GB 51401-2019
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标准简介
GB 51401-2019.Standard for design of electronic industry emissions treatment engineering.
1总则
1.0.1 为在电子工业废气处理工程设计中贯彻执行国家的有关法律、法规和规定,规范工程的设计内容和深度,提高工程的设计水平，达到保护环境、节约能源与资源、技术先进、经济合理、保证设计质量和安全的要求,制定本标准。
1.0.2 GB 51401适用于新建、改建、扩建的电子工业废气处理工程设计。
1.0.3 电子工业废气处理工程设计除应符合本标准外,尚应符合国家现行有关标准的规定。
2术语
2.0.1 封闭箱体 enclosure
实体的结构物,用于区隔具有排风设施的空间与其他有或无排风设施的空间。
2.0.2 设备排风静压 exhausting static pressure of equipment
需排风设备封闭箱体内外两侧的压差，即设备封闭箱体内压力与设备所处环境压力之差,通常为负值,单位为Pa。
2.0.3 不相容 incompatible
化学物质经由非故意的结合，可能产生剧烈的反应或无法控制的状况,其释放的能量可能引起危险。
2.0.4 局部排风 local exhaust
局部排风的工作原理是在污染源或其邻近处捕集污染物,并将其排至外界环境,通常会经过空气净化或污染因子破坏的处理装置。
2.0.5 酸性废气 acid contaminated exhaust
企业厂区内燃料燃烧和生产工艺过程中产生的酸性污染物气体的总称,通常溶于水中会发生反应,形成弱酸,包括二氧化硫、硫化氢、氟化物、氯、氯化氢.磷酸、硝酸、硫酸等。
2.0.6 碱性废气 alkaline contaminated exhaust
生产工艺过程中产生的碱性污染物气体的总称,通常能与酸作用生成盐类化合物,包括氨、胺类化合物、氢氧化钠等。
1总则
1.0.1 为在电子工业废气处理工程设计中贯彻执行国家的有关法律、法规和规定,规范工程的设计内容和深度,提高工程的设计水平，达到保护环境、节约能源与资源、技术先进、经济合理、保证设计质量和安全的要求,制定本标准。
1.0.2 GB 51401适用于新建、改建、扩建的电子工业废气处理工程设计。
1.0.3 电子工业废气处理工程设计除应符合本标准外,尚应符合国家现行有关标准的规定。
2术语
2.0.1 封闭箱体 enclosure
实体的结构物,用于区隔具有排风设施的空间与其他有或无排风设施的空间。
2.0.2 设备排风静压 exhausting static pressure of equipment
需排风设备封闭箱体内外两侧的压差，即设备封闭箱体内压力与设备所处环境压力之差,通常为负值,单位为Pa。
2.0.3 不相容 incompatible
化学物质经由非故意的结合，可能产生剧烈的反应或无法控制的状况,其释放的能量可能引起危险。
2.0.4 局部排风 local exhaust
局部排风的工作原理是在污染源或其邻近处捕集污染物,并将其排至外界环境,通常会经过空气净化或污染因子破坏的处理装置。
2.0.5 酸性废气 acid contaminated exhaust
企业厂区内燃料燃烧和生产工艺过程中产生的酸性污染物气体的总称,通常溶于水中会发生反应,形成弱酸,包括二氧化硫、硫化氢、氟化物、氯、氯化氢.磷酸、硝酸、硫酸等。
2.0.6 碱性废气 alkaline contaminated exhaust
生产工艺过程中产生的碱性污染物气体的总称,通常能与酸作用生成盐类化合物,包括氨、胺类化合物、氢氧化钠等。
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标准内容
中华人民共和国国家标准
GB 51401 2019
电子工业废气处理工程设计标准Standard for design of electronic industry emissionstreatmentengineering
2019-11－22发布
2020－04－01实施
中华人民共和国住房和城乡建设部国家市场监督管理总局
联合发布
中华人民共和国国家标准
电子工业废气处理工程设计标准Standard for design of electronic industry emissionstreatment engineering
GB51401-2019
主编部门：中华人民共和国工业和信息化部批准部门：中华人民共和国住房和城乡建设部施行日期：2
2019北京
中华人民共和国住房和城乡建设部公告2019年第321号
住房和城乡建设部关于发布国家标准《电子工业废气处理工程设计标准》的公告现批准《电子工业废气处理工程设计标准》为国家标准，编号为GB51401一2019，自2020年4月1日起实施。其中，第3.0.33.0.6（1）、3.0.8、3.0.10、3.0.17条（款）为强制性条文，必须严格执行。
本标准在住房和城乡建设部门户网站（mohurd.gov.cn）公开，并由住房和城乡建设部标准定额研究所组织中国计划出版社出版发行。
中华人民共和国住房和城乡建设部2019年11月22日
本标准是根据住房和城乡建设部《关于印发<2013年工程建设标准规范制订、修订计划>的通知》建标[20136号的要求，由工业和信息化部电子工业标准化研究院、中国电子工程设计院有限公司会同有关单位共同编制完成。在标编制过程中，编写组根据我国的集成电路（IC）、薄膜晶体管液晶显示器（TFT-LCD)以及新型有机发光显示器（OIED)为代表的电子工广生产过程中使用的化学品种类及废气污染因子排放的实际情况，进行了广泛的调查研究，收集了有关电子工厂废气污染因子的种类和设计处理要求，认真总结实践经验，同时考虑我国自前生产的现状，参考国外有关的规范标准，广泛征求了全国有关单位与个人意见，最后经审查定稿。本标准的主要技术内容是：总则术语、基本规定、工艺及工艺设备、碱性废气系统、酸性废气系统，挥发性有机物废气系统、特种废气系统、除尘系统、电子玻璃窑炉废气系统，事故通风，电气设计等。
本标准中以黑体字标志的条文为强制性条文，必须严格执行。本标准由住房和城乡建设部负责管理和对强制性条文的解释，由工业和信息化部负责日常管理，由中国电子工程设计院有限公司负责具体技术内容的解释。执行过程中如有意见或建议，请寄至中国电子工程设计院有限公司《电子工业废气处理工程设计标淮》管理组（地址：北京市海淀区西四环北路160号，邮编：100142，传真：010-88193999，邮箱：[email protected]）。本标准主编单位：工业和信息化部电子工业标准化研究院
中国电子工程设计院有限公司
本标准参编单位：世源科技工程有限公司信息产业电子第十一设计研究院科技T程股份有限公司
清华大学
同济大学
上海电子工程设计研究院有限公司上海华概环保节能设备有限公司奥意建筑工程设计有限公司
北京京东方光电科技有限公司
深圳市华星光电技术有限公司
三星工程建设（上海）有限公司北京康肯环保设备有限公司
上海华力微电子有限公司
中国电子科技集团第五五研究所应用材料（中国）有限公司
中国电子系统工程第四建设有限公司天津市武清区环境工程设备有限公司苏州艾特斯环保设备有限公商
爱美克环保工业（武汉）有限公司东莞兆能环境科技有限公司Www.bzxZ.net
中国电子系统工程第二建设有限公司上海盛剑环境系统科技有限公司唐纳森（中国）贸易有限公司
上海点夺电子科技有限公司
本标准主要起草人员：秦学礼肖红梅江元升莫金汉阎冬羌宁
陆崎徐刚
杜宝强赵海生
湛云忠李杨
吴新何菁李朝英永井勇
林云韩科勇
云希康
邱会东
巫曼蔓
颜登通
黄桂超
张伟明
本标准主要审查人员：刘俊杰
任兆成
王素英
张利群
曹布霖
张作保
丁宏伟
阎宇宏
明慧玲
基本规定
工艺及工艺设备
一般规定
污染物控制
应急设施
碱性废气系统
般规定
处理流程和方法
处理设备
5.4风管及附件
酸性废气系统
般规定
氮氧化物、高浓度酸及电镀废气挥发性有机物废气系统
7.1般规定
废气收集、排风管道系统
处理系统
处理设备
自动控制及安全措施
8、特种废气系统
一般规定
8.2烷类尾气处理系统
（5）
（12）
（12）
（12）
（12)
（14）
（14）
(16）
（17）
(17）
（19）
（19）
（20)
（20）
（22）
(24）
（26）
（26）
（26）
8.3全氟化合物（PFC)尾气处理系统8.4其他特种尾气处理系统
8.5中央废气处理系统
除尘系统
一般规定
系统设计、处理流程及方法
处理设备
风管及附件
电子玻璃窑炉废气系统
般规定
系统设计、处理流程及方法
处理设备
风管及附件
事故通风
-般规定
系统设计及有害气体净化
电气设计
供配电与照明
防雷与接地
电子工业常用高毒物品的立即危害生命和健康附录A
浓度(IDIH)
本标准用词说明
引用标准名录
附：条文说明
(30）
(30）
(33）
(36）
（36）
（37）
（39）
(40）
（40)
（41）
（44）
（44）
（44）
（46）
（47）
（48）
（49）
Gcneral provisions
Basic requirments
Contents
Process and processing equipment4.1 General requirements
4. 2 Pollution control
1.3 Emergency facilities
5Alkalineexhaust system
5. 1 General reguirements
5. 2 Process and methods
5. 3 Process equipment
5. 4 Duct and accessories
6Acid exhaust system
General reguircments
6. 2 Nitric oxide, high concentration acid and electroplatingexhaus
7 Volatile organic compounds exhaust systcm7. 1
General reyuirements
7.2 Exhaust collection and exhaust duct system7.3 Process system
7. 4 Process equipment
7.5 Automatic control and safety mcasures8 Special contaminated exhaust systern8. 1 General reguirements
（12）
（12）
（12）
(14）
（14）
（14）
（16）
(17）
（19）
（19）
(20）
(20）
（22）
（24）
(26）
8. 2 Alkanes point-of-use exhaust system8. 3 Perfluorocompounds point-of-use cxhaust system8.4 Other special contaminated exhaust system8.5Centralized abatement system9
Dust removing system .
General reguirements
9. 2 System design, process and methods9.3Process equipment
Ductand acccssories
Electronic glass furnace exhaust system10
l0.l General reguirements
lo.2 System design, process and methods10.3 Process equipnent
lo. 4 Ducl and accessorie:
Emergency exhaust
1l. 1 General reguirements
ll. 2 System design and purifying harniful gas12 Flectrical design :
12. I Electric power supply and lighting .12.2 Lightning protection and earthingAppendix AImmediately dangerous to life or health of（26)
（27)
（28）
（28）
（30）
（30）
（30）
（32）
（33）
（36）
（36）
（36）
（37）
（40）
（40)
（44）
（44）
（44）
high loxic substanccs in electronic industry ...... ( 46 )Explanation of wording in this standardList of quoted standards
Addition:Explanation of provisions（47）
（49）
1.0.1为在电子工业废气处理工程设计中贯彻执行国家的有关法律、法规和规定，规范工程的设计内容和深度，提高工程的设计水平，达到保护环境、节约能源与资源、技术先进、经济合理、保证设计质量和安全的要求，制定本标准。1.0.2本标准适用于新建、改建、扩建的电子工业废气处理工程设计。
1.0.3电子工业废气处理工程设计除应符合本标准外，尚应符合国家现行有关标准的规定。
2.0.1封闭箱体
2术语
enclosure
实体的结构物，用于区隔具有排风设施的空间与其他有或无排风设施的空间。
exhausting static pressure of equipment2.0.2设备排风静压
需排风设备封闭箱体内外两侧的压差，即设备封闭箱体内压力与设备所处环境压力之差，通常为负值，单位为Pa。2.0.3不相容
incompatible
化学物质经由非故意的结合，可能产生剧烈的反应或无法控制的状况，其放的能量可能引起危险，2.0.4周部排风localexhaust
局部排风的工作原理是在污染源或其邻近处捕集污染物，并将其排至外界环境，通常会经过空气净化或污染因子破坏的处理装置。
2.0.5酸性废气acid conlaminated exhaust企业广区内燃料燃烧和生产工艺过程中产生的酸性污染物气体的总称，通常溶于水中会发生反应，形成弱酸，包括二氧化硫、硫化氢、氟化物、氯、氯化、磷酸、硝酸、硫酸等。2.0.6碱性废气alkaline contaminated exhaust生产工艺过程中产生的碱性污染物气体的总称，通常能与酸作用生成盐类化合物，包括氨、胺类化合物、氢氧化钠等。2.0.7特科种废气special contaminated exhaus电子产品生产过程中化学气相淀积、扩散、外延、离了注人，干法刻蚀等工艺设备散发的含行毒性、腐蚀性、氧化性、自燃性、可燃性、惰性等物质的废气。
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GB 51401 2019
电子工业废气处理工程设计标准Standard for design of electronic industry emissionstreatmentengineering
2019-11－22发布
2020－04－01实施
中华人民共和国住房和城乡建设部国家市场监督管理总局
联合发布
中华人民共和国国家标准
电子工业废气处理工程设计标准Standard for design of electronic industry emissionstreatment engineering
GB51401-2019
主编部门：中华人民共和国工业和信息化部批准部门：中华人民共和国住房和城乡建设部施行日期：2
2019北京
中华人民共和国住房和城乡建设部公告2019年第321号
住房和城乡建设部关于发布国家标准《电子工业废气处理工程设计标准》的公告现批准《电子工业废气处理工程设计标准》为国家标准，编号为GB51401一2019，自2020年4月1日起实施。其中，第3.0.33.0.6（1）、3.0.8、3.0.10、3.0.17条（款）为强制性条文，必须严格执行。
本标准在住房和城乡建设部门户网站（mohurd.gov.cn）公开，并由住房和城乡建设部标准定额研究所组织中国计划出版社出版发行。
中华人民共和国住房和城乡建设部2019年11月22日
本标准是根据住房和城乡建设部《关于印发<2013年工程建设标准规范制订、修订计划>的通知》建标[20136号的要求，由工业和信息化部电子工业标准化研究院、中国电子工程设计院有限公司会同有关单位共同编制完成。在标编制过程中，编写组根据我国的集成电路（IC）、薄膜晶体管液晶显示器（TFT-LCD)以及新型有机发光显示器（OIED)为代表的电子工广生产过程中使用的化学品种类及废气污染因子排放的实际情况，进行了广泛的调查研究，收集了有关电子工厂废气污染因子的种类和设计处理要求，认真总结实践经验，同时考虑我国自前生产的现状，参考国外有关的规范标准，广泛征求了全国有关单位与个人意见，最后经审查定稿。本标准的主要技术内容是：总则术语、基本规定、工艺及工艺设备、碱性废气系统、酸性废气系统，挥发性有机物废气系统、特种废气系统、除尘系统、电子玻璃窑炉废气系统，事故通风，电气设计等。
本标准中以黑体字标志的条文为强制性条文，必须严格执行。本标准由住房和城乡建设部负责管理和对强制性条文的解释，由工业和信息化部负责日常管理，由中国电子工程设计院有限公司负责具体技术内容的解释。执行过程中如有意见或建议，请寄至中国电子工程设计院有限公司《电子工业废气处理工程设计标淮》管理组（地址：北京市海淀区西四环北路160号，邮编：100142，传真：010-88193999，邮箱：[email protected]）。本标准主编单位：工业和信息化部电子工业标准化研究院
中国电子工程设计院有限公司
本标准参编单位：世源科技工程有限公司信息产业电子第十一设计研究院科技T程股份有限公司
清华大学
同济大学
上海电子工程设计研究院有限公司上海华概环保节能设备有限公司奥意建筑工程设计有限公司
北京京东方光电科技有限公司
深圳市华星光电技术有限公司
三星工程建设（上海）有限公司北京康肯环保设备有限公司
上海华力微电子有限公司
中国电子科技集团第五五研究所应用材料（中国）有限公司
中国电子系统工程第四建设有限公司天津市武清区环境工程设备有限公司苏州艾特斯环保设备有限公商
爱美克环保工业（武汉）有限公司东莞兆能环境科技有限公司Www.bzxZ.net
中国电子系统工程第二建设有限公司上海盛剑环境系统科技有限公司唐纳森（中国）贸易有限公司
上海点夺电子科技有限公司
本标准主要起草人员：秦学礼肖红梅江元升莫金汉阎冬羌宁
陆崎徐刚
杜宝强赵海生
湛云忠李杨
吴新何菁李朝英永井勇
林云韩科勇
云希康
邱会东
巫曼蔓
颜登通
黄桂超
张伟明
本标准主要审查人员：刘俊杰
任兆成
王素英
张利群
曹布霖
张作保
丁宏伟
阎宇宏
明慧玲
基本规定
工艺及工艺设备
一般规定
污染物控制
应急设施
碱性废气系统
般规定
处理流程和方法
处理设备
5.4风管及附件
酸性废气系统
般规定
氮氧化物、高浓度酸及电镀废气挥发性有机物废气系统
7.1般规定
废气收集、排风管道系统
处理系统
处理设备
自动控制及安全措施
8、特种废气系统
一般规定
8.2烷类尾气处理系统
（5）
（12）
（12）
（12）
（12)
（14）
（14）
(16）
（17）
(17）
（19）
（19）
（20)
（20）
（22）
(24）
（26）
（26）
（26）
8.3全氟化合物（PFC)尾气处理系统8.4其他特种尾气处理系统
8.5中央废气处理系统
除尘系统
一般规定
系统设计、处理流程及方法
处理设备
风管及附件
电子玻璃窑炉废气系统
般规定
系统设计、处理流程及方法
处理设备
风管及附件
事故通风
-般规定
系统设计及有害气体净化
电气设计
供配电与照明
防雷与接地
电子工业常用高毒物品的立即危害生命和健康附录A
浓度(IDIH)
本标准用词说明
引用标准名录
附：条文说明
(30）
(30）
(33）
(36）
（36）
（37）
（39）
(40）
（40)
（41）
（44）
（44）
（44）
（46）
（47）
（48）
（49）
Gcneral provisions
Basic requirments
Contents
Process and processing equipment4.1 General requirements
4. 2 Pollution control
1.3 Emergency facilities
5Alkalineexhaust system
5. 1 General reguirements
5. 2 Process and methods
5. 3 Process equipment
5. 4 Duct and accessories
6Acid exhaust system
General reguircments
6. 2 Nitric oxide, high concentration acid and electroplatingexhaus
7 Volatile organic compounds exhaust systcm7. 1
General reyuirements
7.2 Exhaust collection and exhaust duct system7.3 Process system
7. 4 Process equipment
7.5 Automatic control and safety mcasures8 Special contaminated exhaust systern8. 1 General reguirements
（12）
（12）
（12）
(14）
（14）
（14）
（16）
(17）
（19）
（19）
(20）
(20）
（22）
（24）
(26）
8. 2 Alkanes point-of-use exhaust system8. 3 Perfluorocompounds point-of-use cxhaust system8.4 Other special contaminated exhaust system8.5Centralized abatement system9
Dust removing system .
General reguirements
9. 2 System design, process and methods9.3Process equipment
Ductand acccssories
Electronic glass furnace exhaust system10
l0.l General reguirements
lo.2 System design, process and methods10.3 Process equipnent
lo. 4 Ducl and accessorie:
Emergency exhaust
1l. 1 General reguirements
ll. 2 System design and purifying harniful gas12 Flectrical design :
12. I Electric power supply and lighting .12.2 Lightning protection and earthingAppendix AImmediately dangerous to life or health of（26)
（27)
（28）
（28）
（30）
（30）
（30）
（32）
（33）
（36）
（36）
（36）
（37）
（40）
（40)
（44）
（44）
（44）
high loxic substanccs in electronic industry ...... ( 46 )Explanation of wording in this standardList of quoted standards
Addition:Explanation of provisions（47）
（49）
1.0.1为在电子工业废气处理工程设计中贯彻执行国家的有关法律、法规和规定，规范工程的设计内容和深度，提高工程的设计水平，达到保护环境、节约能源与资源、技术先进、经济合理、保证设计质量和安全的要求，制定本标准。1.0.2本标准适用于新建、改建、扩建的电子工业废气处理工程设计。
1.0.3电子工业废气处理工程设计除应符合本标准外，尚应符合国家现行有关标准的规定。
2.0.1封闭箱体
2术语
enclosure
实体的结构物，用于区隔具有排风设施的空间与其他有或无排风设施的空间。
exhausting static pressure of equipment2.0.2设备排风静压
需排风设备封闭箱体内外两侧的压差，即设备封闭箱体内压力与设备所处环境压力之差，通常为负值，单位为Pa。2.0.3不相容
incompatible
化学物质经由非故意的结合，可能产生剧烈的反应或无法控制的状况，其放的能量可能引起危险，2.0.4周部排风localexhaust
局部排风的工作原理是在污染源或其邻近处捕集污染物，并将其排至外界环境，通常会经过空气净化或污染因子破坏的处理装置。
2.0.5酸性废气acid conlaminated exhaust企业广区内燃料燃烧和生产工艺过程中产生的酸性污染物气体的总称，通常溶于水中会发生反应，形成弱酸，包括二氧化硫、硫化氢、氟化物、氯、氯化、磷酸、硝酸、硫酸等。2.0.6碱性废气alkaline contaminated exhaust生产工艺过程中产生的碱性污染物气体的总称，通常能与酸作用生成盐类化合物，包括氨、胺类化合物、氢氧化钠等。2.0.7特科种废气special contaminated exhaus电子产品生产过程中化学气相淀积、扩散、外延、离了注人，干法刻蚀等工艺设备散发的含行毒性、腐蚀性、氧化性、自燃性、可燃性、惰性等物质的废气。
小提示：此标准内容仅展示完整标准里的部分截取内容，若需要完整标准请到上方自行免费下载完整标准文档。