SN/T 3480.3-2016.Technical requirements for the inspection of complete set of equipment in
electronic and electrical industry for import- Part 3 :Machinery and equipment for flat panel display.
1范围
SN/T 3480.3规定了进口平板显示器制造专用设备的检验技术要求。
SN/T 3480.3适用于平板显示器制造专用设备(参见附录A、附录B)的检验，该范围之外的平板显示器制造专用设备亦可参照使用。
2规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T 3797- 2005电 气控制设备
GB 5959.1-2005电 热装置的安全第1 部分:通用要求
GB/T 17626.1电磁兼容试验和测量技术 抗扰度 试验总论
GB/T 20801(所有部分)压力管道规范 工业管道
SN/T 3700-2013进出口 成套设备检验技术要求通则
中华人民共和国特种设备安全法(中华人民共和国主席令第四号)
特种设备安全监察条例(中华人民共和国国务院令第549号)
3术语和定义
SN/T 3700-2013 界定的以及下列术语和定义适用于本文件。
3.1平板显示器flat panel display;FPD
显示屏对角线的长度与整机厚度之比大于4: 1的显示器件。
3.2平板显示器制造专用设备machinery and equipment for flat panel display
制造平板显示器所使用的具有该行业工艺特点的专用设备。
4技术要求
4.1总要求
应符合SN/T 3700-2013中4.1的要求。

中华人民共和国出入境检验检疫行业标准SN/T3480.3—2016
进口电子电工行业成套设备检验技术要求第3部分：平板显示器制造专用设备Technical requirements for the inspection of complete set of equipment inelectronic and electrical industry for import-Part 3:Machinery and equipmentforflatpaneldisplay
2016-08-23发布
中华人民共和国
国家质量监督检验检疫总局
2017-03-01实施
SN/T3480《进口电子电工行业成套设备检验技术要求》共分为4个部分：第1部分：印刷线路板表面贴装设备；第2部分：电线电缆制造专用设备：第3部分：平板显示器制造专用设备；第4部分：半导体封装测试设备
本部分为SN/T3480的第3部分。
本部分按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。SN/T3480.3—2016
请注意本文件的某些内容可能涉及专利，本文件的发布机构不承拍识别这些专利的责任本部分由国家认证认可监督管理委员会提出并归口。本部分起草单位：中华人民共和国厦门出入境检验检疫局、中华人民共和国江苏出入境检验检疫局。
本部分主要起草人：颜伟民、钟碧菊、黄滢涵、姜克、游聚民、曾志峰、魏或展、陈靖源、蓝振毅、甘露、朱黄鑫。
1范围bzxZ.net
进口电子电工行业成套设备检验技术要求第3部分：平板显示器制造专用设备SN/T3480的本部分规定了进口平板显示器制造专用设备的检验技术要求。SN/T3480.3—2016
本部分适用于平板显示器制造专用设备（参见附录A、附录B）的检验，该范围之外的平板显示器制造专用设备亦可参照使用。
2规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。GB/T3797--2005电气控制设备
GB5959.1—2005电热装置的安
第1部分：通用要求
GB/T17626.1电磁兼容试验和测量技术抗扰度试验总论GB/T20801（所有部分）压力管道规范工业管道SN/T3700-—2013进出口成套设备检验技术要求通则
中华人民共和国特种设备安全法（中华人民共和国主席令第四号）特种设备安全监察条例（中华人民共和国国务院令第549号）3术语和定义
SN/T3700—2013界定的以及下列术语和宝3.1
平板显示器flatpaneldisplayFPD义适用于本文件
显示屏对角线的长度与整机厚度之比大干4：1的显示器件3.2
平板显示器制造专用设备
machineryand equipmentforflatpaneldisplay制造平板显示器所使用的具有该行业工艺特点的专用设备。4技术要求
4.1总要求
应符合SN/T37002013中4.1的要求。4.2安全项目要求
4.2.1机械安全要求
应符合SN/T3700—2013中4.2.2的要求。SN/T3480.3—2016
4.2.2电气安全要求
4.2.2.1应符合SN/T37002013中4.2.3的要求。4.2.2.2
热处理设备金属炉壳的接地或接零保护装置应符合GB5959.12005中11的要求，化学气相淀积（CVD)设备对地绝缘电阻应5MQ，电磁兼容性应符合GB/T17626.1的4.2.2.3
要求。
磁控溅射设备应有防止触电的保护设施，且应符合GB/T3797-一2005中4.12.1.2的要求，介4.2.2.4
电强度应符合GB/T3797—2005中4.8的要求；绝缘电阻应符合GB/T3797—2005中4.8的要求；应有专用的铜缆接地装置；电控柜的安全接地保护应符合GB/T3797一2005中4.10.6的要求。4.2.2.5曝光机的绝缘电阻≥2MQ：初级电路与机壳之间的耐压测试应能承受1500V交流电压，测试时间1min，测试漏电流设定1.0mA，不得发生击穿和放电现象。4.2.2.6晶片压着机和软性电路板压着机的接地电阻502。4.2.3安全防护装置、警示方式要求4.2.3.1应符合SN/T3700—2013中4.2.4的要求4.2.3.2化学气相淀积（CVD）设备应具备温度偏差报警提示功能、流量偏差报警提示功能、反应室（管）压力异常报警提示及安全防护措施、停水报警及联锁措施、防止误操作的安全保护措施。4.2.4非机械安全要求
4.2.4.1应符合SN/T3700-2013中4.2.5的要求。4.2.4.2化学气相淀积（CVD)设备应具备超温报警及安全防护措施、断偶报警及安全防护措施。4.2.5物质和材料安全要求
4.2.5.1应符合SN/T37002013中4.2.6的要求4.2.5.2化学气相淀积（CVD)设备反应残余气体应使用强排风装置排出净化间，如果反应气体为有毒有害等危险气体，或者反应生成物中包括粉尘、有毒有害等危险物质，则应加装报警和尾气处理装置。反应气体断开时，安全保护气体（如N)应畅通，冷却水应畅通。4.2.5.3磁控溅射设备应设有水流报警装置。4.2.5.4等离子清洗设备的真空系统、气路系统、反应仓和管路的密封性应良好。4.2.5.5干刻机的真空系统中机械泵、扩散泵性能稳定、可靠、运行正常，无异常振动、噪音。真空管路整齐，清洁，联接牢固可靠，密封性好，无泄漏。高温腔体必须有保护外罩。4.2.5.6显影设备在进行显影、漂洗和烘干时，每道工序的基片周围均应有氮气保护设施；应具有氮气欠压保护功能。当氮气压力低于设备的设定值时，设备应立刻报警，并停止工作。应具有真空保护功能。当真空度压力高于设备设定值时，设备应立刻报警，并停止工作。显影烘干处应设置防尘置4.2.5.7特殊气体供应及管道系统和化学品供应及管道系统应符合《中华人民共和国特种设备安全法》《特种设备安全监察条例》和GB/T20801的相关要求。4.2.6人类工效学要求
应符合SN/T3700—2013中4.2.7的要求4.2.7使用信息要求
应符合SN/T3700—2013中4.2.8的要求2
TT'KAONKAca
3其他相关要求
SN/T3480.3—2016
应符合SN/T37002013中4.2.9.1、4.2.9.2、4.2.9.3、4.2.9.4、4.2.9.6、4.2.9.7、4.2.9.8的要求。4.3环境保护项目要求
4.3.1应符合SN/T3700—2013中4.3的要求。4.3.2废水应达三级排放标准：化学需氧量≤300mg/l，氟化物≤20mg/L，阴离子表面活性剂≤350mg/L，总磷≤3.0mg/L，氨氮≤35mg/L。4.3.3废气应达二级排放：氟化物≤7mg/m，二氧化硫≤440mg/m，氯化氢≤80mg/m，非甲烷总烃100mg/m，氮氧化物≤1.5mg/m。4.3.4厂界噪声应达三级排放标准：叠间≤65dB（A），夜间≤55dB（A）。4.4卫生健康项目要求
4.4.1应符合SN/T3700—2013中4.4的要求。4.4.2化学气相淀积（CVD)设备作业场所噪声≤70dB(A）。5检验
检验项目分为重点检验项目和一般检验项目。重点检验项目应视作必检项目，一般检验项目可视实际情况选择检验。
5.2平板显示器制造专用设备检验应按照表1规定的检验项目、检验依据和检验方法，在相应的检验阶段实施检验。
表1检验项目、检验依据和检验方法序号
项目类别
环境保护
卫生健康
检验项目
机械安全要求
电气安全要求
安全防护装置、警示方式要求
非机械安全要求
物质和材料安全要求
人类工效学要求
使用信息要求
其他相关要求
环境保护项目要求
卫生健康项目要求
检验依据
检验方法
检视/功能试验
检视/检测/功能试验
检视/功能试验
检视/检测/功能试验
检视/检测/功能试验
检视/功能试验
检视/资料审查
检视/资料审查
检测/资料审查
检测/资料审查
注1：“A\装运前检验；“B\现场安装调试检验；\C\现场试运行检验。注2：“★”重点检验项目，“”选择项。实施检验阶段
-TKAoNKAca
SN/T3480.3-2016
附录A
（资料性附录）
平板显示器制造专用设备商品编码平板显示器制造专用设备商品编码（HScode）对照见表A.1。表A.1
平板显示器制造专用设备商品编码（HScode）对照表序号
商品编码（HScode）
（2015版）
8186301000
8486302100
8486302200
8486302900
8486303100
8486303900
8486304100
8186304900
8486309000
具体插述
制造平板显示器用扩散、化、退火及其他热处理设备制造平板显示器用化学气相沉积装置（CVID）制造平板显示器用物理气相沉积装置（PVD)其他制造平板显示器用薄膜沉积设备制造平板显示器用分布重复光刻机其他将电路图投影或绘制到感光半导体材料上的装置（制造平板显示器用的机器及装置）
制造平板显示器用超声波清洗装普其他制造平板显示器用湿法蚀刻、晟影、刺离、清洗装置其他制造平板显示器用的机器及装置KAOKAca
附录B
（资料性附录）
液晶平板显示器主要制造专用设备液晶平板显示器主要制造专用设备中英文对照见表B.1。表B.1
液晶平板显示器主要制造专用设备中英文对照表序号
专用设备中文名称
彩膜清洗机
彩膜涂布机
彩膜软烤机
曝光机
彩膜显影机
彩膜固化机
磁控溅射成膜机
等离增强型化学气相沉积装置
准分子激光晶品化设备
清洗光胶涂布显影装置
阵列前段曝光机
离子注人机
湿刻机
干刻机
光阻剥离机
配向膜涂布机
框胶涂布机
液晶滴下机
真空贴合装置
紫外线固化机
偏光片贴附装置
晶片压着机
软性电路板压着机
全自动组装机
模组封点胶设备
colour filter cleaner
colour filter coater
colour film soft baking
exposure
colour filterdeveloper
colour filter hard baker
专用设备英文名称
filmforming
enhanced chemical vapor
exeimer laseranneal system
positionapparatus
cleaner-coater-developersystemarray
implanter
wet etcher
stripper
polyimide coater
Seal dispenser
liquid crystal dispenser
vacuumasscmblysystem
ultraviolet cure
polarizer attacher
chip press bonder
soft circuit board press
module auto assy
module auto dispenser
SN/T3480.3—2016
-TTKAoNIKAca
SN/T3480.3—2016
SJ/T10478—1994
SJ/T11079--1996
SJ/T 11184—1998
SJ209842008
参考文
磁控溅射设备通用技术条件
掩模对准曝光机通用技术条件
显影设备通用规范
化学气相淀积(CVD)
设备通用规范
-KAoNrKAca
SN/T3480.3-2016
中华人民共和国出入境检验检疫行业标准
进口电子电工行业成套设备检验技术要求第3部分：平板显示器制造专用设备SN/T 3480.3—2016
中国标准出版社出版
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网址spc.net.cn
中国标准出版社泰皇岛印刷厂印刷开本880×12301/16印张0.75字数14千字2017年11月第一版2017年11月第一次印刷印数1—500
书号：1550662-32317：
定价16.00元
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