GB/T 38866—2020 电子工业用二氯硅烷 Dichlorosilane for electronic industry 发布日期：2020-07-21 实施日期：2021-02-01 前言 本标准按照GB/T 1.1—2009给出的规则起草。 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（SAC/TC 203）提出并归口。 本标准起草单位：湖北晶星科技股份有限公司、湖北省标准化与质量研究院、洛阳中硅高科技有限公司、唐山三孚电子材料有限公司、湖北光谷标准创新科技有限公司、广东华特气体股份有限公司、浙江西亚特电子材料有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、大连大特气体有限公司、上海市计量测试技术研究院、联雄投资（上海）有限公司、随州市信息与标准化所、达州市质量技术监督检验测试中心、西南化工研究设计院有限公司。 本标准主要起草人：丰雷、叶家爱、龚瑞、杨剑、刘畅、万烨、张园园、王春英、戴帅、谢秋琪、袁乐、博铸红、禹金龙、杨利、于青玉、方华、曹作斌、曲庆、陈鹰、李春华、黄辉、谭鹏程、邓远方、周鹏云、李威、方艾黎、谭依玲。 1 范围 本标准规定了电子工业用二氯硅烷的技术要求、检验规则、试验方法、标志、包装、运输、储存及安全的要求。 本标准适用于歧化法制备的二氯硅烷。 2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 - GB 190 危险货物包装标志 - GB/T 602 化学试剂杂质测定用标准溶液的制备 - GB/T 3723 工业用化学产品采样安全通则 - GB/T 7144 氩 - GB/T 8984 钢质无缝气瓶 - GB/T 5099 气瓶颜色标志 - GB/T 11446.1—2013 气体中一氧化碳、二氧化碳和碳氢化合物的测定气相色谱法 - GB/T 14193 液化气体气瓶充装规定 - GB 15258 化学品安全标签编写规定 - GB/T 16804 气瓶警示标签 - GB/T 28726 气体分析氨离子化气相色谱法 - GB/T 32566 不锈钢焊接气瓶 - GB/T 34972 电感耦合等离子体质谱法 - TSGR0006 电子工业用气体中金属含量的测定 - 危险化学品安全管理条例 - 特种设备安全监察条例 3 技术要求 二氯硅烷的技术要求应符合表1的规定。 表1 技术要求 项目名称 | 指标 - | - 纯度 (SiH₂Cl₂) (体积分数/10⁻²) | ≥99.99 四氯化硅 (SiCl₄) 含量 (体积分数/10⁻⁶) | ≤25 三氯氢硅 (SiHCl₃) 含量 (体积分数/10⁻⁶) | ≤1 (二氯硅烷 + 氯化氢) 含量 (SiH₂Cl₂ + HCl), 以氯化氢计 (体积分数/10⁻⁶) | ≤10 氮 (N₂) 含量 (体积分数/10⁻⁶) | ≤50 (氧 + 氩) (O₂ + Ar) 含量 (体积分数/10⁻⁶) | ≤10 一氧化碳 (CO) 含量 (体积分数/10⁻⁶) | ≤0.10 氢 (H₂) 含量 (体积分数/10⁻⁶) | ≤0.30 二氧化碳 (CO₂) 含量 (体积分数/10⁻⁶) | ≤0.10 总烃 (THC) 含量, 以甲烷 (CH₄) 计 (体积分数/10⁻⁶) | ≤0.10 (硼 + 铝) (B + Al) 含量 (μg/kg) | ≤1.00 (磷 + 砷) (P + As) 含量 (μg/kg) | ≤1.00 镓 (Ga) 含量 (μg/kg) | ≤5.00 锑 (Sb) 含量 (μg/kg) | ≤1.00 铟 (In) 含量 (μg/kg) | ≤0.20 钙 (Ca) 含量 (μg/kg) | ≤1.00 铬 (Cr) 含量 (μg/kg) | ≤0.10 铁 (Fe) 含量 (μg/kg) | ≤0.20 钾 (K) 含量 (μg/kg) | ≤0.50 钠 (Na) 含量 (μg/kg) | ≤0.50 镍 (Ni) 含量 (μg/kg) | ≤0.10 4 检验规则 4.1 抽样和判定 二氯硅烷产品应逐一检验并验收。当检验结果有任何一项指标不符合