GB/T 27788-2020
基本信息
标准号： GB/T 27788-2020
中文名称：微束分析 扫描电镜图像放大倍率校准导则
标准类别：国家标准(GB)
标准状态：现行
出版语种：简体中文
下载格式：.zip .pdf
下载大小：6922780
标准分类号
关联标准
出版信息
相关单位信息
标准简介
GB/T 27788-2020.Microbeam analysis-Scanning electron microscopy-Guidelines for calibrating image magnification.
1范围
GB/T 27788规定了使用适当的参考物质对扫描电镜(SEM)图像的放大倍率进行校准的方法。
GB/T 27788适用于对由校准参考物质上间距大小的可用范围决定的放大倍率进行校准。
GB/T 27788不适用于专用测长型扫描电镜。
2规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T 27025-2008检测和校准实验室能力的通用要求(ISO/IEC17025:2005,IDT)
ISO导则30标准样品常 用术语和定义( Reference materials- Selected terms and definitions)
ISO导则34标准样 品生产者能力的通用要求(General requirements for the competence of reference material producers)
ISO导则35标准样品定值的一般原则和统计方法( Reference materials-General and statistical principles for certification)
3术语和定义
下列术语和定义适用于本文件。
3.1
扫描电镜 scanning electron microscope
SEM
通过电子束扫描试样表面产生放大图像的一种仪器。
3.2
图像 image
由扫描电镜(3.1)产生的试样表面的二维表征。
注:用扫描电镜拍摄的试样照片就是图像的一种。
3.3
图像放大倍率 image magnification
图像显示的线性尺度与试样.上被扫描区域的相应线性尺度之比。
3.4
标尺 scale marker
图像(3.2)上表示试样.上特定实际长度的线段或间隔。
3.5
参考物质 reference material
RM
一种或多种特性足够均匀和稳定的物质,已被确认适合于在测量过程中使用。
1范围
GB/T 27788规定了使用适当的参考物质对扫描电镜(SEM)图像的放大倍率进行校准的方法。
GB/T 27788适用于对由校准参考物质上间距大小的可用范围决定的放大倍率进行校准。
GB/T 27788不适用于专用测长型扫描电镜。
2规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T 27025-2008检测和校准实验室能力的通用要求(ISO/IEC17025:2005,IDT)
ISO导则30标准样品常 用术语和定义( Reference materials- Selected terms and definitions)
ISO导则34标准样 品生产者能力的通用要求(General requirements for the competence of reference material producers)
ISO导则35标准样品定值的一般原则和统计方法( Reference materials-General and statistical principles for certification)
3术语和定义
下列术语和定义适用于本文件。
3.1
扫描电镜 scanning electron microscope
SEM
通过电子束扫描试样表面产生放大图像的一种仪器。
3.2
图像 image
由扫描电镜(3.1)产生的试样表面的二维表征。
注:用扫描电镜拍摄的试样照片就是图像的一种。
3.3
图像放大倍率 image magnification
图像显示的线性尺度与试样.上被扫描区域的相应线性尺度之比。
3.4
标尺 scale marker
图像(3.2)上表示试样.上特定实际长度的线段或间隔。
3.5
参考物质 reference material
RM
一种或多种特性足够均匀和稳定的物质,已被确认适合于在测量过程中使用。
标准图片预览
标准内容
ICS37.020
中华人民共和国国家标准
GB/T27788—2020/IS016700:2016代替GB/T27788—2011
微束分析
扫描电镜
图像放大倍率校准导则
Microbeam analysis—Scanning electron microscopy-Guidelines for calibrating image magnification(ISO16700:2016,IDT)
2020-06-02发布
国家市场监督管理总局
国家标准化管理委员会
2021-04-01实施
规范性引用文件
术语和定义
图像放大倍率
参考物质
校准过程
图像放大倍率和标尺的准确度bzxZ.net
8校准报告
附录A（资料性附录）
附录B（资料性附录）
附录C（资料性附录）
附录D（资料性附录）
参考文献
放大倍率参考物质
影响扫描电镜实际放大倍率的参数放大倍率测量的不确定度
检测报告示例
GB/T27788—2020/ISO16700:201612
本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。本标准代替GB/T27788一2011《微束分析扫描电镜
GB/T27788一2011相比，除编辑性修改外主要技术变化如下：删除了ISO5725-1；
术语“Pitch”的翻译由“线距”改为“间距”。GB/T27788—2020/ISO16700:2016图像放大倍率校准导则》。与
本标准使用翻译法等同采用ISO16700：2016《微束分析扫描电镜竞图像放大倍率校准导则》。
与本标准中规范性引用的国际文件有一致性对应关系的我国文件如下：GB/T15000.3—2008标准样品工作导则（3）标准样品定值的一般原则和统计方法（ISOGuide35:2006,IDT)
GB/T15000.7—2012
2标准样品工作导则（7）
）标准样品生产者能力的通用要求（ISOGuide34：2009.IDT）
本标准做了下列编辑性修改：
在资料性附录A中增加了一条“A.2.5中国国中国计量科学研究院（NIMC)”，以使本标准更具有可操作性。
本标准由全国微束分析标准化技术委员会（SAC/TC38)提出并归口。本标准起草单位：中国地质科学院矿产资源研究所、中国科学院上海硅酸盐研究所、中国人民解放军海军军医大学。
本标准主要起草人：陈振宇、周剑雄、李香庭、杨勇骥。本标准所代替标准的历次版本发布情况为：GB/T27788—2011。
GB/T27788—2020/IS016700:2016引言
扫描电镜广泛用于对许多重要材料如半导体、金属、聚合物、玻璃、食品及生物材料等的表面结构的观察研究。本标准应用于扫描电镜图像放大倍率的校准，描述了在扫描电镜中使用有证参考物质或参考物质进行图像放大倍率校准的要求。N
1范围
GB/T27788—2020/ISO16700:2016微束分析扫描电镜
图像放大倍率校准导则
本标准规定了使用适当的参考物质对扫描电镜（SEM)图像的放大倍率进行校准的方法。本标准适用于对由校准参考物质上间距大小的可用范围决定的放大倍率进行校准。本标准不适用于专用测长型扫描电镜。规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单)适用于本文件。GB/T27025一2008检测和校准实验室能力的通用要求（ISO/IEC17025：2005，IDT）ISO导则3o标准样品常用术语和定义（Referencematerials一Selectedtermsanddefinitions）ISO导则34标准样品生产者能力的通用要求（Generalrequirementsforthecompetenceofref-erencematerialproducers)
品定值的一般原则和统计方法（Referencematerials一GeneralandISO导则35标准样品
statisticalprinciplesforcertification）术语和定义
下列术语和定义适用于本文件。3.1
scanningelectronmicroscope
扫描电镜
通过电子束扫描试样表面产生放大图像的一种仪器。3.2
由扫描电镜(3.1)产生的试样表面的二维表征。注：用扫描电镜拍摄的试样照片就是图像的一种。3.3
图像放大倍率
imagemagnification
图像显示的线性尺度与试样上被扫描区域的相应线性尺度之比，3.4
scalemarker
图像（3.2)上表示试样上特定实际长度的线段或间隔。3.5
referencematerial
参考物质
一种或多种特性足够均匀和稳定的物质，已被确认适合于在测量过程中使用。1
GB/T27788—2020/ISO16700:20163.6
certifiedreferencematerial
有证参考物质
-种或多种特性已通过有效的计量学认证且附有证书的参考物质（3.5)，证书中提供了具有相关不确定度和计量学可溯源的特性值。注：在本标准中，参考物质/有证参考物质应具有可用于图像放大倍率（3.3)校准的间距样式，该间距样式具有适需的间距尺度和准确度。
calibration
在特定条件下执行的操作规程，使得扫描电镜（3.1)显示的放大倍率和通过检验参考物质（3.5)或有证参考物质（3.6)而确定的相应的放大倍率之间建立起关系。3.8
倾转角
tiltangle
倾转的试样表面与垂直于电子束轴的平面之间的夹角。注：见图1。
说明：
倾转的试样；
电子束；
试样；
倾转角。
图1倾转角
显示器
display
用于呈现图像（3.2)的模拟或数字设备注：显示器可以是阴极射线管、等离子显示板、液晶显示屏等。3.10
工作距离
workingdistance
试样表面和扫描电镜（3.1)物镜极靴下表面之间的距离，2
GB/T27788—2020/ISO16700:2016试样上最靠近的两个相似特征之间的最小间隔，这种间隔在重复的样式上是相等的。准确度
accuracy
测试结果和公认的参考值之间的接近程度。注1：“测试结果”是指按本标准中规定的程序所获得的有证参考物质（3.6)的间距（3.11)观测值注2：术语“公认的参考值”是指经由国家或国际校准实验室认证的数值，与此数值相关的不确定度也宜出现在证书上。
注3：准确度和精密度不同。精密度的定义是在规定条件下测得的若干独立测试结果之间的一致程度（见ISO5725-1)。
4图像放大倍率
4.1标尺
为表示放大倍率，在图像上附加一个标尺和以国际单位制表示的相应长度。它表示试样上的实际长度。如图2所示。
注：箭头表示的长度对应于校准后的500nm。标尺及其长度
2放大倍率的表示
图像的放大倍率以代表物体放大倍数的数字加上符号“×”表示（如100×，10000×，10k×或X100，×10000，×10k，其中100、10000和10k是放大倍数）。注1：当图像上有标尺显示时，放大倍数可不标出。注2：图像上显示的放大倍率与输出设备有关，输出设备可以是显示器、打印机、或照相设备。图像上显示的标尺与扫描电镜操作者所选择的输出设备无关。只有当图像在输出设备上显示或被打印出来时，放大倍率才与标尺相对应。
5参考物质
5.1概要
见ISO导则30。
校准图像放大倍率时，应尽可能选择一个按照ISO导则34制备并按ISO导则35认证的有证参考物质（CRM）。
若没有合适的CRM，可使用按照ISO导则34制备的RM。5.2
CRM的必要条件
所选择的CRM应保证：
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中华人民共和国国家标准
GB/T27788—2020/IS016700:2016代替GB/T27788—2011
微束分析
扫描电镜
图像放大倍率校准导则
Microbeam analysis—Scanning electron microscopy-Guidelines for calibrating image magnification(ISO16700:2016,IDT)
2020-06-02发布
国家市场监督管理总局
国家标准化管理委员会
2021-04-01实施
规范性引用文件
术语和定义
图像放大倍率
参考物质
校准过程
图像放大倍率和标尺的准确度bzxZ.net
8校准报告
附录A（资料性附录）
附录B（资料性附录）
附录C（资料性附录）
附录D（资料性附录）
参考文献
放大倍率参考物质
影响扫描电镜实际放大倍率的参数放大倍率测量的不确定度
检测报告示例
GB/T27788—2020/ISO16700:201612
本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。本标准代替GB/T27788一2011《微束分析扫描电镜
GB/T27788一2011相比，除编辑性修改外主要技术变化如下：删除了ISO5725-1；
术语“Pitch”的翻译由“线距”改为“间距”。GB/T27788—2020/ISO16700:2016图像放大倍率校准导则》。与
本标准使用翻译法等同采用ISO16700：2016《微束分析扫描电镜竞图像放大倍率校准导则》。
与本标准中规范性引用的国际文件有一致性对应关系的我国文件如下：GB/T15000.3—2008标准样品工作导则（3）标准样品定值的一般原则和统计方法（ISOGuide35:2006,IDT)
GB/T15000.7—2012
2标准样品工作导则（7）
）标准样品生产者能力的通用要求（ISOGuide34：2009.IDT）
本标准做了下列编辑性修改：
在资料性附录A中增加了一条“A.2.5中国国中国计量科学研究院（NIMC)”，以使本标准更具有可操作性。
本标准由全国微束分析标准化技术委员会（SAC/TC38)提出并归口。本标准起草单位：中国地质科学院矿产资源研究所、中国科学院上海硅酸盐研究所、中国人民解放军海军军医大学。
本标准主要起草人：陈振宇、周剑雄、李香庭、杨勇骥。本标准所代替标准的历次版本发布情况为：GB/T27788—2011。
GB/T27788—2020/IS016700:2016引言
扫描电镜广泛用于对许多重要材料如半导体、金属、聚合物、玻璃、食品及生物材料等的表面结构的观察研究。本标准应用于扫描电镜图像放大倍率的校准，描述了在扫描电镜中使用有证参考物质或参考物质进行图像放大倍率校准的要求。N
1范围
GB/T27788—2020/ISO16700:2016微束分析扫描电镜
图像放大倍率校准导则
本标准规定了使用适当的参考物质对扫描电镜（SEM)图像的放大倍率进行校准的方法。本标准适用于对由校准参考物质上间距大小的可用范围决定的放大倍率进行校准。本标准不适用于专用测长型扫描电镜。规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单)适用于本文件。GB/T27025一2008检测和校准实验室能力的通用要求（ISO/IEC17025：2005，IDT）ISO导则3o标准样品常用术语和定义（Referencematerials一Selectedtermsanddefinitions）ISO导则34标准样品生产者能力的通用要求（Generalrequirementsforthecompetenceofref-erencematerialproducers)
品定值的一般原则和统计方法（Referencematerials一GeneralandISO导则35标准样品
statisticalprinciplesforcertification）术语和定义
下列术语和定义适用于本文件。3.1
scanningelectronmicroscope
扫描电镜
通过电子束扫描试样表面产生放大图像的一种仪器。3.2
由扫描电镜(3.1)产生的试样表面的二维表征。注：用扫描电镜拍摄的试样照片就是图像的一种。3.3
图像放大倍率
imagemagnification
图像显示的线性尺度与试样上被扫描区域的相应线性尺度之比，3.4
scalemarker
图像（3.2)上表示试样上特定实际长度的线段或间隔。3.5
referencematerial
参考物质
一种或多种特性足够均匀和稳定的物质，已被确认适合于在测量过程中使用。1
GB/T27788—2020/ISO16700:20163.6
certifiedreferencematerial
有证参考物质
-种或多种特性已通过有效的计量学认证且附有证书的参考物质（3.5)，证书中提供了具有相关不确定度和计量学可溯源的特性值。注：在本标准中，参考物质/有证参考物质应具有可用于图像放大倍率（3.3)校准的间距样式，该间距样式具有适需的间距尺度和准确度。
calibration
在特定条件下执行的操作规程，使得扫描电镜（3.1)显示的放大倍率和通过检验参考物质（3.5)或有证参考物质（3.6)而确定的相应的放大倍率之间建立起关系。3.8
倾转角
tiltangle
倾转的试样表面与垂直于电子束轴的平面之间的夹角。注：见图1。
说明：
倾转的试样；
电子束；
试样；
倾转角。
图1倾转角
显示器
display
用于呈现图像（3.2)的模拟或数字设备注：显示器可以是阴极射线管、等离子显示板、液晶显示屏等。3.10
工作距离
workingdistance
试样表面和扫描电镜（3.1)物镜极靴下表面之间的距离，2
GB/T27788—2020/ISO16700:2016试样上最靠近的两个相似特征之间的最小间隔，这种间隔在重复的样式上是相等的。准确度
accuracy
测试结果和公认的参考值之间的接近程度。注1：“测试结果”是指按本标准中规定的程序所获得的有证参考物质（3.6)的间距（3.11)观测值注2：术语“公认的参考值”是指经由国家或国际校准实验室认证的数值，与此数值相关的不确定度也宜出现在证书上。
注3：准确度和精密度不同。精密度的定义是在规定条件下测得的若干独立测试结果之间的一致程度（见ISO5725-1)。
4图像放大倍率
4.1标尺
为表示放大倍率，在图像上附加一个标尺和以国际单位制表示的相应长度。它表示试样上的实际长度。如图2所示。
注：箭头表示的长度对应于校准后的500nm。标尺及其长度
2放大倍率的表示
图像的放大倍率以代表物体放大倍数的数字加上符号“×”表示（如100×，10000×，10k×或X100，×10000，×10k，其中100、10000和10k是放大倍数）。注1：当图像上有标尺显示时，放大倍数可不标出。注2：图像上显示的放大倍率与输出设备有关，输出设备可以是显示器、打印机、或照相设备。图像上显示的标尺与扫描电镜操作者所选择的输出设备无关。只有当图像在输出设备上显示或被打印出来时，放大倍率才与标尺相对应。
5参考物质
5.1概要
见ISO导则30。
校准图像放大倍率时，应尽可能选择一个按照ISO导则34制备并按ISO导则35认证的有证参考物质（CRM）。
若没有合适的CRM，可使用按照ISO导则34制备的RM。5.2
CRM的必要条件
所选择的CRM应保证：
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