GB 50467-2008.Code for construction and acceptance of micro-electromnics manufacturing equipment installation engineering.
1总则
1.0.1 为规范微电子生产设备安装工程施工，确保微电子生产设备安装质量和可靠运行，促进微电子生产没备安装技术的发展,制定本规范。
1.0.2 GB 50467适用于集成电路,半导体分立器件生产设备安装工程的施工及验收。本规范不包括集成电路及半导体分立器件生产设备联动调试及试生产。
1.0.3 微电于生产设备安装工程施工中采用的工程技术文件、承包文件对施工及质量验收的要求不得低于本规范的规定。
1.0.4 微电子生产设备安装就位应按批准的设计图纸施工，修改设计应有原设计单位的变更通知。
1.0.5 用于检测的仪器仪表应经国家法定计量检定机构检定合格,并应在检定有效期内使用。
1.0.6 微电子生产设备安装工程的施工及验收除应执行本规范外,尚应符合国家现行有关标准的规定。
3.1施工条件
3.1.1 设备中转库储存应符合下列要求:
1微电子生产设备中转库应清洁、干燥、通风,有效空间高度、门的高度及宽度应能满足单体设备最大外包装箱搬入的要求,地面应平整且能满足叉车搬运最重设备的荷载要求。
2当微电子生产设备储存有恒温恒湿要求时,中转库除应满足本条第1款的要求外,还应满足特定的温湿度要求。
3设备储存应符合下列要求:
1)设备存放宜按行、列有序排列,严禁倒置,堆叠高度不得超过4.5m,并应留有设备出库时叉车的通道;
2)存放设备数量多时,宜绘制设备放置平面图,在图上应标出设备名称、型号及存放位置编号;
3)小型精密设备应存放在器材架上;
4)严禁存放腐蚀、易燃、易爆物品,严禁火种接近。

中华人民共和国国家标准
微电子生产设备安装工程
施工及验收规范
Code fur construction and acceptance of rnicro-eteetronicsmanulacluring equipmcntinstallation engineeringGB 50467- 2008
主编翻门:中华人民其和国工业和信息化部批淮部门：中华人民共和国住和城乡建设部施行月期:20
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中国计划出版社
2009北
十华人民共和国国家标雅
微电子生产设备安装工程
施工及验收规范
GP 5t:467 208
户华人民共利国工业和信息化部，主端中国计划出版社口版
（地址：：京市西城区木择地北丑巾71令国宏大厦（座4层）（邮政编码：100038电话：6390643333508381)新华书岸北京发行所发行
界妞识印刷广印别
250×1168米1/332.25邱张55下字2009年5月第1版 23G:年月第1次印刷印数1—1G::0期
统—书号：1580177：167
定价：12.CO 元
中华人民共和国住房和城乡建设部公告第202号
关于发布国家标准《微电子生产设备安装工程施工及验收规范》的公告现批准&微出了牛产设备安装工程施工及验收规范为国家标准，薪号为GB50467-2008，自2G09年7月1日起实施，其巾，第3.10.15、3.10.16,3.10.17、3.70.18、3.11.1,3.11:4、3.11.10,5.4.2条为强制性条文，必须严格执行。本规范由我部标准定额研究所组织中国计划出版社出版发行。中华人民共和国住房和城乡建设部二〇0八年十二月十五日
本规范是根据建设部关J印发2005年工程建设标准规范制订修订让划（第一批）的通知”（标函【2005124号）的要求：山中国电子系统工程第二建设有限公司会同有关单位共同编制而成。本规湾在缩制过程中，编制组对我国6英下集成电璐生产线工艺设备、8英寸樂成电路牛产线工艺设备及部分集成电路工艺设备生产厂家所牛产设备，就储存，搬运、安装的要求进行厂调研，根据多年来设使用单位，设备生产单位、设备安装单位对微电了工艺设备安装技术的经验积累，借鉴国外当前符合我国国情的技术，行广泛征求意见的基础上，进行厂友复过论和修改，最后经审查定。本规范共分5章和5个附录：主要内容包括：总则、术语、基本规定、单机调试及试运转和工程验收等本规范中以黑体学标志的条文为强制性系文，必须严格执行。本规范出住房和城乡建设部负贡管理和对独制性条文的解释，中下业和信息化部负资口常管理，由中国电子系统工程第二建设有限公司负责具体技术内容解释。术规范在执行过程中，清各单位注意总结经验，积累资料，如发现需要修政成补充之处，请将意见和建议奇送给中国电子系统工程第.-建设有限公尚（地址：江苏省无锯市钱荣路160号，邮政编码：214151），以供今后修订时参旁。本规范主编单位、参编单位和主要起草人：主编单位：中国电子系统工程第二建设有限公司参编 单 粒：国电子科技集团公司第四十五研究所中国电子科技集团公司第五十八研究所中国电子科技樂团公司第二研究所中国电子工程设计院
信息产业电了第十一设计研究院有限公司北京七星华创！了股份有限公司江南大学
主要起草人；正开源、邓顺志严不蒋迪宝沈贤平毛兴旺
于宗光杨光明
王熠文
掘宇晴
基本规定
施工条件
施1.谁备
定位放线
设置特殊基础
赣极并铜
室外搬运
设备开箱及品装
阜内没运
3.9设各安装就位
，二次配管配线
次配管压力试验
单机调试及试运转
工程验收
交接验收
峻工验收
5.4验收不合确处置
附录A设备安装技术参数
附录B微电子生产设备安装工艺流程附录人员进出洁净区流程
附录D工程质量验收记录用表
(15）
附录E典塑国产集成电路生产设备单机试运转没验收范
本规范用词说期
附·条文说明·
1.0.1为规范微电子生产设备安装工程施工，确保微电子生产设备安装质量利可靠运行，促进微电了生产设备安装技术的发展：制定本规范。
1.0.2本规范适用丁集成电路、半导林分文仆生产设备安装工程的施工及验收。本规范不包括第成电路及半导体分立器件生产设备联动谢试及试生产。
1.03微电子生产设备安装工程施工中采用的工程技术文件，茶包文件对施工及质量验收的要求不得低本规范的规定。1.0.4微电子生产设备安装就位应按批准的设计图纸施T，修改设计应有原设计单位的变更通知。1.0.5用于检测的仪器仪表应经国家法定计量检定机构验定合格，并应在检定有效期内使用。1.0.6微电子生产设备安装1程的施工发验收除应执行本规范外，尚应符合国家现行有关标雅的规定。2本
微电子生产设备iricru-clectruniesmarlufacturingcquip-2.0.1
制造集敲电路、半导体分立器件所需的生产设备及装置。2.0.2二次配管配线hook-uP
洁净厂房·次管线系统牟生产设备接口之间的连接管线，2.0.3大气休lulk as
生产集成电踏使用的氢气、氧气、氮气、氩气、氢气、压缩空气等用量大的气体的统称。
2.0,4技术夹层tecluical meazanine洁净！房中用于安装辅助设备和公用动为设施及管线的空间。以水平构件分隔成的空阿，有上下技术层之分。2.0.5 气捌室air ock
设置在洁净区山入口，阻断室外成邻空污染气流并控剃其压差而设曾的缓冲间，有一定的洁净要求，也称前室。2, 0,6空态 -built
沾净厂广房设施已建城，所有动力源口接通运行，仙厂店内无生产设备、材料和人员。
2.0.7特殊础special foundatio安装在洁净室的高精密设备所需的隔振、减振基础及重大设备所需的独立整猫的统称，
3基本规定
3,1施工条件
3.1.1设备小转库及储存应箱合下列要求：1微电子生产设备中转库应清洁、下燥、通风，有效空间高度、门的商度及宽度应能满足单体设备最大外包装箱搬人的要求，地面应平整且能满足叉车搬运最重设备的荷载要求。2当微电子牛产设备储存有恒温恒湿要求时，中转库除应满足本条第1款的要求外，还应满足特定的温湿度费求。3设备储存应箱合下列要求：
1)设备存放宜按行、列有序排列：严禁倒置，堆叠高度不得超过4.5m，并应留有设备出库时叉车的通道：2)存放设备数量多时，宜绘制设备放置平面图，在图上应标出设备名移、型号及存放位置编号；3)小型帮密设备应存放在器材架上：4)严禁存放腐蚀易燃、易爆物品，严禁火种接近。3.1.2坐产设各安装应具备下列文件：1生产设备平面布置图
2设备消单及设备装箱单。
3没设备搬运路线图。
4建设单位或设备制造商提供的设备安装、运行、维护技术文件及设备安装技术参数。其中，设备安装技术参数内容应符合本规范附录A的要求。
5设备防微振基础、独立基础制作图。6活动地板承载能力参数及设备搬运路径上固定地板承裁能.3·
力参数。
了生产设备二次配管配线图。
8施工组织及施1方案，
3.1.3安装生产设备前活净厂应空态验收合格，空调系统成连续正常运行24h以上，且照明系统做正带工作。3.1.4人员你化空应启用，并应有专人按洁净厂房管理制度进行管班。
3..5施1人员应经净化！房设备安装作业培训，并应最得进人洁挣区的通行证。
3.1.6起重「、焊工，电工等特殊工种应按有关规定持证上岗。
3.2施工准备
3.2.1微电子生产设备安装工艺流程应符合本规范附录B的求。
.2.2施工人员进人清净区应更衣室穿洁净服、清净，应越好内置式安全快、一次性洁净口氧和一次性浩疗于套，经风淋后进入活净区，严禁从物流通道逊人，进出洁净区流程成符合求规范附录℃的要求。
3.2.3临时设备搬人乎台的搭楚成符合下列规定：1设计载荷应按最重设备、晟多作业人数、机其的总载微及作业时产生的振动确定。
2平台边长应大丁最大设备包装箱长边，并应留有适当的燥作场地：
3平台整体上应略向室内倾斜，并应与室内地坪同高，且表而版平。
4乎台上应设置高度为1.2的安全护栏，吊运设备跨越护栏处宜设置橱门。
3.2.4用于浩净室（区)安装设备的材料应符合下列规定：.1.
1应无尘、无锈、无油脂，且在使用过强中不应产坐埃。2设备垫板应按设计戒设备技术文件要求制作，荐无要求时，可用不锈钢板制作：对重量轻、无需调节水平度的非精密设备，也可采用厚度不小于6mm的硬PVC板制作，3不锈钢形胀螺检应有产品合格证书，不锈钢化学锚固螺栓除应有产品个格证外·还应有使用说明书。斗用予制作独立基础和地板加固的碳钢型材应经过热镀锌处理。
5用于嵌缝的弹性密封材料的化学诚分应经理设单位批准：材料应有注阳成分、品种、山厂口期，储存有效期和施工方法的说明书及产品合格证书，不得便用过期产品。心用工管道氩弧焊的保护气体、压力试验的气体以及用于管道吹扫的气体，其纯度不得低于管网本底输送气体的纯度。3.2.5用丁消净区安装的机具应符合下列要求：1洁疗区使用的机具不得在非洁净区使用，非洁净区使用的机具也不得在洁净区使用。
2机具外露部分不应产尘埃，或具有防小尘埃污染环境的措施。
3机其搬入洁净区前应在室外搽洗宁净，然后通过设备搬入口搬入气闸室惑相当的场所进行最后的清洁处理，应达到无尘、无锈、无汕垢的要求，并应在经检查含格后贴上“滤净\或“洁疗区专用”标识搬人
3.2.6用于室外搬运的机具应符合下列要求：1应选用性能良好、安全川靠的机具，机具规格、密数应能满足设备运输负荷及外形尺寸的要求：2用于起吊设备的尽索应有足够的强度和划性，在能够满足负荷要求时，应采用尼龙吊带或锦纶吊带。3当尼龙吊带或锦纶吊带的承载能力不能满足起吊设备荷载要求时，盛采用较柔软的钢丝绳外套尼龙软管的见索.5
：3.3定位放线
33.1设备定检放线应按工握设计图组（生产设备平面布置图）进行，机柜止面与其租对的最近物体外表面或障得物的最小距应大于最深的抽爬或最宽的门的宽度200Tm；带有减振器的设备与其相的墙壁或障得物距离不得小于400mm。33.2设备的年面定位尺宜以设寄配置房间的墙面为基谁放出设备的乎面轮廓线。轮哪绒的标识应使用水性记号笔，并应经复核无误后在轮廖线转负处贴上醒日的单面粘胶带。3.4设置特殊基硼
3.4.1有微振控制要求的设备，在设备就价前应先制作、安装防微振基础；刘于重型设备，当安装场所的活动地板采用·般加固证不能满足彻载要求时，设置独守基础；有悬挑梁的地方应进行荷载计算和确认，需要时应进行加固。3.4.2安装防微振基础筋应复查洁净厂房环境振动测试记录，开应与设备安装募求比对，应符合设备安装要求，3.4.3当要装场所为活动地板时，基础应设置在下技水层地上；当活动地板设置在钢筋混凝土并宁梁上时，基础应设置在钢筋混避土井字梁上。
3.4.4当防微振基础、独立基础为金属框渠结构时，应采用碳钢热镀锌材料或不锈钢材料制作；外恶焊缝成打磨平整，对磁钢镀锌框架的外露焊缝还应逆行防锈处理，腔内填混凝土脑据实外露表函应平整，上平面不平度不应大于2mm，3.4.5独立基础安装水平不应大于2%，最大不应超过3mm。独立基础上平面应与活动地板的地平面齐乎，允诈偏差成为0~3mm，防微振基避安装水平不应大于1.5%3.4.6安装特殊基础前，应拆除基础范围内的活剥地板，并应在支承结构上划出结构切割线，同时应用手电切除基研范围内6
的钢结构：切割时应用中奥真空清扫系统吸除末。对切割后端头悬空的钢结构应事先进行加固，加固后的承载能力不应低于源承载能力。
3.4.7拆除活动地板底不能及时安装基础时，应设置安全护栏及危险警示标识。
34.8特殊基础施工完成启应弥补基础周用的活动地板：基础边沿与征动地板之间的间隙宜小于10mm.并应来用柔性胶杀嵌缝胶条应符合本规范第3.2.1条第5款的规定。3.5壁板开洞
3.5.1设备安装穿越壁板时，应在整板的逻当位置开洞，开洞作业不得划伤或污染需保留的壁板表面。35.2设备穿越壁板安装结束后，应采用铝合金型材和微孔泡沫带密村壁板洞口的链隙，其材质应与该厂房内装所用材质·致，且应满下列要求：
1密封后，设备与密封组件之间应柔性接触。2密封组件与壁板的连接应紧密，牢固。3密封面应平整、美观。
4微孔泡密封带的厚度不应小于mm，且应紧贴设备，不应有缺损和漏风现象：
3.5.3壁板开洞前的准备：应符合下列规定：应测量设备周边尺寸及装修洞口的铝型材断面相关尺寸，并应增加防止铝型材直接接触设备而需改大的量，同时应计算出壁板开润尺寸。
2虚选择合适的铝型材，必要时应作断面组装试验。3应希需开洞的壁板上划切制线，经复核无误后应在紧靠切割绒的外侧粘贴适当宽腹的彩色胶带。3.5.4需切谢的壁板应圾下，并应搬至临时加工场所进行切到，纫制后可使用央真空清扫系统或无宽专用吸尘端吸去切屑，.7:
并应用擦布擦去成尘：对板思易散发尘埃的壁板应先用洁净铝箱单面胶带密封切口，并应在达到清洁要求后搬人洁净案（区），3.5.5设备应按本规范第3.9节的要求安装，并应将划割加工好的壁板组装复位。
3.5.6施工人员应用先选定的密封材料进行密封，固笔，密封作业质量应符合本规范第3.5.2条的要求。3.6室外搬运
3.6.1设备搬运前，建设方、发包力和承包方的责任人员应共应对设备进行检查和确认，对设有监视倾斜装置的箱体还应检查装置是出现异常，检查后成微好设备箱检查记录。3.6.2设备自厂区中转库或临时存放点至设备搬人平台的室外搬运，应符合下列舰定：
1室外搬运逍路应平坦、畅通。
2吊车支脚不得在道路外的虚上，支脚下应无赔沟、理地管线。
3捆绑吊索应按箱体上标示的位景进行。4使用机械从集装箱深处取出较重设备时，官采用低速卷场机将设备拖至箱口，再用义车收出。5用叉车搬运设备时，全过程成平稳，不得产代冲击现象，设备距路面高应确保不触及路面障碍：6用汽车运输时.起步、停车时不得出现冲击现象，不得采用急刹车，车速应均勺，行进应平稳。7用手动液压搬运车搬运设备时，起步、停车应缓慢，行车速度虚均匀，不得产生太大的振动：离侧应有搬运人员全程拢持和监视设备位移。
8超精案设备应采用恒温恒混运输车运输，装卸应迅速，在厂房设备搬入口敢出后应玛遵搬人洁净室（区）：并应符合木规范第3.7和3.8节的有关规定：
逛雨、需及风力五级以天气时不褥进行室外搬运作业，10当搬运设备过程中遇雨、雪时应中止搬运，并放用防雨布保护设备。
11设备搬运除应拟行本规范的舰定外，尚应符合国家现行标准T程建设安装.1.程起重施L规范》HG20201的有关规定。3.？设备开箱及吊装
3.7.1设备开箱应有建设方、设备制造厂家、发包方和承包方的谢任人员共同参如，逊口设备还应有海关商捡代表参。3.7.2设备元箱拆除外包装应在设备撤人平台上逆行，且虚完整探留内包装。
3.7.3设备开箱应使用专用开箱器械按并箱程序进行，不得用人锤敲击箱休，在不了解箱还内部情孔时不得将打等器镀插人箱内，拆下的包装材料应及时收集运离现场。3,7.4拆除设备外包装箱后，应及时检查内包装是否完好，对有蓝视振动装置的精密设备成投时检其景，并成按表101记录。如发现异带情记还应立即进行影像记录。3.7.5起吊有内包装的设备时，应符合下列规定：1用于起吊的带索避根据设备重量按本规池第3.2.6条见定选用。
2吊索捆绑位暨应避开仪表及结构脆弱部位。3设备起吊不宜过高，以能顺利拆除外包装底盘为方4起吊时应防止设备倾斜、跌落，升降速度应均勾，不得产生冲击、碰擅现象。
5液压搬运车运载设备时，放置应平稳不得偷间一侧，6起吊设备涂应执行木规范的规定外，尚应符合国家现行标准《工程建设安装工程起重施工规范》HG20201的有关规定。3.7.6设备内包装宜在气闸室拆除。拆除前应先用中火真空清扫系统或无生室专用吸尘器、洁净布清除内他装表面的坐埃，拆0
除内包装后，应立即出参加并箱的各方代表共同进行设备的检查和清点，并应按表D.0.1记录，经检查无异常的设备应巡速搬入洁净室（区）就。当发现另常时应及时做影像记录并提出处理意见。3.7.7在拆除内包装后的作业过程不得损坏设备的表面及密封面。3.8室内搬运
3.8.1设备从敬人平台经气闸室至消净室（区）安装就位的搬运，应符合下列规链：
1净广房设备搬人口的尺寸虚满足最无件设备搬人要求，人口位置宜靠近最大，最重设备安装处：避用人口数量直少。2裕搬运路线的墙壁、墙角，门框所临时嫩设3mnm厚的硬PVC板保护，当采用5mm厚的胶合板时应采取防止埃产生和扩散的措施。
3在活动地被上用于动液压报运车搬运设备时：宜在搬运路的地板t铺2mm厚的V℃C透明软板；也可先铺塑料薄膜后，卡铺设3mm厚不锈钢板或4~5111厚台金倍板。4当搬运效备量超过活地板的承载能刀时，应根据现场实际情祝制订加固力案，许应经建设单位确认后加固。加固方案应满是下列要求：
1)加固材料应为不产尘材料；
2)严禁破环和改变原钻构；
3）不得在净（区\采取焊接的方式进行加固：4)加固过程中不可避免产正微最尘境时，应在作业前作好围护，在作业时啦用中央真空清打系统或无尘室专用吸尘器清除尘埃；
5)当加固结构妨碟空气垂白层流流型时，应在设备搬运完成后拆除。
5设备搬人期间所有房门应为关闭状态，在设备搬入过程中，需通过某一门时，间开启该门，设备通过后应立即关闭，当无: 10 :
闭门器附，人员出人应随乎关门。6」房设备搬入的门应只在设备进出的短时间内开店，设备通过后应立即关闭。迎风人于3级时应启用防风门，迎风大于 5 级时应中断作业
3.8.2室内搬运较轻或普通设备时宜来用手动液压搬运车，起步停放应缓侵，行车速度应均句，不得产尘冲击，振动现象，不得碰撞壁板、门框及其他设施。宜根据设备的重量和休积采取下列搬运丁具和方法：
1搬运重量小于21时，宜使用31手动液压搬运车。2搬运重量在2~4t时，宜使用3t手动获乐搬运车3搬运亚量在1-8t或重最轻体积火的设备时，可使用两台3t或51手液压搬运车组合共同运载，低两车应固定牢靠。3.8.3搬运重大，精密设备时：宜采用气垫搬运装置，采用气垫搬运装置时应满足下刻要求：
工操作人员应经过培训并取得特殊诈业操作证。2路而版平坦无继。
3在活动地板1.搬运设备，当单个气垫承载荷重大于地板的承载能力时，成对活动地板加固，加固活动地板应按本舰范第3.8.1条第4 款的规定执行：
4在搬运的路线上应按本规范第3.8.1条第3款保护活动地板，并应用粘胶带密封不锈钢板或合金铝板的拼缝。5气禁应放在设各底部的承再横架下。设备底部空间不足时，可用千斤项将设备平稳托起，然后再将气垫改在设备底部的承重横梁下。每台设备配置罩的气垫不得少于1个，严禁使期单个气垫搬运设备：
6气缺充气后距地（板）面宣为2mI，行进中不得大起大落，3.9设备安装就位
3.9.1在良流地面安装设备时，对地面的保护措施成按本规范:il r
第3.8.1条第3款的规定执行，
3.9.2在活动地板上吊装设备成编制吊装技术方案。3.9.3设备在基础或地板上的固定方法应符合设备技术文性的规定，若无明确规定时宜按下列方式实施；1有调整支脚，且不需设置防位移、防倾倒固定装骨的设备，可只在支脚下设性不锈钢垫板。2无调整支脚，且不需设置防位移、防倾倒固定装置的设备，应设置两组以上平挚板。每组宜用1块，最多不得超过3块。每组多块垫板时，厚板应在下面，薄板应在上面，最婆的应在巾间，3有脚轮和川调支承脚的设备，就位后应在支承脚下痛确放暨垫板，并成调整支承脚我平设备。4需设置固定装臂的设备，其设置点和安装方向应符合设备技术文件的规定。当末给固定装置的形式时，宜用2形或L形不锈钢开口压板压住设备支脚。5设有重分散板的设备.就位前应先核对固定设备的孔和管线连接用孔的位置及孔径，并应在荷重分散板上开孔，然后在规定位置安装荷重分散板：设备就位后感及时用螺栓固定。6在独立基础七变自流坪地面上安装需固定的设备时，宜采用膨胀螺栓固定，
7在基础或地板上开孔时，应用中央真空清扫系统或无尘室专用吸尘器吸除所产生的尘埃，并应毁尽孔内的尘埃。名安装作防酸碱基础成防酸碱环氧地而上的设备，成采用不锈钢化学锚固源栓固定，
3.9.4，露吊装就位的设备，宜采用龙门架，手动药芦等起重装置，龙门架支脚应设暨荷重分散板，并应核对活动地板的载能力，活动地板的承载能力不能满足要求时应进行加固，加固应按本规范第3.8.1条第4款的规定执行
3.9.5设备定位的基准面、基谁线或基准点，对安装基准线的平而位置允许偏差应符合下列规：- 12:
1与其他设备无机械联系的设备应为工lrm.2与基他设备有机概联亲的设备应为士1m1m：3成排同型号同规格的设备，其操作面应在间直线七，装偏差不应大于3mm。
3.9.6没备找正调平的测量基准面、基准线或基准点，在设备技术文件无规定时，官在下列部位选择：1设备的坐要作面。
2支承滑动部件的导向流。
精度较高的表面。
4设备水乎或铅垂的主要轮面。
3.9,7设备找正调平的基准面、基推线或湛准点确定后，段备我正、调平应在选定的测量位置进行测量：复查、检验时不得改变原测量的基准位置，bzxz.net
设备找正调平的水平度或铅垂度应符合设备技术文件的3.9.8
要求．
设备安装完成后，应按表D.0.2记录3.10二次配管配线
3.10.1，二次配算配线成包括下刻内容：以各种给水、排水系统的一次管道至设备接口之间的配管。1
以各种火宗气体系统的·次管道至设备接口之间的配管：2
3从种排风，排气系统的一次管道垒设备接口之间的配笛。4从生产动力端配电盘空设备电源接口之间的配管配线，3.10.2二次配管不应包括特种气体系统，化学品供给与回收系统的，次管道至设备接口之间的配管，3.10.3设备二次配管配线作业应在设备找正调平并验收合格后避行。
3.10.4二次配管配线除应执行本规范的规定外，属干乐力管道的施工还应符合现行《特和设备安全监察条例的有关规定.. 13-
3.18，5二次配管的主材应符合设计要求。当设计有规定时应按设计采用垫料、填料等辅材：当设计无规定时应采用符合工艺要求、密封性能好、不产尘的垫料、填料等辅材。3.10.6用于二次配管的管材、臀件、阀门应有产品合格证及材质证明书，自出广至案装地点的储运应深用符合气体纯度要求的双层密封包装。
3.10.7配管预制作业应在专用的洁净小案内进行，加工件成经洁净处理启搬人清净室（区）进行安装。洁净小案的净度等级不随低5级，
3.10.8二次配管配线应按施工图施工，管线排列应整齐，美观；走问应合理，维修应方便，不得在设备操作面布设管线，3.10.9当管线穿越节顶、壁板、地板需升洞时，开洞位置应避开梁，柱、主龙骨、风口。活动地板的管线洞口边线与单块活动地被逆沿的距离应火于40mm，开洞应用孔器，严禁凿或火焰切割。开洞过程中应用中火真空清扫系统或洁净室专用吸尘器不间断地吸除切屑及粉尘。
3.10.10智绒安装光成后，可采用不锈钢，铅，硬PVC或镀锌密封件封鳍洞口空隙，并成用硅胶密时310.11碳钢支架、吊架应采用镀锌材料：切割端面应作防锈处理，安装应牢固可靠，管卡应与管子点径相匹配；不锈钢管与碳钢支架，管卡之间应分别设置網离垫和隔离套管，隔离垫宣用软质案叫氟乙烯板：套管宜用聚艺烯软管。3.10.12以上技来层号下的警线，成赠设在生产设备附近的管道竖为内。无紧井时应增设竖井，并壁宜用C形钢微柜架，框架应外贴装饰不锈钢板，面板上可安装电气插座、开关箱及气体快速接头。
3.10.13输送大宗气休、非腐蚀性溶剂的不锈钢普，当采用煤接连接时，应采用钨极氙弧动焊，钨极氯驱自动焊使用的保护气体纯度成符合本规范第3.2.4条第款的规定。+14
3.1#.14进行二次配管配线时，不得在洁净室（区）内进行锯，锉、钻、凿等产尘作业：
3.10.15生产设备、电气配管、氢气配管、氧气配管的接地必须与专用接地线可靠连接。
3.10.16当微电子生产设备的生产和安装同时进行时，＝次配管配线应符合下列规定：
1施工中进行焊接等产烟明火作业时，必须取得建设单位签发的动火许可证及动用消防设施许可证。2生产区与安装区之间应采取临时隔离措施。垂直作业时，应采取安全隔离措施，并应设置危险潜示标志。3
4洁净度等级高于等于5级的洁净室（区的人员密度不应大于0，1人/m㎡2，洁净度等级低于5级的洁净室（区）的人员密度不度大于0. 25 人/做。
3.10.17管子从在用配管连接到新安装设备时，必须从一次配管上预留阀门后接至设备相应接口，严禁在一次配管上新开三通接管。3.10.18管子从停用配管连接到新安装设备时，应排尽阀后所有管内介质，其中可燃、易爆和助燃介质应排至室外安全场所。3.11三次配管压力试验
3.11.1二次配管工作压力不小于U.1MPa的管道应进行压力试验，其中可燃，易爆和助燃性气体管道应进行气密性试验；气密性试验合格后，再次拆卸过的管道必须再次做气密性试验。3.11.2，压力试验介质应采用气体，不得采用水压试验：并应符合下列规定；
1非可燃气体，无气休管道的试验介质可采用与一饮管网相同的气体或惰性气体，
2可燃、易爆和助燃性气体管道试验介质应采用情性气体：3试验气体纯度不得低于一次管网气体的纯度。3.11.3二次配管气压试验的试验压力应符合下列规定：·15-
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