GB/T 33523.70-2020
基本信息
标准号： GB/T 33523.70-2020
中文名称：产品几何技术规范(GPS) 表面结构区域法 第70部分:实物测量标准
标准类别：国家标准(GB)
标准状态：现行
出版语种：简体中文
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下载大小：10243193
相关标签： 产品 几何 技术规范 表面 结构 区域 实物 测量
标准分类号
关联标准
出版信息
相关单位信息
标准简介
GB/T 33523.70-2020.Geometrical product specification ( GPS) -Surface texture :Areal-Part 70 :Material measures.
1范围
GB/T 33523的本部分规定了用于定期验证和调整区域法表面结构测量仪器的实物测量标准的特性。
GB/T 33523.70适用于基于区域法表面结构标准链,链环G定义的轮廓表面结构和区域表面结构测量仪器的计量特性校准的测量标准。
2规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T 6062产品几何技 术规范(GPS)表面结构 轮廓法接 触(触针)式仪器的标称特性(GB/T 6062-2009 ,ISO 3274:1996,IDT)
GB/T 19022测量管理体系测量过程和测量设备的要求(GB/T 19022-2003,ISO 10012:2003,IDT)
GB/T 27025检测 和校准实验室能力的通用要求(GB/T 27025-2019, ISO/IEC 17025: 2017 ,IDT)
GB/T 33523.2产 品几何技术规范(GPS)表面结构 区域法第2 部分:术语、定义及表面结构参数(GB/T 33523.2- 2017,ISO 25178- 2:2012,IDT)
GB/T 33523.601产 品几何技术规范(GPS)表面结构 区域法第601部分:接触(触针)式仪器的标称特性(GB/T 33523.601-2017,ISO 25178-601 :2010,IDT)
JJF 1001-2011通用计量术语及定义
1范围
GB/T 33523的本部分规定了用于定期验证和调整区域法表面结构测量仪器的实物测量标准的特性。
GB/T 33523.70适用于基于区域法表面结构标准链,链环G定义的轮廓表面结构和区域表面结构测量仪器的计量特性校准的测量标准。
2规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T 6062产品几何技 术规范(GPS)表面结构 轮廓法接 触(触针)式仪器的标称特性(GB/T 6062-2009 ,ISO 3274:1996,IDT)
GB/T 19022测量管理体系测量过程和测量设备的要求(GB/T 19022-2003,ISO 10012:2003,IDT)
GB/T 27025检测 和校准实验室能力的通用要求(GB/T 27025-2019, ISO/IEC 17025: 2017 ,IDT)
GB/T 33523.2产 品几何技术规范(GPS)表面结构 区域法第2 部分:术语、定义及表面结构参数(GB/T 33523.2- 2017,ISO 25178- 2:2012,IDT)
GB/T 33523.601产 品几何技术规范(GPS)表面结构 区域法第601部分:接触(触针)式仪器的标称特性(GB/T 33523.601-2017,ISO 25178-601 :2010,IDT)
JJF 1001-2011通用计量术语及定义
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标准内容
ICS17.040.20
中华人民共和国国家标准
GB/T33523.70—2020
产品几何技术规范（GPS）
表面结构
区域法
第70部分：实物测量标准
Geometrical product specification (GPS)-Surface texture: Areal-Part 70:Material measures
(IS025178-70:2014,M0D)
2020-12-14发布
国家市场监督管理总局
国家标准化管理委员会
2021-07-01实施
GB/T33523.70—2020
规范性引用文件
术语和定义
实物测量标准的要求
实物测量标准的类型
轮廓法实物测量标准
区域法实物测量标准·
9实物计量证书：
附录A（规范性附录）测量要求
附录B（资料性附录）
实物测量标准名称的对照表
附录（（资料性附录）评价区域仪器1的间距测量值附录D（资料性附录）不规则的测量标准附录E（资料性附录）
参考文献…
与GPS矩阵模型的关系
-rrKaeerKa-
GB/T33523.70—2020
GB/T33523《品儿何技术规范（GPS）表面结构区域法》分为如下部分：第1部分：面结构的表示法：
第2部分：术语定义及表面结构参数；一第3部分：规范操作集；
一第6部分：表面结构测量方法的分类：第70部分：实物测量标准：
第71部分：软件测量标准：
第72部分：XML文件格式x3p：
一第73部分：材料测量表而缺陷的术谱和定义：一第600部分：区域形貌测量法的计量特性；第601部分：接触（触针）式仪器的标称特性：第602部分：非接触（共聚焦色差测头）式仪器的标称特性：第603部分：非接触（相移1涉显微镜)式仪器的标称特性；一第604部分：非接触（相十扫描十泌）式仪器的标称特性：第605部分：非接触（点白动对焦测头）式仪器的标称特性；第606部分：非接触式（变焦)仪器的标称特性；第607部分：非接触（共焦显微镜)式仪器的标称特性：一第701部分：接触（触针)式仪器的校准及测量标准：本部分为GB/T33523的第70部分，本部分按照（13/11.1一2009给出的规则起草。本部分使用重新起草法修改采用IS025178-70：2014《产品几何技术规范（GPS）表面结构：区域法第70部分：实物测量标准》。本部分与IS0）2517870:2014相比存在技术性差异，相应技术性差异及其原因如下：关于规范性引用文件.本部分做了具有技术性差异的调整.以适成我国的技术条件.调整的情况集中反映在第2章“规范性引用文件”中，具休调整如下：?用等同采用国际标准的GB/T6062代喜IS03274（见第3章）：，用等同采用国际标准的GB/T19022代IS010012（见第9章）；·用等同采用国际标准的GB/T27025代替ISO/IEC17025（见第9章）；●用等同采用国际标准的（13/T33523.2代替1S0）25178-2（见第3章、第4章）；●用等同采用国际标准的（13/T33523.601代替IS025178-601（见第3章）：·用JJF10012011代替IS0/IECGuide99:2007（见第3章）。本部分还做了下列缩辑性修政：按照GB/T1.1一2009要求，作“范围”一章，增加了“本部分适用丁基丁区域法面结构标雅链，链环G定义的轮廓表而结构和区域表而结构测量仪器的计量特性校准的测量标准。”本部分由全国产品几何技术规范标准化技术委员会（SAC/TC:210)提出并归口。本部分起草单位：清华人学、山东人学、中机生产力促进中心、哈尔滨工业人学、山东道先为智能科技有限公司、华中科技大学、山东省计量科学研究院本部分主要起草人：张震、闫鹏、翠新、郎岩梅、刘辰光、卢文龙、朱悦、丛。-rKaeerkca-
-riKacerKAca-
1范围
产品几何技术规范（GPS）表面结构区域法第70部分：实物测量标准GB/T33523.70—2020
([3/T33523的本部分规定了用于定期验证和调整区域法表面结构测量仪器的实物测量标准的特性。
本部分适用于基于区域法表面结构标准链，链坏G定义的轮廓表面结构和区域表面结构测量仪器的计量特性校准的测量标准。
2规范性引用文件
下列文件对丁本文件的应用是必不可少的，儿是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用丁本文件。凡是不注Ⅱ期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。GB/T6062产品几何技术规范（GPS）表而结构轮廓法接触（触针）式仪器的标称特性(GB/T6062—2009.ISO 3274:1996,IDT)G3/T【9022测量管理体系测量过程和测量设备的要求（G3/T19022—2003，1S0）10012：2003.IDT)
GB/T27025检测和校准实验室能力的通用要求（GB/T270252019，ISO/IEC17025：2017IDT)
GB/T33523.2产品儿何技术规池（GPS）表面结构区域法第2部分：术语、定义及表面结构参数(GB/T 33523.22017.ISO25178-2:2012.1DT)GB/T33523.601产品几何技术规范（GPS）衣而结构区城法第60部分：接触（触针）式仪器的标称特性（GB/T33523.601—2017.ISO25178-601:2010,IDT）JJF10012011通用计量术语及定义3术语和定义
GB/T6062、GB/T33523.2GB/T33523.601和JJF1001界定的以及下列术语和定义适用于本文件。
实物测量标准materialmeasure
具有所赋量值，使用时以固定形态复现或提供具有一个或多个量值的用于表面结构测量的专用测量标准
注1：实物测量标准的示值是所赋的量征注2：实物测量标准可以是测量标准注3：实物测量标准有时称为校准样件，校推样品·校准标准，标准制品.物理测量标推或物理标准。注4：改写F10012611，超义6.5。4总则
实物测量标准一般叫用丁两种不同的自的：1
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仪器计量特性的校准.需要测量不确定度的评定；用户用米调整测量仪器，生成被测量的修正因了。，两种目的效果均取决丁实物测量标准的计量特性（参见GB/T33523.700系列）。本部分中的实物测量标准适用丁这两种目的，但这些实物测量标准用丁仪器系统误差的评定和修正更为适合。通过对修正系数（，（和（，的评定和检验对X、Y和/的率标值进行校准（参见GB/T33523.600系列）
使用这此实物测量标准无法将仪器引人的误差与滤波和计算觉法引起的误差分开。这此计算方法可以用软件测量标准米测试（参见G13/T【9067.2，G3/T33523.71和IS025178-72）。本部分所述的大多数实物测量标准均可用来验证和修正区域法测量仪器的驱动单元X与驱动单元Y之问的垂占度偏差。
测量方法和实物测量标准的特性应由其制造商提供，在GB/工33523.2中，每个术语名称后面是它的参数（缩写）然后是它的符号。虽然缩写术语川以包含多个字母，但符号只包含一个带有下标的单个字母，对丁这些术语，符号用丁本文的等式中：这种区分是为了避免把复合字丹误解为方程中的数字朴乘，参数（缩写)在本文的其他部分，比如产品文档图纸和数据表中使用。
实物测量标准的要求
实物测量标准的设计特性应符合实际应用要求。见附录A。实物测量标准的材料特性不应显著影响对具近行的测量实物测量标准的实际整体表而特征成其有规定的尺度限制.而尺度限定范围之外的特征成不影响测量
特征举例如下：
一实物测量标准的实际整体表而的平而度偏差；—沟槽的形状偏差（即P(R.PGC.PDG，AGP.AG:等）：沟槽底部圆弧半径（即PGC,PCS.PDG.AGP,AGC等）：一角形侧面的形状偏差（即PPT,PCS,PDG,AGP等）；一沟槽之间的平行度误差（即PDG.AGP等）；沟槽之问的垂白度（即AGP等)；征意点的局部斜率（使用光学仪器时）：一沟槽或三角形(线，平而或圆柱)的平分线，名义上成垂直于测量标准的基准平而：一表面反射率（使用光学仪器吋)；材料的硬度(使用触针仪器时)：材料的折射率；
一材料的颜色：
测量标准应该具有唯一标识。被测量的序列号、类型和标称值应刻在测量标准（量具）的本体和/或测量标准的外壳上。
6实物测量标准的类型
表1和表2列出厂（B/T33523的本部分所涵益的不同奖型的实物测量标准，注1：前1用于轮率法实物测量保推类型。注2：尚A用丁区域法实物测量标准类型。2
-rKaeerkca-
GB/T33523.70—2020
本部分与其他标准（例如B/T19057.1和GB/T33523.701)巾定义的实物测量标准的命名对照表参见附录13。
轮廓法实物测量标准类型
周期止弦波形
周期兰角形
周期矩形
周期弧形
矩影沟槽
圆形沟
不规则轮廓
圆形不规则轮廓
近似止弦波形
轮廓标准
双沟檐
区域法实物测量标准类型
亚直沟槽
圆坏沟槽
平面-球
交史柳线
交义正
径间正弦
呆形沟槽
不规则形状
光致变色图案
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7轮廊法实物测量标准
7.1PPS型：周期正弦波形
7.1.1设计特性
这种实物测量标准复现厂个单方向延仲的止弦波形：该止弦波的形状由周期力和幅值确定（如图1所示），
图1正弦波形
注1：根据GB/T1967.1，该实物测量标准根据共周期分为B2型或（1型（参见附录B）注2：PPS型实物测量标准的-个特殊例了，啮嗽信号，其周期会逐渐增大或减小。这种实物测量标准可以用来评价仪器带宽或者横向分解力。
被测量
见表3
表 3PPS型实物测量标准的被测量轮廊法
X轴(Y轴)
注1：RSm等于正弦波形的周期。Ra 或 Rg
区域法
Sai 或 S
平均PSm
注2：在假定Ac和A滤波器的影响忽略不计的情况下,R和Ry可以通过公式(1)和公式(2)计算：Ra-
注3：此实物测量标准的最大斜率出比值些给出。注4；对了丁\平均PSm\的定义.参见附录C。7.2PPT型：周期三角形
7.2.1设计特性
.（2)
该实物测量标准沿一个方向复现一个三角形。三角波形状由周期力和深度d.或名深度d和夹角（如图2所示）确定。
-rrKaeerKa-
三角形
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注：根据（13/T19067.1.图2说明了种实物测量标准，根据其周期可分为132或（2型（参考附录1）被测量
见表4。
表 4PPT型实物测量标准的被测量轮廓法
X轴(Y轴）
注1：RSn等于三角形曲线的周期pRa 或 Ra
注2：假宠ar和As滤波器的影响可忽略，Ra和Rg 可以通过公式(3)和公式(4)计算：Ra=
注3：对」\平均PSm\的定义，参见附录C。7.3PPR型：周期矩形
7.3.1设计特性
区域法
Sa或S
平均PSm
该实物测量标准沿个方向复现个矩形波，矩形波形状由槽宽免·周期力和槽深确定，如图3所示，
图3矩形
7.3.2被测量
见表5，
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GB/T33523.70—2020
表5PPR型实物测量标准的被测量轮廊法
Ra 或Rq
注1：RSm等于矩形波的周期p，
注2：假定Ac和as滤波器的影响可忽略.Ra和RA可以通过公式（)和公式(6)计算：axx
Ra =2×
注3：对于“平周PSm”的完义，参见附录C.7.4PPA型：周期弧形
7.4.1设计特性
区域法
Sa或Sg
平均PSm
.（5)
该实物测量标准沿个方向复现个弧形。孤形由周期力和半径r，或者由周期力和深度d确定（如图4所示），
图4弧形波
注：根据GT3/T19087.1.图4说明厂种实物测量标准，根据其周期可分为B2或C2型（参见附录B)7.4.2
被测量
见表6。
表 6PPA 型实物测量标准的被测量轮法
X轴(Y轴)
注1：R.Sm等于弧形曲线的周期p注2：对于“平均PSm\的义，参考附录。7.5
PGR型：矩形沟槽
7.5.1设计特性
Ra或Ra
区域法
Sa或 S4
平均PS
此实物测量标准具有一个带平担底部的宽沟槽，或者具有多个深度相等或深度逐渐增人的沟槽，并H每个沟槽的宽度都足够人，使其对仪器的横向分辨力不敏感（例如触针针尖）。每个淘槽山其宽度W和深度确定（如图5所示)。6
-rKaeerKa-
图5矩形沟槽形
注：根据标推（B/T190S7.1,图5说明了一种AI型的实物测量标准（参见附录B)。7.5.2被测量
被测量为深度d.可通过公式(7)评定：Z-αX+β+ho
式中：
GB/T33523.70—2020
（7）
其中α3,h均为未知参数，用最小二乘法在长度等于沟槽宽度三倍的轮廓(见图6)上拟合而成变量’在区间A和11取值十1,在区间（「取值一1（见图6）。沟槽深度d是h估计值的两倍。3W
图6PGR型参数评定
为了避免任何圆角的影响，忽咯沟每侧的「下表而沿沟槽宽度的三分之一。沟槽底部的表面仅在其宽度的中心三分之一处进行评定。用于评定的部分是图6中A，13和（所示的部分。7.6PGC型：圆形沟槽
7.6.1设计特性
此实物测量标准类似于PGR类型，不同之处在于沟槽具有半径足够人的圆形底部，使其对仪器的横向分辨力限制不敏感
该实物测量标准由其半径！和深度d确定，见图7图7圆形沟槽形
注：根据GB/T190$7.1，图7说明了一种A2型的实物测量标准。7
KaeerkAca-
GB/T33523.70—2020
7.6.2被测量
用最小二乘直线表示沟槽「表面，以沟槽中心的三分之一宽度的轮廓拟合最小二乘圆。以拟合的占线到拟合圆的最低点的距离评定沟槽的深度（见图8）。3
图8PCGC型参数评定
7.7PRO型.不规则轮廓
7.7.1设计特性
这些实物测量标准在驱动方向上具有不规则的轮（例如通过磨削获得的轮廓)（见图9）对于几称类型的PRO测量标准，在实物测量标准的级纵向上每间隔5重复不规则轮廓，在垂直于实物测量标准的测量方向，轮廓形状是们定的实物测量标准模拟了包含各种波峰间距的工件，们似减少了给出较好平均值所需的测量方向移动次数。为了保证测量结果的准确性，提供了对仪器调整的整体检查。5元2
图9不规则轮廓标准
注：根据GB/T19067.1，图9所示为一种D1型实物测量标准（参见附录B)。7.7.2被测量
被测量为Rα和R。
7.8PCR型：圆形不规则轮廓免费标准bzxz.net
7.8.1设计特性
这些圆形实物测量标准虽然在径向具有不规则的轮廊，但可以方使地在其圆周方向具有近似不变8
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中华人民共和国国家标准
GB/T33523.70—2020
产品几何技术规范（GPS）
表面结构
区域法
第70部分：实物测量标准
Geometrical product specification (GPS)-Surface texture: Areal-Part 70:Material measures
(IS025178-70:2014,M0D)
2020-12-14发布
国家市场监督管理总局
国家标准化管理委员会
2021-07-01实施
GB/T33523.70—2020
规范性引用文件
术语和定义
实物测量标准的要求
实物测量标准的类型
轮廓法实物测量标准
区域法实物测量标准·
9实物计量证书：
附录A（规范性附录）测量要求
附录B（资料性附录）
实物测量标准名称的对照表
附录（（资料性附录）评价区域仪器1的间距测量值附录D（资料性附录）不规则的测量标准附录E（资料性附录）
参考文献…
与GPS矩阵模型的关系
-rrKaeerKa-
GB/T33523.70—2020
GB/T33523《品儿何技术规范（GPS）表面结构区域法》分为如下部分：第1部分：面结构的表示法：
第2部分：术语定义及表面结构参数；一第3部分：规范操作集；
一第6部分：表面结构测量方法的分类：第70部分：实物测量标准：
第71部分：软件测量标准：
第72部分：XML文件格式x3p：
一第73部分：材料测量表而缺陷的术谱和定义：一第600部分：区域形貌测量法的计量特性；第601部分：接触（触针）式仪器的标称特性：第602部分：非接触（共聚焦色差测头）式仪器的标称特性：第603部分：非接触（相移1涉显微镜)式仪器的标称特性；一第604部分：非接触（相十扫描十泌）式仪器的标称特性：第605部分：非接触（点白动对焦测头）式仪器的标称特性；第606部分：非接触式（变焦)仪器的标称特性；第607部分：非接触（共焦显微镜)式仪器的标称特性：一第701部分：接触（触针)式仪器的校准及测量标准：本部分为GB/T33523的第70部分，本部分按照（13/11.1一2009给出的规则起草。本部分使用重新起草法修改采用IS025178-70：2014《产品几何技术规范（GPS）表面结构：区域法第70部分：实物测量标准》。本部分与IS0）2517870:2014相比存在技术性差异，相应技术性差异及其原因如下：关于规范性引用文件.本部分做了具有技术性差异的调整.以适成我国的技术条件.调整的情况集中反映在第2章“规范性引用文件”中，具休调整如下：?用等同采用国际标准的GB/T6062代喜IS03274（见第3章）：，用等同采用国际标准的GB/T19022代IS010012（见第9章）；·用等同采用国际标准的GB/T27025代替ISO/IEC17025（见第9章）；●用等同采用国际标准的（13/T33523.2代替1S0）25178-2（见第3章、第4章）；●用等同采用国际标准的（13/T33523.601代替IS025178-601（见第3章）：·用JJF10012011代替IS0/IECGuide99:2007（见第3章）。本部分还做了下列缩辑性修政：按照GB/T1.1一2009要求，作“范围”一章，增加了“本部分适用丁基丁区域法面结构标雅链，链环G定义的轮廓表而结构和区域表而结构测量仪器的计量特性校准的测量标准。”本部分由全国产品几何技术规范标准化技术委员会（SAC/TC:210)提出并归口。本部分起草单位：清华人学、山东人学、中机生产力促进中心、哈尔滨工业人学、山东道先为智能科技有限公司、华中科技大学、山东省计量科学研究院本部分主要起草人：张震、闫鹏、翠新、郎岩梅、刘辰光、卢文龙、朱悦、丛。-rKaeerkca-
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1范围
产品几何技术规范（GPS）表面结构区域法第70部分：实物测量标准GB/T33523.70—2020
([3/T33523的本部分规定了用于定期验证和调整区域法表面结构测量仪器的实物测量标准的特性。
本部分适用于基于区域法表面结构标准链，链坏G定义的轮廓表面结构和区域表面结构测量仪器的计量特性校准的测量标准。
2规范性引用文件
下列文件对丁本文件的应用是必不可少的，儿是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用丁本文件。凡是不注Ⅱ期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。GB/T6062产品几何技术规范（GPS）表而结构轮廓法接触（触针）式仪器的标称特性(GB/T6062—2009.ISO 3274:1996,IDT)G3/T【9022测量管理体系测量过程和测量设备的要求（G3/T19022—2003，1S0）10012：2003.IDT)
GB/T27025检测和校准实验室能力的通用要求（GB/T270252019，ISO/IEC17025：2017IDT)
GB/T33523.2产品儿何技术规池（GPS）表面结构区域法第2部分：术语、定义及表面结构参数(GB/T 33523.22017.ISO25178-2:2012.1DT)GB/T33523.601产品几何技术规范（GPS）衣而结构区城法第60部分：接触（触针）式仪器的标称特性（GB/T33523.601—2017.ISO25178-601:2010,IDT）JJF10012011通用计量术语及定义3术语和定义
GB/T6062、GB/T33523.2GB/T33523.601和JJF1001界定的以及下列术语和定义适用于本文件。
实物测量标准materialmeasure
具有所赋量值，使用时以固定形态复现或提供具有一个或多个量值的用于表面结构测量的专用测量标准
注1：实物测量标准的示值是所赋的量征注2：实物测量标准可以是测量标准注3：实物测量标准有时称为校准样件，校推样品·校准标准，标准制品.物理测量标推或物理标准。注4：改写F10012611，超义6.5。4总则
实物测量标准一般叫用丁两种不同的自的：1
rKaeerkAca-
GB/T33523.70—2020
仪器计量特性的校准.需要测量不确定度的评定；用户用米调整测量仪器，生成被测量的修正因了。，两种目的效果均取决丁实物测量标准的计量特性（参见GB/T33523.700系列）。本部分中的实物测量标准适用丁这两种目的，但这些实物测量标准用丁仪器系统误差的评定和修正更为适合。通过对修正系数（，（和（，的评定和检验对X、Y和/的率标值进行校准（参见GB/T33523.600系列）
使用这此实物测量标准无法将仪器引人的误差与滤波和计算觉法引起的误差分开。这此计算方法可以用软件测量标准米测试（参见G13/T【9067.2，G3/T33523.71和IS025178-72）。本部分所述的大多数实物测量标准均可用来验证和修正区域法测量仪器的驱动单元X与驱动单元Y之问的垂占度偏差。
测量方法和实物测量标准的特性应由其制造商提供，在GB/工33523.2中，每个术语名称后面是它的参数（缩写）然后是它的符号。虽然缩写术语川以包含多个字母，但符号只包含一个带有下标的单个字母，对丁这些术语，符号用丁本文的等式中：这种区分是为了避免把复合字丹误解为方程中的数字朴乘，参数（缩写)在本文的其他部分，比如产品文档图纸和数据表中使用。
实物测量标准的要求
实物测量标准的设计特性应符合实际应用要求。见附录A。实物测量标准的材料特性不应显著影响对具近行的测量实物测量标准的实际整体表而特征成其有规定的尺度限制.而尺度限定范围之外的特征成不影响测量
特征举例如下：
一实物测量标准的实际整体表而的平而度偏差；—沟槽的形状偏差（即P(R.PGC.PDG，AGP.AG:等）：沟槽底部圆弧半径（即PGC,PCS.PDG.AGP,AGC等）：一角形侧面的形状偏差（即PPT,PCS,PDG,AGP等）；一沟槽之间的平行度误差（即PDG.AGP等）；沟槽之问的垂白度（即AGP等)；征意点的局部斜率（使用光学仪器时）：一沟槽或三角形(线，平而或圆柱)的平分线，名义上成垂直于测量标准的基准平而：一表面反射率（使用光学仪器吋)；材料的硬度(使用触针仪器时)：材料的折射率；
一材料的颜色：
测量标准应该具有唯一标识。被测量的序列号、类型和标称值应刻在测量标准（量具）的本体和/或测量标准的外壳上。
6实物测量标准的类型
表1和表2列出厂（B/T33523的本部分所涵益的不同奖型的实物测量标准，注1：前1用于轮率法实物测量保推类型。注2：尚A用丁区域法实物测量标准类型。2
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本部分与其他标准（例如B/T19057.1和GB/T33523.701)巾定义的实物测量标准的命名对照表参见附录13。
轮廓法实物测量标准类型
周期止弦波形
周期兰角形
周期矩形
周期弧形
矩影沟槽
圆形沟
不规则轮廓
圆形不规则轮廓
近似止弦波形
轮廓标准
双沟檐
区域法实物测量标准类型
亚直沟槽
圆坏沟槽
平面-球
交史柳线
交义正
径间正弦
呆形沟槽
不规则形状
光致变色图案
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7轮廊法实物测量标准
7.1PPS型：周期正弦波形
7.1.1设计特性
这种实物测量标准复现厂个单方向延仲的止弦波形：该止弦波的形状由周期力和幅值确定（如图1所示），
图1正弦波形
注1：根据GB/T1967.1，该实物测量标准根据共周期分为B2型或（1型（参见附录B）注2：PPS型实物测量标准的-个特殊例了，啮嗽信号，其周期会逐渐增大或减小。这种实物测量标准可以用来评价仪器带宽或者横向分解力。
被测量
见表3
表 3PPS型实物测量标准的被测量轮廊法
X轴(Y轴)
注1：RSm等于正弦波形的周期。Ra 或 Rg
区域法
Sai 或 S
平均PSm
注2：在假定Ac和A滤波器的影响忽略不计的情况下,R和Ry可以通过公式(1)和公式(2)计算：Ra-
注3：此实物测量标准的最大斜率出比值些给出。注4；对了丁\平均PSm\的定义.参见附录C。7.2PPT型：周期三角形
7.2.1设计特性
.（2)
该实物测量标准沿一个方向复现一个三角形。三角波形状由周期力和深度d.或名深度d和夹角（如图2所示）确定。
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三角形
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注：根据（13/T19067.1.图2说明了种实物测量标准，根据其周期可分为132或（2型（参考附录1）被测量
见表4。
表 4PPT型实物测量标准的被测量轮廓法
X轴(Y轴）
注1：RSn等于三角形曲线的周期pRa 或 Ra
注2：假宠ar和As滤波器的影响可忽略，Ra和Rg 可以通过公式(3)和公式(4)计算：Ra=
注3：对」\平均PSm\的定义，参见附录C。7.3PPR型：周期矩形
7.3.1设计特性
区域法
Sa或S
平均PSm
该实物测量标准沿个方向复现个矩形波，矩形波形状由槽宽免·周期力和槽深确定，如图3所示，
图3矩形
7.3.2被测量
见表5，
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表5PPR型实物测量标准的被测量轮廊法
Ra 或Rq
注1：RSm等于矩形波的周期p，
注2：假定Ac和as滤波器的影响可忽略.Ra和RA可以通过公式（)和公式(6)计算：axx
Ra =2×
注3：对于“平周PSm”的完义，参见附录C.7.4PPA型：周期弧形
7.4.1设计特性
区域法
Sa或Sg
平均PSm
.（5)
该实物测量标准沿个方向复现个弧形。孤形由周期力和半径r，或者由周期力和深度d确定（如图4所示），
图4弧形波
注：根据GT3/T19087.1.图4说明厂种实物测量标准，根据其周期可分为B2或C2型（参见附录B)7.4.2
被测量
见表6。
表 6PPA 型实物测量标准的被测量轮法
X轴(Y轴)
注1：R.Sm等于弧形曲线的周期p注2：对于“平均PSm\的义，参考附录。7.5
PGR型：矩形沟槽
7.5.1设计特性
Ra或Ra
区域法
Sa或 S4
平均PS
此实物测量标准具有一个带平担底部的宽沟槽，或者具有多个深度相等或深度逐渐增人的沟槽，并H每个沟槽的宽度都足够人，使其对仪器的横向分辨力不敏感（例如触针针尖）。每个淘槽山其宽度W和深度确定（如图5所示)。6
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图5矩形沟槽形
注：根据标推（B/T190S7.1,图5说明了一种AI型的实物测量标准（参见附录B)。7.5.2被测量
被测量为深度d.可通过公式(7)评定：Z-αX+β+ho
式中：
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（7）
其中α3,h均为未知参数，用最小二乘法在长度等于沟槽宽度三倍的轮廓(见图6)上拟合而成变量’在区间A和11取值十1,在区间（「取值一1（见图6）。沟槽深度d是h估计值的两倍。3W
图6PGR型参数评定
为了避免任何圆角的影响，忽咯沟每侧的「下表而沿沟槽宽度的三分之一。沟槽底部的表面仅在其宽度的中心三分之一处进行评定。用于评定的部分是图6中A，13和（所示的部分。7.6PGC型：圆形沟槽
7.6.1设计特性
此实物测量标准类似于PGR类型，不同之处在于沟槽具有半径足够人的圆形底部，使其对仪器的横向分辨力限制不敏感
该实物测量标准由其半径！和深度d确定，见图7图7圆形沟槽形
注：根据GB/T190$7.1，图7说明了一种A2型的实物测量标准。7
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7.6.2被测量
用最小二乘直线表示沟槽「表面，以沟槽中心的三分之一宽度的轮廓拟合最小二乘圆。以拟合的占线到拟合圆的最低点的距离评定沟槽的深度（见图8）。3
图8PCGC型参数评定
7.7PRO型.不规则轮廓
7.7.1设计特性
这些实物测量标准在驱动方向上具有不规则的轮（例如通过磨削获得的轮廓)（见图9）对于几称类型的PRO测量标准，在实物测量标准的级纵向上每间隔5重复不规则轮廓，在垂直于实物测量标准的测量方向，轮廓形状是们定的实物测量标准模拟了包含各种波峰间距的工件，们似减少了给出较好平均值所需的测量方向移动次数。为了保证测量结果的准确性，提供了对仪器调整的整体检查。5元2
图9不规则轮廓标准
注：根据GB/T19067.1，图9所示为一种D1型实物测量标准（参见附录B)。7.7.2被测量
被测量为Rα和R。
7.8PCR型：圆形不规则轮廓免费标准bzxz.net
7.8.1设计特性
这些圆形实物测量标准虽然在径向具有不规则的轮廊，但可以方使地在其圆周方向具有近似不变8
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