GB/T 39158-2020
基本信息
标准号： GB/T 39158-2020
中文名称：平面显示用高纯铜旋转管靶
标准类别：国家标准(GB)
标准状态：现行
出版语种：简体中文
下载格式：.zip .pdf
下载大小：475346
标准分类号
关联标准
出版信息
相关单位信息
标准简介
GB/T 39158-2020.High purity copper rotatable tube target for flat panel display.
1范围
GB/T 39158规定了平面显示用高纯铜旋转管靶的术语和定义、分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、质量证明书及订货单(或合同)内容。
GB/T 39158适用于平面显示用各种规格的4N、4N5、5N高纯铜旋转管靶产品。
2规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T 1804-2000一般公差未注公 差的线性和角度尺寸的公差
GB T 5121.27 铜及铜合金化学分析方法 第27部分:电感耦合等离子体原子发射光谱法
GB/T 8170数值修约规则与极限数值的表示和判定
GB/T 14265金属材料中氢、氧、氮、碳和硫分析方法通则
YS/T 347铜及铜合 金平均晶粒度测定方法
YS/T 922高纯铜化学分析方法 痕量杂质元素 含量的测定辉光 放电质谱法
YS/T 1000-2014铜及铜合金管材超声波纵波探伤方法
3术语和定义
下列术语和定义适用于本文件。
3.1
旋转管靶 rotatable tube target
一种平板显示领域用的管状靶材。
注:主要用于电子薄膜沉积。
3.2
表面粗糙度 surface roughness
加工表面具有的较小间距和微小峰谷的不平度。轮廓的平均算术偏差值Ra,即在一定测量长度l范围内,轮廓上各点至中线距离y绝对值的平均算术偏差。
4分类
产品的牌号按纯度分RCu-4N、RCu-4N5、RCu-5N三个牌号。产品的规格可分为φ155X 438、φ155X888、φ155X1 091、φ155X888、φ167X2 490。 不同牌号对应的规格见表1。
示例:铜含量为99.995%的旋转铜靶,表示为RCu-4N5。
1范围
GB/T 39158规定了平面显示用高纯铜旋转管靶的术语和定义、分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、质量证明书及订货单(或合同)内容。
GB/T 39158适用于平面显示用各种规格的4N、4N5、5N高纯铜旋转管靶产品。
2规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T 1804-2000一般公差未注公 差的线性和角度尺寸的公差
GB T 5121.27 铜及铜合金化学分析方法 第27部分:电感耦合等离子体原子发射光谱法
GB/T 8170数值修约规则与极限数值的表示和判定
GB/T 14265金属材料中氢、氧、氮、碳和硫分析方法通则
YS/T 347铜及铜合 金平均晶粒度测定方法
YS/T 922高纯铜化学分析方法 痕量杂质元素 含量的测定辉光 放电质谱法
YS/T 1000-2014铜及铜合金管材超声波纵波探伤方法
3术语和定义
下列术语和定义适用于本文件。
3.1
旋转管靶 rotatable tube target
一种平板显示领域用的管状靶材。
注:主要用于电子薄膜沉积。
3.2
表面粗糙度 surface roughness
加工表面具有的较小间距和微小峰谷的不平度。轮廓的平均算术偏差值Ra,即在一定测量长度l范围内,轮廓上各点至中线距离y绝对值的平均算术偏差。
4分类
产品的牌号按纯度分RCu-4N、RCu-4N5、RCu-5N三个牌号。产品的规格可分为φ155X 438、φ155X888、φ155X1 091、φ155X888、φ167X2 490。 不同牌号对应的规格见表1。
示例:铜含量为99.995%的旋转铜靶,表示为RCu-4N5。
标准图片预览
标准内容
ICS77.150.30
中华人民共和国国家标准
GB/T39158—2020
平面显示用高纯铜旋转管靶
High purity copper rotatable tube target for flat panel display2020-11-19发布
国家市场监督管理总局
国家标准化管理委员会
2021-10-01实施
本标准按照GB/T1.1-2009给出的规则起草本标准由中国有色金属工业协会提出。本标准由全国有色金属标准化技术委员会（SAC/TC243)归口。GB/T39158—2020
本标准起草单位：有研亿金新材料有限公司、有色金属技术经济研究院、宁波江丰电子材料股份有限公司、沈阳有色金属加工有限公司。本标准主要起草人：曾浩、罗俊锋、韩知为、贺昕、董艳霞、陈明、熊晓东、曹欢欢、万小勇、林若虚、袁海军、刘晓、张健、郭姗娜。1
rrKaerkAca-
1范围
平面显示用高纯铜旋转管靶
GB/T39158—2020
本标准规定了平面显示用高纯铜旋转管靶的术语和定义、分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、质量证明书及订货单（或合同)内容本标准适用于平面显示用各种规格的4N、4N5、5N高纯铜旋转管靶产品规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。GB/T1804一2000一般公差未注公差的线性和角度尺寸的公差GBT5121.27铜及铜合金化学分析方法第27部分：电感耦合等离子体原子发射光谱法GB/T8170数值修约规则与极限数值的表示和判定GB/T14265金属材料中氢、氧、氮、碳和硫分析方法通则铜及铜合金平均晶粒度测定方法YS/T3474
2高纯铜化学分析方法痕量杂质元素含量的测定辉光放电质谱法
YS/T922
YS/T1000—2014：铜及铜合金管材超声波纵波探伤方法术语和定义
下列术语和定义适用于本文件。3.1
rotatabletubetarget
旋转管靶
一种平板显示领域用的管状靶材。注：主要用于电子薄膜沉积。
表面粗糙度
surfaceroughness
加工表面具有的较小间距和微小峰谷的不平度。轮廓的平均算术偏差值Ra，即在一定测量长度1范围内，轮廓上各点至中线距离y绝对值的平均算术偏差。用下式表示：Ra=
4分类
产品的牌号按纯度分RCu-4N、RCu-4N5、RCu-5N三个牌号。产品的规格可分为Φ155X438、Φ155×888、$155×1091、$155×888、167×2490。不同牌号对应的规格见表1。示例：铜含量为99.995%的旋转铜靶，表示为RCu-4N51
rKaeerKAca-
GB/T39158—2020
5技术要求
化学成分
RCu-4N
RCu-4N5
RCu-5N
牌号与规格
平面显示用高纯铜旋转管靶的化学成分要求应符合表2规定表2化学成分
铜含量\（质量分数)/%，不小于Ag
杂质元素含量
（质量分数）/10-4%，
不大于
RCu-4N
KaeeiKca
$155X438.p155X888
$155×1091.q155×888
$167X2490
RCu-4N5
RCu-5N
气体杂质元素含量
（质量分数）/10-1%，
不大于
杂质总含量（质量分数）/10-4%，不大于（不包括C、NS.O)
表2（续）
RCu-4N
RCu-4N5
注：需方对某种特定杂质元素含量有特殊要求时，由供需双方协商确认铜含量为100%减去表中所列杂质实测总和的余量（不含C.O.N,S)。晶粒度
GB/T39158—2020
RCu-5N
产品的晶粒度应符合表3的规定，并且晶粒大小分布均匀。需方如有特殊要求时，由供需双方商定，并在订货单（或合同)中注明。表3
RCu-4N
RCu-4N5
RCu-5N
内部质量
平均晶粒度及允许偏差bZxz.net
平均晶粒度及允许偏差
产品内部不应有分层、疏松、夹杂和气孔等缺陷。单个不连续缺陷大小应不大于0.8mm；25mm以内多个不连续缺陷大小应不大于0.4mm；长条形不连续缺陷宽度应不大于0.4mm长度不大于3mm。5.4
外形尺寸及允许偏差
产品应按照供需双方签订的技术图样进行加工，长度和直径允许偏差应符合表4的规定，其他尺寸和允许偏差应符合技术图样要求。未注公差产品应符合GB/T1804一2000中等级m的要求。外形尺寸及允许偏差
外形尺寸
rKaeerKAca-
允许偏差
单位为毫米
GB/T39158—2020
表面粗糙度
产品表面粗糙度应符合技术图样要求，技术图样无要求时Ra值应不大于0.8um。6外观质量
产品表面应清洁光滑，无指痕、油污、锈蚀、伸润滑痕迹、颗粒附加物和其他沾污，并无凹坑、划伤、裂纹、凸起等缺陷。
6试验方法
6.1化学成分
产品中气体杂质元素C、N、O的分析方法按照GB/T14265的规定执行。RCu-4N、RCu-4N5牌号的其他杂质元素按照GB/T5121.27的规定进行。RCu-5N牌号的其他杂质元素按照YS/T922规定进行，或由供需双方协商确定。2晶粒度
产品的晶粒度检验按照YS/T347的规定进行。6.3内部质量
产品的内部质量检验按YS/T1000一2014的规定进行，超声检验质量验收等级需为AAA级6.4
外形尺寸
外形尺寸和允许偏差应用相应测量精度的量具进行检测。未注公差按照GB/T1804一2000中等级m的规定进行检验。6.5表面粗糙度
产品的表面粗糙度通过粗糙度测量仪，按照加工技术图样标识尺寸进行测量，或按照供需双方约定的方法测定。
外观质量
产品的外观质量用目视检查，如发现异常现象，用放大镜或数码显微镜进行鉴别。7检验规则
7.1检查和验收
7.1.1产品由供方检验部门进行检验，保证产品质量符合本标准和订货单（或合同)的规定，并填写质量证明书。
7.1.2需方应对收到的产品按本标准的规定进行复验。如复验结果与本标准及订货单（或合同）的规定不符时，应在收到产品之日起三个月内向供方提出，由供需双方协商解决。如需仲裁，仲裁取样应由供需双方在需方共同进行。
7.2组批
产品应成批提交验收。每批应由同一牌号和规格的产品组成4
nKaeerKAca-
7.3检验项目及取样规定
7.3.1产品检验项目、取样位置及数量应符合表5的规定。表5检验项目及取样规定
检验项目
化学成分
晶粒度
内部质量
外形尺寸
表面粗糙度
外观质量
取样位置
铸锭缩孔下
靶坏边料（见7.3.2）
成品前
取样数量
每批取1件
每批取1件，每件取2个点
要求的章条号
GB/T39158—2020
检验的章条号
7.3.2在生产过程中，为了不破坏靶材的整体性，晶粒度的检测在高纯铜靶成品加工前进行。取样示意图如图1所示。
样品2
晶粒度检验的取样示意图
7.4检验结果的判定
7.4.1检验结果的数值修约和判定按GB/T8170的规定进行。7.4.2化学成分不合格时，判该批靶材不合格。7.4.3晶粒度抽检合格，则该批产品全部合格；抽检不合格时，判该件不合格；再从该批产品中加倍抽样进行复检，若复检全部合格，判定该批其余产品合格：若复检仍有不合格，则判整批产品不合格7.4.4内部质量、外形尺寸、表面粗糙度、外观质量检验任一项不合格时，判该件产品不合格。标志、包装、运输、贮存和质量证明书8
8.1标志
在检验合格的靶材上，将生产厂标志、成分及生产批号刻在产品指定位置、8.1.1
在每个外包装上贴纸质标贴，内容包括：8.1.2
制造厂名称与地址；
公司标志；
产品名称；
牌号及纯度；
客户名称；
订单编号：
物料编号：
KaeerKAca-
GB/T39158—2020
生产批号：
出厂日期；
j）其他。
2包装
8.2.1产品的清洗、干燥、包装应在洁净环境下进行，管靶应经过全面清洗，真空干燥后每块单独真空包装。真空袋封口要平整无贯通，无真空泄露。8.2.2外包装采用木箱包装。包装箱内应有防碰撞措施。将质量证明书用塑封袋装好后粘贴于包装箱上。
运输和贮存
运输和贮运过程中，应注意防震、防潮、防压、防止二次污染。质量证明书
每批产品应附有质量证明书，注明：a)
供方名称、地址、电话、传真；产品名称；
牌号及纯度；
需方名称；
订单编号；
需方编号；
生产批号：
分析检测结果和质量监督部门印记；生产日期；
其他。
9订货单（或合同)内容
订购本标准所列产品的订货单（或合同)内应包括下列内容：a)
产品名称；
靶材纯度；
化学成分、物理性能、表面质量等特殊要求；规格；
数量；
本标准编号；
其他。
-KaeerKAca-
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中华人民共和国国家标准
GB/T39158—2020
平面显示用高纯铜旋转管靶
High purity copper rotatable tube target for flat panel display2020-11-19发布
国家市场监督管理总局
国家标准化管理委员会
2021-10-01实施
本标准按照GB/T1.1-2009给出的规则起草本标准由中国有色金属工业协会提出。本标准由全国有色金属标准化技术委员会（SAC/TC243)归口。GB/T39158—2020
本标准起草单位：有研亿金新材料有限公司、有色金属技术经济研究院、宁波江丰电子材料股份有限公司、沈阳有色金属加工有限公司。本标准主要起草人：曾浩、罗俊锋、韩知为、贺昕、董艳霞、陈明、熊晓东、曹欢欢、万小勇、林若虚、袁海军、刘晓、张健、郭姗娜。1
rrKaerkAca-
1范围
平面显示用高纯铜旋转管靶
GB/T39158—2020
本标准规定了平面显示用高纯铜旋转管靶的术语和定义、分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、质量证明书及订货单（或合同)内容本标准适用于平面显示用各种规格的4N、4N5、5N高纯铜旋转管靶产品规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。GB/T1804一2000一般公差未注公差的线性和角度尺寸的公差GBT5121.27铜及铜合金化学分析方法第27部分：电感耦合等离子体原子发射光谱法GB/T8170数值修约规则与极限数值的表示和判定GB/T14265金属材料中氢、氧、氮、碳和硫分析方法通则铜及铜合金平均晶粒度测定方法YS/T3474
2高纯铜化学分析方法痕量杂质元素含量的测定辉光放电质谱法
YS/T922
YS/T1000—2014：铜及铜合金管材超声波纵波探伤方法术语和定义
下列术语和定义适用于本文件。3.1
rotatabletubetarget
旋转管靶
一种平板显示领域用的管状靶材。注：主要用于电子薄膜沉积。
表面粗糙度
surfaceroughness
加工表面具有的较小间距和微小峰谷的不平度。轮廓的平均算术偏差值Ra，即在一定测量长度1范围内，轮廓上各点至中线距离y绝对值的平均算术偏差。用下式表示：Ra=
4分类
产品的牌号按纯度分RCu-4N、RCu-4N5、RCu-5N三个牌号。产品的规格可分为Φ155X438、Φ155×888、$155×1091、$155×888、167×2490。不同牌号对应的规格见表1。示例：铜含量为99.995%的旋转铜靶，表示为RCu-4N51
rKaeerKAca-
GB/T39158—2020
5技术要求
化学成分
RCu-4N
RCu-4N5
RCu-5N
牌号与规格
平面显示用高纯铜旋转管靶的化学成分要求应符合表2规定表2化学成分
铜含量\（质量分数)/%，不小于Ag
杂质元素含量
（质量分数）/10-4%，
不大于
RCu-4N
KaeeiKca
$155X438.p155X888
$155×1091.q155×888
$167X2490
RCu-4N5
RCu-5N
气体杂质元素含量
（质量分数）/10-1%，
不大于
杂质总含量（质量分数）/10-4%，不大于（不包括C、NS.O)
表2（续）
RCu-4N
RCu-4N5
注：需方对某种特定杂质元素含量有特殊要求时，由供需双方协商确认铜含量为100%减去表中所列杂质实测总和的余量（不含C.O.N,S)。晶粒度
GB/T39158—2020
RCu-5N
产品的晶粒度应符合表3的规定，并且晶粒大小分布均匀。需方如有特殊要求时，由供需双方商定，并在订货单（或合同)中注明。表3
RCu-4N
RCu-4N5
RCu-5N
内部质量
平均晶粒度及允许偏差bZxz.net
平均晶粒度及允许偏差
产品内部不应有分层、疏松、夹杂和气孔等缺陷。单个不连续缺陷大小应不大于0.8mm；25mm以内多个不连续缺陷大小应不大于0.4mm；长条形不连续缺陷宽度应不大于0.4mm长度不大于3mm。5.4
外形尺寸及允许偏差
产品应按照供需双方签订的技术图样进行加工，长度和直径允许偏差应符合表4的规定，其他尺寸和允许偏差应符合技术图样要求。未注公差产品应符合GB/T1804一2000中等级m的要求。外形尺寸及允许偏差
外形尺寸
rKaeerKAca-
允许偏差
单位为毫米
GB/T39158—2020
表面粗糙度
产品表面粗糙度应符合技术图样要求，技术图样无要求时Ra值应不大于0.8um。6外观质量
产品表面应清洁光滑，无指痕、油污、锈蚀、伸润滑痕迹、颗粒附加物和其他沾污，并无凹坑、划伤、裂纹、凸起等缺陷。
6试验方法
6.1化学成分
产品中气体杂质元素C、N、O的分析方法按照GB/T14265的规定执行。RCu-4N、RCu-4N5牌号的其他杂质元素按照GB/T5121.27的规定进行。RCu-5N牌号的其他杂质元素按照YS/T922规定进行，或由供需双方协商确定。2晶粒度
产品的晶粒度检验按照YS/T347的规定进行。6.3内部质量
产品的内部质量检验按YS/T1000一2014的规定进行，超声检验质量验收等级需为AAA级6.4
外形尺寸
外形尺寸和允许偏差应用相应测量精度的量具进行检测。未注公差按照GB/T1804一2000中等级m的规定进行检验。6.5表面粗糙度
产品的表面粗糙度通过粗糙度测量仪，按照加工技术图样标识尺寸进行测量，或按照供需双方约定的方法测定。
外观质量
产品的外观质量用目视检查，如发现异常现象，用放大镜或数码显微镜进行鉴别。7检验规则
7.1检查和验收
7.1.1产品由供方检验部门进行检验，保证产品质量符合本标准和订货单（或合同)的规定，并填写质量证明书。
7.1.2需方应对收到的产品按本标准的规定进行复验。如复验结果与本标准及订货单（或合同）的规定不符时，应在收到产品之日起三个月内向供方提出，由供需双方协商解决。如需仲裁，仲裁取样应由供需双方在需方共同进行。
7.2组批
产品应成批提交验收。每批应由同一牌号和规格的产品组成4
nKaeerKAca-
7.3检验项目及取样规定
7.3.1产品检验项目、取样位置及数量应符合表5的规定。表5检验项目及取样规定
检验项目
化学成分
晶粒度
内部质量
外形尺寸
表面粗糙度
外观质量
取样位置
铸锭缩孔下
靶坏边料（见7.3.2）
成品前
取样数量
每批取1件
每批取1件，每件取2个点
要求的章条号
GB/T39158—2020
检验的章条号
7.3.2在生产过程中，为了不破坏靶材的整体性，晶粒度的检测在高纯铜靶成品加工前进行。取样示意图如图1所示。
样品2
晶粒度检验的取样示意图
7.4检验结果的判定
7.4.1检验结果的数值修约和判定按GB/T8170的规定进行。7.4.2化学成分不合格时，判该批靶材不合格。7.4.3晶粒度抽检合格，则该批产品全部合格；抽检不合格时，判该件不合格；再从该批产品中加倍抽样进行复检，若复检全部合格，判定该批其余产品合格：若复检仍有不合格，则判整批产品不合格7.4.4内部质量、外形尺寸、表面粗糙度、外观质量检验任一项不合格时，判该件产品不合格。标志、包装、运输、贮存和质量证明书8
8.1标志
在检验合格的靶材上，将生产厂标志、成分及生产批号刻在产品指定位置、8.1.1
在每个外包装上贴纸质标贴，内容包括：8.1.2
制造厂名称与地址；
公司标志；
产品名称；
牌号及纯度；
客户名称；
订单编号：
物料编号：
KaeerKAca-
GB/T39158—2020
生产批号：
出厂日期；
j）其他。
2包装
8.2.1产品的清洗、干燥、包装应在洁净环境下进行，管靶应经过全面清洗，真空干燥后每块单独真空包装。真空袋封口要平整无贯通，无真空泄露。8.2.2外包装采用木箱包装。包装箱内应有防碰撞措施。将质量证明书用塑封袋装好后粘贴于包装箱上。
运输和贮存
运输和贮运过程中，应注意防震、防潮、防压、防止二次污染。质量证明书
每批产品应附有质量证明书，注明：a)
供方名称、地址、电话、传真；产品名称；
牌号及纯度；
需方名称；
订单编号；
需方编号；
生产批号：
分析检测结果和质量监督部门印记；生产日期；
其他。
9订货单（或合同)内容
订购本标准所列产品的订货单（或合同)内应包括下列内容：a)
产品名称；
靶材纯度；
化学成分、物理性能、表面质量等特殊要求；规格；
数量；
本标准编号；
其他。
-KaeerKAca-
小提示：此标准内容仅展示完整标准里的部分截取内容，若需要完整标准请到上方自行免费下载完整标准文档。