GB 50646-2020.Technical standard for specialty gas system engineering.
1总则
1.0.1 为了在电子工业工厂特种气体系统及配套装置的工程设计、施工及验收中贯彻国家现行法律、法规,满足产品生产要求,确保人身和财产安全、做到安全适用、技术先进、保护环境、节约能源、经济合理,制定本标准。
1.0.2 GB 50646适用于新建、改建、扩建的电子工业的特种气体系统工程中的设计、施工和验收。
1.0.3 GB 50646不适用于特种气体的制取、提纯、 灌装等生产及配套装置的工程设计、施工和验收。
1.0.4 特种气体系统工程的设计、施工及验收除应符合本标准的规定外，尚应符合国家现行有关标准的规定。
2术语
2.0.1 特种气体 specialty gas
电子产品生产外延、化学气相沉积、刻蚀、掺杂等工艺中使用的自燃性、易燃性、剧毒性、毒性、腐蚀性、氧化性、惰性等特殊气体。
2.0.2 自燃性气体 pyrophoric gas
也称作发火气体,是指在空气中等于或低于54°C时可能自燃的易燃气体。
2.0.3 易燃性气体 flammable gas
一种在20°C和标准压力101. 3kPa状态时空气混合有一定易燃范围的气体。
2.0.4 剧毒性气体 highly toxic gas
半致死浓度(空气中吸入4h)小于或等于100mL/m3的气体。
2.0.5 毒性气体 toxic gas
半致死浓度(空气中吸人4h)大于100mL/m3但不超过2500mL/m3的气体。
2.0.6 腐蚀性气体 corrosive gas
对材料或人体组织通过接触产生化学反应引起可见破坏或不可逆变化的气体。
2.0.7 氧化性气体 oxidizing gas
一般通过提供氧气,比空气更能导致和促使其他物质燃烧的任何气体。
2.0.8 惰性气体 inert gas
在一般情况下不会与其他物质产生化学反应的气体。

中华人民共和国国家标准
GB 50646-2020
特种气体系统工程技术标准
Technical standard for specialty gas system engineering2020-02-27发布
2020-10-01
中华人民共和国住房和城乡建设部国家市场监督管理总局
联合发布
中华人民共和国国家标准
特种气体系统工程技术标准bzxz.net
Technical standard for specialty gas system engineeringGB50646-2020
主编部门：中华人民共和国工业和信息化部批准部门：中华人民共和国住房和城乡建设部施行日期：2
中国计划出版社
中华人民共和国住房和城乡建设部公告2020年第59号
住房和城乡建设部关于发布国家标准《特种气体系统工程技术标准》的公告现批准《特种气体系统工程技术标准》为国家标准，编号为GB50646-2020，自2020年10月1日起实施。其中，第3.1.5（1、2)、3.1.6、3.2.5、3.2.6、3.2.7、3.3.7、3.3.8、4.2.1(2、5、6)、4.3.1、4.4.4、4.4.7、5.2.1(1、2、3、4、5)、5.2.3(1、2、3)、5.2.6、5.4.5、6.1.3、6.1.4、6.2.6、7.2.1、7.2.9、9.1.3、9.2.5、9.2.6（1）、9.3.2、9.3.15、9.3.17、10.6.2（7）、10.7.2条（款）为强制性条文，必须严格执行。原国家标准《特种气体系统工程技术规范》GB50646-2011同时废止。
本标准在住房和城乡建设部门户网站（mohurd.gov.cn）公开，并由住房和城乡建设部标准定额研究所组织中国计划出版社出版发行。
中华人民共和国住房和城乡建设部2020年2月27日
根据住房和城乡建设部《关于印发《2017年工程建设标准制订、修订及相关工作计划>的通知》（建标[2016]248号）的要求，由信息产业电子第十一研究院科技工程股份有限公司和中国电子系统工程第二建设有限公司会同有关单位共同编制完成。本标准在编制过程中，编制组根据我国特种气体系统各类站房的设计、建造和运行的实际情况，进行了广泛的调查研究，同时考虑我国特种气体的技术来源情况，对国外的有关标准进行了研读，并在全国范围内广泛向有关单位或个人征求意见的基础上，修改、完善标准，最后经审查定稿。本标准的主要技术内容是：总则、术语、特种气体站房、特种气体工艺系统、生命安全系统、特种气体管道输送系统、建筑结构、电气与防雷、公用工程、特种气体系统工程施工、特种气体系统工程验收等。
本标准修订的主要技术内容是：1.取消规范中的第5章“硅烷站”的设置，根据其专业内容分别并入第3章至第9章的相关章节。2.合并规范中的第10章“给水排水及消防”和第11章“采暖通风与空气调节”，合并后为新标准的第9章“公用工程”。3.根据我国工程建设的实际情况及国外相关规范的内容，修改了第3章“特种气体站房”的部分内容。4.将第11章“特种气体系统验收”的部分内容纳人该章节的条文说明。
本标准中以黑体字标志的条文为强制性条文，必须严格执行。本标准由住房和城乡建设部负责管理和对强制性条文的解1
释，由工业和信息化部负责日常管理，由信息产业电子第十一设计研究院科技工程股份有限公司负责具体技术内容的解释。在执行本标准的过程中，请各单位结合工程实践，认真总结经验，如发现需要修改或补充之处，请将意见和有关资料寄至信息产业电子第十一设计研究院科技工程股份有限公司（地址：四川成都市双林路25）号：邮编：610021传真：028-84333172：E-mail：[email protected]），以供今后修订时参考。
本标准主编单位：信息产业电子第十一设计研究院科技工程股份有限公司
中国电子系统工程第二建设有限公司本标准参编单位：上海正帆科技股份有限公司中国电子工程设计院有限公司
工业和信息化部电子工业标准化研究院液化空气（中国）投资有限公司威阳彩虹光电科技有限公司
成都爱德工程有限公司
中国电子科技集团公司第五十八研究所本标准主要起草人员：李骥吴军闫诗源黄勇李东升
夏双兵
江元升
张家红
钱春健朱梅君
毛冬凯
本标准主要审查人员：郑秉孝
薛东升
孙效义
胡天碧
侯文川
姜剑锋
王鹏亮
崔永祥
周礼誉
薛长立
欧华星
王凌旭
薛首文
顾爱军
刘小娇
张志辉
特种气体站房
一般规定
特种气体站房布置
特种气体设备布置
特种气体工艺系统
一般规定
特种气体输送系统
4.3吹扫和排气系统
硅烷工艺系统·
5生命安全系统
5.1特种气体管理系统
5.2特种气体探测系统
5.3其他安全设施
5.4特种气体报警的联动控制
特种气体管道输送系统
一般规定
材料选型
管道设计
管道标识
7建筑结构
一般规定
建筑防火
（11)
（11)
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（14）
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（16）
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（19）
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（20）
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（22）
（24）
（24）
（24）
7.3建筑构造措施
8电气与防雷
配电与照明
防雷与接地
9公用工程
给水排水
采暖通风与空气调节
特种气体系统工程施工
一般规定
主要设备、材料进场验收
气瓶柜与气瓶架的安装
阀门箱与阀门盘的安装
尾气处理装置及纯化器的安装
特种气体管道安装
特种气体管道改扩建工程施工
特种气体系统工程验收
附录A
附录B
一般规定
设备验收·
管路与系统验收
气体探测（监控）系统验收
特种气体管道氨检漏方法
电子工业用特种气体的主要物化性质（单一气体）
本标准用词说明
引用标准名录
附：条文说明
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Generalprovisions
Contents
Specialtygases stationroom
3.1 General requirements
3.2Specialtygasesstationroom3.3Specialtygases equipment layout4
Process system of specialty gases4.19
General requirements
4.2Pipelinesystem of specialtygases4.3Purgeand ventsystem
Silaneprocesssystem
5Lifesafetysystem
Management system of specialtygases5.1
5.2Detection system of specialty gases5.3
Safetyprovisions
5.4Inter control of specialty gases alarm6Pipeline of specialtygases
General requirements
Materials selection
6.3Pipeline design
Pipelinelabeling
Architectureandstructure
7.1General requirements
7.2Architecture fire protection1）
（8）
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（14）
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（16）
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（19）
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（20）
（21）
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（24）
（24）
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7.3Architectureconstructionmeasure8Electricalandlightningprotection8.1Power distribution and lighting8.2Lightningprotectionandgrounding9Utilityengineering
9.1 Water supply and drainage9.2Fireprotection
Heating ventilation and air conditioning9.31
Engineeringconstructionof specialtygasessystem10.1
General requirements
Site acceptance of main equipment and materialsInstallation of GCand GR:
InstallationofVMBandVMP
Installation of exhaust gases local scrubber and purifierInstallationof specialtygasespipelineEngineering construction of revamp and expansion project ofspecialty gases pipeline ..
Engineering inspectionandacceptanceof specialtygasessystem
General requirements
Inspection and acceptanceof eguipment11.2
1l.3Inspection and acceptance of pipeline systemIl.4Inspectionand acceptanceof gases detection/monitoringsystem
AppendixAHeliumtestleakageofspecialtygas（27)
（28）
（28）
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（42）
（43）
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AppendixBThe characteristics of specialtygas(mono-gas)......（45)ExplanationofwordinginthisstandardList of quoted standards
Addition:Explanation ofprovisions（50）
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（53）
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