传感器安装在测量值不受热传导明显影响的位置。4,3真空计
真空计误差应不超过被测压力的土5%，4.4压力计
压力计误差应不超过被测压力的士5%。4.5流量计
测量气镇量，应使用具有士1为精确度的气体流量计。rrKAONIKAca
GB/T 33633—2017
5水蒸气容限的测量
5.1总测
用水燕气直接测量是很复杂的，有间能会在泵内引起不为人们所注意的凝结。采用干燥空气进行测量，经过修正就可换算到抽水蒸气的状态，2水蒸气容限的公式
Bpe×p.(1+p./ps)(ap./pu)pa
式中：
pw—水蒸气容限，单位为帕(Pa)：气镇量.单位为升每秒(L/s)；
p=—-大气中的空气分压，单位为升每秒（Pa)；Sn\气镇时泵的体积流率，单位为升每秒(1./s)；p。——-不同入口压力下的饱和蒸气压，单位为帕（Pa);.—大气中的水蒸气分压，单位为帕(Pa)po—大气压，单位为帕(Pa).po=p。+pe，压升系数，由排气阀结构而定，一般取1.1.5.3测量程序
泵在关闭进气阀和全开气镇阀的情况下，运转足够长的时间，直至15nin内泵排气口规定的测量点测得的温升小下门.5K，然后测量气镇状态下零流量时的排气温度T2和气镇量3，并在接下来的测量过程中B保持不变。此后，干燥空气从录进气口进人，用进气谢调节第一个入口压力，测量泵的体积流率和排山气体稳定的排气温度工，这一步骤最少要取4个不同的人口压力重复进行，其巾至少要有…个人口压力高于所期望的水蒸气容限，最后測星下列值：
a）环境温度T：，应在规定的范围（293K士1K)内；b）大气力as
c）以%表示的环境大气相对湿度驴。测量只充许在大气压力。≤107kPa的情说下进行，气压力P，与大气压力之间的压差成小于1kPa.
5.4测量评估
5.4.1修正后的排气温度～入口压力（T2a～p，）曲线在泵内斥缩的过程中，没有发生与环境间的热交换。这意味着，压缩过程是隔热的，凶为空气和水蒸气有着不的绝热指数，就会有不同的压缩能量。泵的温升与压缩能量消耗成正比，因此测得的排气温度T,需用比值Wadw/Wndn修正。床统能量的公式为：
W——压缩能量，单位为焦(J)；--绝热指数空气=1.4,水蒸气k—1.3333K
TYKAONKAca
人口压力，单位为帕（Pa)；
工作容积，单位为立方米（m）。排气溢度T，的修正系数为：
式中：
排气温度 T2的修止系数,见表1;Wed
水蒸气的绝热压缩能量，单位为焦（J)；空气的绝热压缩能量，单位为焦（J）。表 1排气温度修正系数W
排气温度的修止公式为：
T2=W.(T,—)-→ T2
式中：
修正后的排么温度，单位为开（K）；T，——的排气温度,单位为开(K);T2
气镇时，泵零流量时的排气温度，单位为开（K）W.
GB/T 33633—2017
（3）
将测得的大气压力力、相对湿度Φ以及空气的绝热指数c-1. 4、水蒸气的绝热指数 c=1.333 3代人式(2)和式(3),计算得出不同入口压力下的排气温度T,的修正系数W,r，将测得的泵的排气温度T,和泵零流量时的排气温度T2n以及修正系数W。代人式(4),计算得出所有人[1压力P1下的修正后的排气温度T并在图3所示的图表甲画出T～曲线。5.4.2排气饱和温度～入口压力(Tz～p,)曲线人口压力下的饱和蒸气压为：
p.=apr—
pIS/peB+p/p+1
式中：
-大气中的水蒸气分压，p，=Φp,p，是环境温度 T下水的饱蒸气压，单位为帕(Pa)；大气中的空气分压,p=p一p。,单位为帕(Pa)。将测得的、S~、B和。代人式(5),计算出所有人口压力pi下的。排气饱和温度为;
Taα=1T -(R/L)in(p/p)
排气饱和温度，单位为开(K);
泵温，气阀处附近的温度，单位为开（K)：-(6)
KAONiKAca
GB/T33633--2017
一通用气体常数，其值为8.31441J/(mol.K)；水的气化热：
泵温下水的饱和蒸气压，单位为帕(Pa)。将计算所得的一系列 P,下的 ,和测得的泵温 T,,由附录 A 中表 A.1 查得的水的饱和蒸压 P7o 、出附录B中表B.1查得的水的气化热L以及通用气体常数R代人式（6）、计算出所有人口压力P，下的排气饱和温度T2，并在图 3的图表里而出 T2～p1曲线。5.4.3水蒸气容限
将修正后的排气温度～人口压力（T～p，）曲线与排气饱和温度～人口压力（T2,～,）曲线，画在个纵坐标为温度、横坐标(对数坐标)为压力的图表果,如图3所示。T2～力曲线与 T2～P,线交点的坐标就是水蒸气容限。
说朗：
-排气源度～人I压力(T～)线：
—-—修正后的排气温度人【压力.）曲线3
排气饱和度～人口压（T2pi)曲线；排气溢度，单位为K；
人口压，单位为 Pa；
水蒸气容限，单位为 Pa。
图 3 对应于入口压力的排气温度和水蒸气饱和温度5.4.4水蒸气抽除蛋的计算
水蒸气抽除量的计算参见附录C.6
KAONiKAca
10 620
29 840
45 470
附录A
(资料性附录）
水的饱和蒸气压
水的饱和蒸气压
23 910
GB/T 33633—2017
单位为帕
10 090
16 520
26 150
40 190
GB/T33633—2017
43 048
42 612
41 262
42 962
41 630
41 171
附录B
（资料性附录）
水的气化热
40 656
水的气化热
41 991
41 538
41 078
41 492
40 984
41 100
单位为焦每库尔
41 354
水蒸气抽除量的计算公式：
式中：
附录C
(资料性附录)
水蒸气抽除量的计算
Cw——水蒸气抽除量，单位为克每小时（g/h）；S——在入口压力.下,气镇时的体积流率，单位为升每秒(L/s)；p
水蒸气容限，单位为帕（Pa）;
GB/T33633—2017
.......... C.
T —在泵人凹被水蒸气的温度,单位为开(K)。一般情况下设 T=293 K。
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真空技术
容积真空泵
水蒸气容限的测量
Vacuum technology-Positive-displacement vacuum pump-Measurement of water vapour tolerance2017-05-12发布
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局中国国家标准化管理委员会
2017-12-01实施
2规范性引用文件
3术讲和定义
5水蒸气容限的测量
附录A（资料性附录）
附录B(资料性附录)
水的饱和蒸气压
水的气化热
附录C (资料性附录)
水蒸气抽除量的计算
GB/T 33633—2017
本标准按照GB/T1.1-2009给出的规则起草本标摊由中国机械工业联合会提出。本标准由全国真空技术标准化技术委员会（SAC/TC18)归口。GB/133633—2017
本标准起草单位：浙江真空设备集团有限公司、浙汀飞越机电有限公司、介肥智海光电技术有限公司、淄博真空设备厂有限公司、东莞胜精密组件股份有限公司、山东伯仲真空设备股份有限公司、台州环球真空设备制造有限公司、淄博市机电泵类产品质量检验研究院，沈阳真空技术研究所。本标准主要起草人：正西龙、罗根松、许涛、钟云会、蒋发荣、刘磊、张晨光、胡眉、徐法俭、王长明、张维、郭金光、赵伟胜、赵计春、姜云峰、马琨岩、王玲玲rrKAONiKAca
1范围
真空技术
容积真空泵
水蒸气容限的测量
本标准规定了容积真空泵水蒸容限的一种气体转换测量方法，本标准适用于直排大气，并且基础压力低于100Pa的泵。2规范性引用文件
GB/T 33633—2017
下列文件对丁本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仪注日期的版本适用于本文件。凡是不注H期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。GB/T3163真空技术术语
3术语和定义
GB/T 3163界定的以及下列术语和定义适用于本文件。3.1
气镇 gas ballast
将适量的非川凝性气体（镇气)引入到泵的压缩腔内，以避免或减少被抽气体在压缩过程中产生冷凝液的一种方法。
气镇量volume Flow rale of ballast gasB
单位时间内引入录压缩腔内的镇气休积。注：单位为1./s。
water vapour talerance
水蒸气容限
标准环境条件（温度 293K,大气压101325Pa,相对湿度 65%）下,连续运转时录内不发生冷凝,所能抽除水蒸气的最高入口压力。注：单位为Pa。
饱和蒸气压saturatiun yupour presurep.
某-温度下，液相和气相处于平衡状态时的压力。注：单位为 Pa。
水蒸气饱和温度
water vapour saturation temperature对应于水蒸气饱和压力时的温度，注：单位为 K。
KAOMiKAca
GB/T 33633--2017
walervapourpump-outcapacity
水蒸气拖除量
标准环境条件（温度293K，人气压101325Pa，相对湿度65%）下，连续运转时泵内不发生冷凝，单位时间内所能抽除的水的最大质量。注：单位为g/h。
4装置
4.1测量装置
水蒸气容限的量装置如图1所示，4.1.1
说明：
--测试军；
2流量计(测量气镇量3);
一试验浆：
进气阀：
度计测蛋相对湿度)；
点空计（测量人口压：）；
温度计《测量排气溢度了)；
卡力表（测量排气压力)；
气压表(测逆大气压力)。
图1水蒸气容限的测量装置
KAoNiKAca
4.1.2测量排气温度和压力的测量管如图2所示。e.544
说明：
排气温度 T测点：
2-压力计+
D——排气管内径
aso.5D。
图2测量排气温度和压力的测量管4.2温度计
温度计误差应不超过士0,5 K，bzxZ.net
GB/T33633—2017
排气温度的测量是在按图2所示弯管中进行的。旁管口径应等于泵排气口径，但不小于20mm温度传感器安装在测量值不受热传导明显影响的位置。4,3真空计
真空计误差应不超过被测压力的土5%，4.4压力计
压力计误差应不超过被测压力的士5%。4.5流量计
测量气镇量，应使用具有士1为精确度的气体流量计。rrKAONIKAca
GB/T 33633—2017
5水蒸气容限的测量
5.1总测
用水燕气直接测量是很复杂的，有间能会在泵内引起不为人们所注意的凝结。采用干燥空气进行测量，经过修正就可换算到抽水蒸气的状态，2水蒸气容限的公式
Bpe×p.(1+p./ps)(ap./pu)pa
式中：
pw—水蒸气容限，单位为帕(Pa)：气镇量.单位为升每秒(L/s)；
p=—-大气中的空气分压，单位为升每秒（Pa)；Sn\气镇时泵的体积流率，单位为升每秒(1./s)；p。——-不同入口压力下的饱和蒸气压，单位为帕（Pa);.—大气中的水蒸气分压，单位为帕(Pa)po—大气压，单位为帕(Pa).po=p。+pe，压升系数，由排气阀结构而定，一般取1.1.5.3测量程序
泵在关闭进气阀和全开气镇阀的情况下，运转足够长的时间，直至15nin内泵排气口规定的测量点测得的温升小下门.5K，然后测量气镇状态下零流量时的排气温度T2和气镇量3，并在接下来的测量过程中B保持不变。此后，干燥空气从录进气口进人，用进气谢调节第一个入口压力，测量泵的体积流率和排山气体稳定的排气温度工，这一步骤最少要取4个不同的人口压力重复进行，其巾至少要有…个人口压力高于所期望的水蒸气容限，最后測星下列值：
a）环境温度T：，应在规定的范围（293K士1K)内；b）大气力as
c）以%表示的环境大气相对湿度驴。测量只充许在大气压力。≤107kPa的情说下进行，气压力P，与大气压力之间的压差成小于1kPa.
5.4测量评估
5.4.1修正后的排气温度～入口压力（T2a～p，）曲线在泵内斥缩的过程中，没有发生与环境间的热交换。这意味着，压缩过程是隔热的，凶为空气和水蒸气有着不的绝热指数，就会有不同的压缩能量。泵的温升与压缩能量消耗成正比，因此测得的排气温度T,需用比值Wadw/Wndn修正。床统能量的公式为：
W——压缩能量，单位为焦(J)；--绝热指数空气=1.4,水蒸气k—1.3333K
TYKAONKAca
人口压力，单位为帕（Pa)；
工作容积，单位为立方米（m）。排气溢度T，的修正系数为：
式中：
排气温度 T2的修止系数,见表1;Wed
水蒸气的绝热压缩能量，单位为焦（J)；空气的绝热压缩能量，单位为焦（J）。表 1排气温度修正系数W
排气温度的修止公式为：
T2=W.(T,—)-→ T2
式中：
修正后的排么温度，单位为开（K）；T，——的排气温度,单位为开(K);T2
气镇时，泵零流量时的排气温度，单位为开（K）W.
GB/T 33633—2017
（3）
将测得的大气压力力、相对湿度Φ以及空气的绝热指数c-1. 4、水蒸气的绝热指数 c=1.333 3代人式(2)和式(3),计算得出不同入口压力下的排气温度T,的修正系数W,r，将测得的泵的排气温度T,和泵零流量时的排气温度T2n以及修正系数W。代人式(4),计算得出所有人[1压力P1下的修正后的排气温度T并在图3所示的图表甲画出T～曲线。5.4.2排气饱和温度～入口压力(Tz～p,)曲线人口压力下的饱和蒸气压为：
p.=apr—
pIS/peB+p/p+1
式中：
-大气中的水蒸气分压，p，=Φp,p，是环境温度 T下水的饱蒸气压，单位为帕(Pa)；大气中的空气分压,p=p一p。,单位为帕(Pa)。将测得的、S~、B和。代人式(5),计算出所有人口压力pi下的。排气饱和温度为;
Taα=1T -(R/L)in(p/p)
排气饱和温度，单位为开(K);
泵温，气阀处附近的温度，单位为开（K)：-(6)
KAONiKAca
GB/T33633--2017
一通用气体常数，其值为8.31441J/(mol.K)；水的气化热：
泵温下水的饱和蒸气压，单位为帕(Pa)。将计算所得的一系列 P,下的 ,和测得的泵温 T,,由附录 A 中表 A.1 查得的水的饱和蒸压 P7o 、出附录B中表B.1查得的水的气化热L以及通用气体常数R代人式（6）、计算出所有人口压力P，下的排气饱和温度T2，并在图 3的图表里而出 T2～p1曲线。5.4.3水蒸气容限
将修正后的排气温度～人口压力（T～p，）曲线与排气饱和温度～人口压力（T2,～,）曲线，画在个纵坐标为温度、横坐标(对数坐标)为压力的图表果,如图3所示。T2～力曲线与 T2～P,线交点的坐标就是水蒸气容限。
说朗：
-排气源度～人I压力(T～)线：
—-—修正后的排气温度人【压力.）曲线3
排气饱和度～人口压（T2pi)曲线；排气溢度，单位为K；
人口压，单位为 Pa；
水蒸气容限，单位为 Pa。
图 3 对应于入口压力的排气温度和水蒸气饱和温度5.4.4水蒸气抽除蛋的计算
水蒸气抽除量的计算参见附录C.6
KAONiKAca
10 620
29 840
45 470
附录A
(资料性附录）
水的饱和蒸气压
水的饱和蒸气压
23 910
GB/T 33633—2017
单位为帕
10 090
16 520
26 150
40 190
GB/T33633—2017
43 048
42 612
41 262
42 962
41 630
41 171
附录B
（资料性附录）
水的气化热
40 656
水的气化热
41 991
41 538
41 078
41 492
40 984
41 100
单位为焦每库尔
41 354
水蒸气抽除量的计算公式：
式中：
附录C
(资料性附录)
水蒸气抽除量的计算
Cw——水蒸气抽除量，单位为克每小时（g/h）；S——在入口压力.下,气镇时的体积流率，单位为升每秒(L/s)；p
水蒸气容限，单位为帕（Pa）;
GB/T33633—2017
.......... C.
T —在泵人凹被水蒸气的温度,单位为开(K)。一般情况下设 T=293 K。
小提示：此标准内容仅展示完整标准里的部分截取内容，若需要完整标准请到上方自行免费下载完整标准文档。