GB/T 39163—2020 靶材与背板结合强度测试方法 Test methods of the bonding strength for target-backing plate assemblies 2020-11-19 发布 2021-10-01 实施 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 前言 本标准按照 GB/T 1.1-2009 给出的规则起草。本标准由中国有色金属工业协会提出。本标准由全国有色金属标准化技术委员会 (SAC/TC243) 归口。 本标准起草单位：有研亿金新材料有限公司、有色金属技术经济研究院、宁波江丰电子材料股份有限公司、山东淄博汉能薄膜太阳能有限公司、贵研铂业股份有限公司。 本标准主要起草人：丁照崇、陈明、赵永善、熊晓东、贺昕、林若虚、李勇军、张晓娜、曹欢欢、王云能、袁海军、李利利、曹晓萌、张静、王传军。 1 范围 本标准规定了靶材与背板结合强度测试方法。本标准适用于微电子领域镀膜用靶材与背板结合强度测试方法。 注：靶材与背板结合方式包括钎焊（传统焊料、导电银胶、纳米箱焊接等）、扩散焊、电子束或激光焊、爆炸焊、摩接焊、机械复合、冷喷涂、热喷涂等。 2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB/T 228.1—2010 金属材料拉伸试验 第1部分：室温试验方法 GB/T 228.2 金属材料拉伸试验 第2部分：高温试验方法 GB/T 8170 数值修约规则与极限数值的表示和判定 GB/T 10623 术语和定义 GB/T 16825.1 静力单轴试验机的检验 第1部分：拉力和（或）压力试验机测力系统的检验与校准 3 术语和定义 GB/T 228.1—2010 界定的以及下列术语和定义适用于本文件。为了便于使用，以下重复列出了 GB/T 228.1—2010 中的某些术语和定义。 3.1 靶材 target 在溅射沉积技术中的阴极部分。该阴极材料在带正电荷的阳离子撞击下以分子、原子或离子的形式脱离阴极而在阳极表面沉积。由靶材和背板组成。 3.2 靶材 blank 阴极上用作溅射材料的部分。 3.3 背板 backing plate 用来支撑或固定靶材的部分。 3.4 最大力 maximum force F 试样在屈服阶段之后所能抵抗的最大力。对于无明显屈服（连续屈服）的材料，为试验期间最大的力。 注：改写 GB/T 228.1—2010，定义 3.9.1 和 3.9.21。 3.5 应力 stress 试验期间任一时刻的力除以试样原始横截面积 (S₀) 之商 [GB/T 228.1—2010, 定义 3.10]。 3.6 抗拉强度 tensile strength Rm 相应最大力 (Fₘ) 对应的应力 [GB/T 228.1—2010, 定义 3.10.1]。 3.7 抗剪强度 shear strength τₘ 试样在剪切断裂前所能承受的最大切应力 [GB/T 11363—2008, 定义 4.4]。 3.8 室温 room temperature 温度为 10℃～35℃的条件。对温度要求严格的试验，试验温度应为 23℃ ± 5℃。 3.9 高温 high temperature 温度高于 35℃的条件。 4 符号和说明 表 1 列出的符号适用于本文件。 表 1 符号和说明 符号 | 单位 | 说明 F | N | 最大力 S | mm² | 结合面积 Rm | N/mm² | 抗拉强度 τm | N/mm² | 抗剪强度 db | mm | 拉伸试样-背板外径 dt | mm | 拉伸试样-靶材外径 dbi | mm | 拉伸试样-背板内径 hb | mm | 拉伸试样-背板厚度 ht | mm | 拉伸试样-靶材厚度 ab | mm | 拉伸试样-背板过结合界面余量 at | mm | 拉伸试样-靶材过结合界面余量 Ds | mm | 拉伸试验装置-垫座外径 Dsi | mm | 拉伸试验装置-垫座内径 注：1 N/mm² = 1 MPa。 5 试样 5.1 试样的种类 按试验的种类和试样的形状分类，见表...