GB/T 38940-2020.Precision expansion alloys for sealing to silicon and silicon components.
1范围
GB/T 38940规定了硅组件用精密封接合金的订货内容、分类和代号、尺寸、外形、重量、技术要求、试验方法、检验规则、包装、标志和质量证明书。
GB/T 38940适用于电真空、半导体工业及其他应用环境中,与硅组件等进行键合、匹配封接的铁镍基、铁镍钴基定膨胀封接合金棒材、扁材、箔材、带材、丝材、管材(以下简称合金材)。
2规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T 222-2006钢的 成品化学成分允许偏差
GB/T 223.5钢铁酸溶硅和全硅含量的测定还原型硅钼酸盐分光光度法.
GB/T 223.19钢铁及合金化学分析方法新亚铜灵-三氯甲烷萃取光度法测定铜量
GB/T 223.20钢铁及合 金化学分析方法电 位滴定法测定钴量
GB/T 223.25钢铁及合 金化学分析方法丁 二酮肟重量法测定镍量
GB/T 223.40钢铁及合金铌含量的测定 氯磺酚 S分光光度法
GB/T 223.60钢铁及合金化学分析方法 高 氯酸脱水重量法测定硅含量
GB/T 223.62钢铁及合金化学分析方法乙酸J酯萃取光度法测定磷量
GB/T 223.64钢铁及合金锰含量的测定火焰原子吸收光谱法
GB/T 223.79钢铁多元素 含量的测定X-射线 荧光光谱法(常规法)
GB/T 223.85钢铁及合金硫含量的测定感应炉燃烧后红外吸收法
GB/T 223.86钢铁及合金 总碳含量的测定 感应炉 燃烧后红外吸收法

ICS77.140.99
中华人民共和国国家标准
GB/T38940—2020
硅组件用精密封接合金
Precision expansion alloys for sealing to silicon and silicon components2020-06-02发布
国家市场监督管理总局
国家标准化管理委员会
2020-12-01实施
本标准按照GB/T1.1-2009给出的规则起草本标准由中国钢铁工业协会提出。本标准由全国钢标准化技术委员会（SAC/TC183)归口。GB/T38940—2020
本标准起草单位：钢铁研究总院、北京空间机电研究所、中国航空工业集团公司西安飞行自动控制研究所、冶金工业信息标准研究院本标准主要起草人：张敬霖、于一鹏、马逵、梁璞、戴强、张建福、张习文、颜丞铭、霍登平、SA
1范围
硅组件用精密封接合金
GB/T38940—2020
本标准规定了硅组件用精密封接合金的订货内容、分类和代号、尺寸、外形、重量、技术要求、试验方法、检验规则、包装、标志和质量证明书。本标准适用于电真空、半导体工业及其他应用环境中，与硅组件等进行键合、匹配封接的铁镍基、铁镍钻基定膨胀封接合金棒材、扁材、箔材、带材、丝材、管材（以下简称合金材)。规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注目期的引用文件，仅注目期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单)适用于本文件GB/T222一2006钢的成品化学成分允许偏差GB/T223.5钢铁酸溶硅和全硅含量的测定还原型硅钼酸盐分光光度法GB/T223.19
钢铁及合金化学分析方法新亚铜灵-三氯甲烷萃取光度法测定铜量GB/T223.20
钢铁及合金化学分析方法电位滴定法测定钻量GB/T223.25
钢铁及合金化学分析方法丁二酮重量法测定镍量GB/T223.40
GB/T223.60www.bzxz.net
钢铁及合金锯含量的测定氯磺酚S分光光度法钢铁及合金化学分析方法高氯酸脱水重量法测定硅含量GB/T223.62
钢铁及合金化学分析方法乙酸丁酯萃取光度法测定磷量GB/T223.64
GB/T223.79
GB/T223.85
GB/T223.86
GB/T2970
钢铁及合金钰含量的测定
火焰原子吸收光谱法
钢铁多元素含量的测定X-射线荧光光谱法（常规法）钢铁及合金硫含量的测定感应炉燃烧后红外吸收法钢铁及合金总碳含量的测定感应炉燃烧后红外吸收法厚钢板超声检测方法
GB/T4162—2008
锻轧钢棒超声检测方法
GB/T4339
GB/T5777
GB/T6394
金属材料热膨胀特征参数的测定无缝和焊接（埋孤焊除外）钢管纵向和/或横向缺欠的全圆周自动超声检测金属平均晶粒度测定方法
GB/T 11170
不锈钢多元素含量的测定火花放电原子发射光谱法（常规法）GB/T14985一2007膨胀合金尺寸、外形、表面质量、试验方法和检验规则的一般规定GB/T20066
钢和铁化学成分测定用试样的取样和制样方法GB/T20123
总碳硫含量的测定高频感应炉燃烧后红外吸收法（常规方法）钢铁
低合金钢多元素的测定电感耦合等离子体发射光谱法GB/T20125
低合金钢多元素含量的测定辉光放电原子发射光谱法（常规法）GB/T22368
高强度低膨胀合金
GB/T38938—2020
镍基合金多元素含量的测定火花放电原子发射光谱分析法（常规法）GB/T38939
YB/T5242
精密合金包装、标志和质量证明书的一般规定YB/T5321—2006膨胀合金气密性试验方法1
GB/T38940—2020
3订货内容
按本标准订购的合同或订单至少应包括下列内容：a)
本标准编号；
产品名称；
牌号；
交货状态；
尺寸及允许偏差；
重量或数量；
其他特殊要求。
分类和代号
1合金材按软硬程度可分为：
软态(S)；
b）硬态(H)。
2合金材按加工方法可分为：
a）冷拉（WCD)；
b）冷拉磨光（WCDG)；
热轧（锻）态（WH）。
5尺寸、外形和重量
合金材的尺寸、外形、重量及允许偏差应符合GB/T14985一2007的有关规定6技术要求
牌号和化学成分
合金的牌号和化学成分（熔炼分析和成品分析）应符合表1的规定。在满足本标准规定的情况下，允许镍、钴、、铜的化学成分偏离表1规定，但应满足GB/T222一2006中表3的规定表1
牌号和化学成分
化学成分（质量分数)/%
为改善合金性能，允许加人适量Ce、La元素2
6.2冶炼方法
GB/T38940—2020
除非合同中另有规定，合金应采用真空感应炉、真空感应十电渣重熔的方式冶炼。6.3交货状态
6.3.1棒材以冷拉、冷拉磨光或热轧（锻）状态交货。对热轧（锻）材表面状态有要求的，应在合同中注明。
扁材以热轧（锻)状态交货。
丝材、带材、箔材和管材的交货状态应符合表2的规定表2丝材、带材、箔材和管材的交货状态交货状态及符号
软态(S)
硬态(H)
深冲态（DQ）
6.3.4经供需双方协商，可供其他交货状态的合金材，6.4平均线膨胀系数
试样按表3推荐的热处理制度处理后，合金材的平均线膨胀系数应符合表3的规定。合金材的典型性能参见附录A。
合金牌号
3平均线膨胀系数
平均线膨胀系数≤/（10-6/℃）试样推荐热处理制度
在真空或落点低于一40℃保护气氛中加热至850℃~900℃，保温
15min，以不大于5℃/min的速度冷至200℃以下出炉
金相组织
6.5.1相变
20℃~
-60℃
20℃~
100℃
20℃~
200℃
20℃~
300℃
20℃~
400℃
4J330合金材按表3规定的热处理制度处理后，→α的相变温度应在一60℃以下。对于直径、边长或厚度大于25mm的棒材，允许局部有相变存在，但相变比例不应超过检验截面的5%。6.5.2晶粒度
6.5.2.1深冲带材的平均晶粒度应为7级或更细，允许粗于7级的晶粒存在，但不应超过总面积的10%。
交货状态合金棒材、扁材的平均晶粒度应为3级或更细，相变检验合格时可不进行此项检验6.5.2.2
GB/T38940—2020
气密性
根据需方要求，直径或边长不小于15mm的棒材可进行气密性检验，应无漏气现象6.7
表面质量
合金材的表面质量应符合GB/T14985—2007的有关规定6.8超声检测
6.8.1直径、边长不小于12mm的棒材应进行超声检测，合格级别应符合GB/T4162一2008的A级要求。
6.8.2扁材、板材可采用GB/T2970进行超声检测，合格级别由供需双方协商，并在合同中注明6.8.3管材可采用GB/T5777进行超声检测，也可采用其他通用无损检验方法检测。合格级别由供需双方协商，并在合同中注明。如果出现采用不同方法引起的争议，以GB/T5777作为仲裁依据6.9
特殊要求
经供需双方协商，并在合同中注明，可供应满足其他特殊要求的合金材。7试验方法
合金材的检验项目和试验方法应符合表4的规定表4检验项目表
检验项目
化学成分
平均线膨胀系数
晶粒度
气密性
超声检测
表面质量
取样数量
1个/炉
1个/炉
1个/炉
1个/批
1个/批
取样部位
GB/T20066
半成品或成品
GB/T38938—2020中附录B
成品任意部位
成品棒材
成品或坏
试验方法
GB/T4339
GB/T38938—2020中附录B
GB/T6394
YB/T5321—2006
GB/T4162—2008、GB/T5777、
GB/T2970或其他通用无损检验方法通用量具
目视。有异议时允许用不大于5倍放大镜检查
气密性检验由需方进行，被检试样的厚度应在合同中注明，否则按YB/T5321一2006规定的试样A进行检验。2合金的化学成分分析按GB/T223.79、GB/T11170、GB/T20123、GB/T20125、GB/T22368、7.2
GB/T38939或通用的试验方法进行分析，但仲裁时应按GB/T223.5、GB/T223.19、GB/T223.20、GB/T223.25、GB/T223.40、GB/T223.60、GB/T223.62、GB/T223.64、GB/T223.85、GB/T223.86的有关规定进行。
检验规则
检查与验收
GB/T38940—2020
合金材的检查和验收由供方技术质量监督部门进行。需方有权按标准规定进行检查和验收。气密性的检验由需方进行。
组批规则
合金材应按批提交检查和验收。每批应由同一合金牌号、同一炉号、同一加工方法、同一尺寸、同一交货状态、同一热处理制度的合金材组成3取样数量和取样部位
合金材的取样数量和样部位应符合表4的规定8.4
复验和判定规则
合金材的复验与判定规则应符合GB/T14985一2007的有关规定。包装、标志和质量证明书
合金材的包装、标志和质量证明书应符合YB/T5242的有关规定。5
GB/T38940—2020
附录A
（资料性附录）
4J339和4J330合金的典型性能
合金材经表3推荐热处理制度处理后的典型平均线膨胀系数参见表A.1。表A.1合金的典型平均线膨胀系数平均线膨胀系数α
60℃～
20℃~
100℃
20℃~
200℃
10-6/℃
20℃~
250℃
20℃~
300℃
20℃~
350℃
合金材经表3推荐热处理制度处理后的典型物理性能参见表A.2。表A.2
密度d
合金的典型物理性能
热导率入
w/(m.℃)
电阻率p
1μn·m
20℃~
400℃
居里温度T。
合金材经表3推荐热处理制度处理后的典型力学性能参见表A.3。A.3
抗拉强度R.
合金的典型力学性能
规定塑性延伸强度Rpo.2
断后伸长率A
断面收缩率Z
4J339合金材经表3推荐热处理制度处理后的典型磁性能参见表A.4。A.4
测量磁场H
4J339合金的典型磁性能
初始磁导率0.4
最大磁导率μm
饱和磁感应强度B
20℃~
450℃
比热容c
J/(kg·℃)
弹性模量E
矫顽力H。
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