GB/T 43976-2024
基本信息
标准号:
GB/T 43976-2024
中文名称:电子气体 四氟甲烷
标准类别:国家标准(GB)
英文名称:Electronic gas—Tetrafluoromethane
标准状态:现行
发布日期:2024-04-25
实施日期:2024-11-01
出版语种:简体中文
下载格式:.pdf .zip
下载大小:1962194
相关标签:
电子
气体
甲烷
标准分类号
标准ICS号:化工技术>>化工产品>>71.100.20工业气体
中标分类号:化工>>其他化工产品>>G86工业气体与化学气体
关联标准
出版信息
出版社:中国标准出版社
页数:16页
标准价格:31.0
相关单位信息
起草人:史婉君 王娟 张琦炎 罗霞 胡迎 付梦月 李企真 朱晓平 王占卫 袁瑞玲 傅铸红 陈艳珊 马建修 陈程 褚人财 李霞 何西 禹金龙 曹素英 何经余 沈琦 郭华轩 王新喜 孙猛 沈益军 潘金平 洪倩 石林 吕博文 万娟秀 朱明 谈益强 刘亮 张朋越 陈洁 吴靓 方华 郑新蕊 何波 黄小强 黄辉等
起草单位:浙江省化工研究院有限公司、昊华气体有限公司、杭氧集团股份有限公司、中船(邯郸)派瑞特种气体有限公司、广东华特气体股份有限公司、天津绿菱气体有限公司、浙江巨化技术中心有限公司、中化蓝天氟材料有限公司、江西华特电子化学品有限公司、福建久策气体股份有限公司等
归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
提出单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
发布部门:国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
标准简介
本文件规定了电子级四氟甲烷的技术要求、检验规则、标志、包装、运输、贮存及安全信息的要求,描述了相关的试验方法。本文件适用于由工业四氟甲烷提纯制备的四氟甲烷。
标准内容
ICS71.100.20
CCS G 86
中华人民共和国国家标准
GB/T43976—2024
电子气体
四氟甲烷
Electronic gasTetrafluoromethane2024-04-25发布
国家市场监督管理总局
国家标准化管理委员会
2024-11-01买施
GB/T43976—2024
本文件按照GB/T1.1一2020《标准化工作导则第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定起草。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出并归口。本文件起草单位:浙江省化工研究院有限公司、昊华气体有限公司、杭氧集团股份有限公司、中船(邯郸)派瑞特种气体有限公司、广东华特气体股份有限公司、大津绿菱气体有限公司、浙江巨化技术中心有限公司、中化蓝天氟材料有限公司、江西华特电子化学品有限公司、福建久策气体股份有限公司、江苏雅克科技股份有限公司、上海伟创标准气体分析技术有限公司、金宏气体股份有限公司、浙江海纳平导体股份有限公司、杭州德成科技服务有限公司、昊华气体有限公司西南分公司、杭州市消费者权益保护委员会秘书处(杭州国家电子商务产品质量监测处置中心)、浙江解氏新材料股份有限公司、宿州伊维特新材料有限公司、浙江省标准化研究院、中国计量大学、上海申南特种气体有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、大连大特气体有限公司、上海凡伟仪器设备有限公司、联雄投资(上海)有限公司、沈阳中复科金压力容器有限公司、浙江东开半导体科技有限公司、和立气体(上海)有限公司、昆明广瑞达特种气体有限责任公司、西南化工研究设计院有限公司、西南化工研究设计院有限公司武汉分公司、西南化工研究设计院有限公司双流分公司。本文件主要起草人:史婉君、王娟、张琦炎、罗霞、胡迎、付梦月、李企真、朱晓平、王占卫、袁瑞玲、傅铸红、陈色珊、马建修、陈程、褚人财、李霞、何西、禹金龙、曹素英、何经余、沈琦、郭华轩、王新喜、孙猛、沈益军、潘金平、洪倩、石林、吕博文、万娟秀、朱明、谈益强、刘亮、张朋越、陈洁、吴靓、方华、郑新蕊、何波、黄小强、黄辉、刘畅涛、宫兵、易达文、李阳、梁永强、梁成科、高静、赵帅德、马昌宁、周鹏云、刘定川、彭诚。
1范围
电子气体!
四氟甲烷
GB/T43976—2024
本文件规定了电子级四氟甲烷的技术要求、检验规则、标志、包装、运输、贮存及安全信息的要求,描述了相关的试验方法。
本文件适用于由工业四氟甲烷提纯制备的四氟甲烷,规范性引用文件
下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中,注日期的引用文件,仅该日期对应的版本适用于本文件;不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
危险货物包装标志
GB/T601
GB/T 603
GB/T3723
化学试剂标准滴定溶液的制备
化学试剂试验方法中所用制剂及制品的制备工业用化学产品采样安全通则
5099(所有部分)钢质无缝气瓶GB/T
GB/T5832.3
GB/T7144
GB/T8170
GB/T14193
GB15258
GB/T16804
气体中微量水分的测定第3部分:光腔衰荡光谱法分析实验室用水规格和试验方法气瓶颜色标志
数值修约规则与极限数值的表示和判定液化气体气瓶充装规定
化学品安全标签编写规定
气瓶警示标签
GB/T28726
GB30000.25
GB/T33145
TSG 07
气体分析氨离子化气相色谱法
化学品分类和标签规范第25部分:特异性靶器官毒性一次接触大容积钢质无缝气瓶
特种设备生产和充装单位许可规则气瓶安全技术规程
TSGR0005
3术语和定义
移动式压力容器安全技术监察规程GB30000.25界定的术语和定义适用于本文件。4技术要求
四氟甲烷的技术要求应符合表1的规定。GB/T43976—2024
四氟甲烷(CFO纯度(体积分数)/10-2(氧+氩)(02+Ar)含量(体积分数)/10-6氮(N2)含量(体积分数)/10-6一氧化碳(CO)含量(体积分数)/10-6二氧化碳(C02)含量(体积分数)/10~6六氟化硫(SF。)含量(体积分数)/10-6项目
其他卤代化合物°含量(体积分数)/10-6水分(H20)含量(体积分数)/10~5酸度(以HF计)含量(质量分数)/10-6杂质总含量(体积分数)/10-6
表1技术要求Www.bzxZ.net
其他卤代化合物包括:六氟乙烷、八氟丙烷、三氟一氯甲烷、三氟甲烷,5试验方法
≥99. 999
供需双方商定
警告一一本文件规定的一些试验过程可能导致危险情况,使用者应采取适当的安全和健康防护措施。
5.1一般规定
试验方法所用试剂和水在没有注明其他要求时,均指确认为分析纯的试剂和GB/T6682中规定的三级水。试验方法所用标准溶液、制剂及制品,在没有注明其他要求时,均按GB/T601、GB/T603规定制备。
5.2氧+氩、氮、一氧化碳、二氧化碳、六氟化硫、六氟乙烷、八氟丙烷、三氟一氯甲烷、三氟甲烷含量5.2.1测定方法
按GB/T28726规定的切割(除)进样的方法测定四氟甲烷中的氧+氩、氮、一氧化碳、二氧化碳、六氟化硫、六氟乙烷、八氟丙烷、三氟一氯甲烷、三氟甲烷含量。允许采用其他等效的方法测定四氟甲烷中的氧+氩、氮、一氧化碳、二氧化碳、六氟化硫、六氟乙烷、八氟丙烷、三氟一氯甲烷、三氟甲烷含量。当对测定结果有异议时,以本文件规定的方法为仲裁方法。5.2.2预分离柱
预分离柱I:长约2m、内径约3mm的不锈钢管,内装粒径为0.15mm~0.18mm的一种改性碳分子筛(CST),或其他等效预分离柱。预分离柱II:长约5m、内径约3mm的不锈钢管,内装粒径为0.18mm~0.25mm的一种高分子聚合物(PorapakQ),或采用其他等效预分离柱。2
5.2.3色谱柱
GB/T43976—2024
色谱柱I:长约3m、内径约3mm的不锈钢管,内装粒径为0.15mm~0.18mm的5A分子筛,或其他等效色谱柱。该柱用于测定氧+氩、氮、一氧化碳含量。色谱柱I:长约7m、内径约3mm的不锈钢管,内装粒径为0.18mm~0.25mm的一种高分子聚合物(PorapakQ),或其他等效色谱柱。该柱用于测定二氧化碳、氧化亚氮、六氟化硫含量。色谱柱II:长约50m、内径0.32mm、内涂键合硅胶的毛细柱,或其他等效色谱柱。该柱用于测定六氟乙烷、八氟丙烷、三氟一氯甲烷、三氟甲烷。5.2.4标准样品
标准样品中组分含量(体积分数)为1×10-6~5×10-6,平衡气为氢。5.3水分含量
按GB/T5832.3的规定执行。可采用其他等效的方法测定四氟甲烷中水分含量。当对测定结果有异议时,以GB/T5832.3规定的方法为仲裁方法。5.4酸度(以HF计)
5.4.1方法提要
使试样气化,鼓泡进入盛有水的多孔式气体洗瓶中,吸收样品中的酸性物质,以溴甲酚绿为指示剂,用氢氧化钠标准滴定溶液滴定,计算得到酸度(以HF计)。5.4.2试剂和材料
5.4.2.1氢氧化钠标准滴定溶液:c(NaOH)=0.011mol/L。
5.4.2.2溴甲酚绿指示液:5g/L。5.4.3仪器设备
取样钢瓶:316L不锈钢材质,500mL或1000mL。5.4.3.1
5.4.3.2控制阀:316L不锈钢材质的两通阀。5.4.3.3多孔式气体洗瓶:250mL。5.4.3.4微量滴定管:2mL或5mL,最小分度值为0.01mL。5.4.3.5电子天平:最大秤量不小于3000g,精度为0.1g。5.4.4测定步骤
按图1安装酸度测定装置。
5.4.4.2在4个多孔式气体洗瓶(以下简称“气体洗瓶”)中各加入100mL水。5.4.4.3准确称量装有四氟甲烷样品的取样钢瓶和控制阀的初始质量m15.4.4.4将四氟甲烷样品于15min~20min内连续鼓泡通过4个气体洗瓶,放出约100g试样,停止吸收。准确称量取样钢瓶和控制阀的终止质量mz。5.4.4.5将第3个和第4个气体洗瓶中的溶液分别移入两个锥形瓶,各加入1滴2滴溴甲酚绿指示液,第3个气体洗瓶对应的锥形瓶中指示液的颜色不应浅于第4个气体洗瓶对应的锥形瓶中指示液的颜色,继续下述步骤(5.4.4.6),否则重做5.4.4.6将第1个和第2个气体洗瓶的溶液合并到另一锥形瓶中,并加入溴甲酚绿指示液2滴GB/T43976—2024
4滴,用氢氧化钠标准滴定溶液滴定至蓝色为终点,氢氧化钠标准滴定溶液的消耗量为V1。同时将第3个和第4个气体洗瓶对应的锥形瓶中的溶液合并,作为空白试验溶液,氢氧化钠标准滴定溶液的消耗量为V。。
标引序号说明:
-取样钢瓶;
2—控制阀;
3—聚乙烯管:
4一一多孔式气体洗瓶
图1酸度测定装置示意图
5.4.5结果计算
酸度w(以HF计)的质量分数,按公式(1)计算:c(V, V. )MμF
(m, #) × 1 000
式中:
氢氧化钠标准滴定溶液的浓度,单位为摩尔每升(mol/L);4
一试料消耗氢氧化钠标准滴定溶液体积的数值,单位为毫升(mL);空白试验消耗氢氧化钠标准滴定溶液体积的数值,单位为毫升(mL);氟化氢的摩尔质量的数值,单位为克每摩尔(g/mol),(M初始质量,单位为克(g);
终止质量,单位为克(g)。
5.4.6允许差
g/mol);
取平行测定结果的算术平均值为测定结果。两次平行测定结果的相对偏差应不大于40%。5.4.7其他等效方法
允许采用其他等效的方法测定四氟甲烷的酸度。当测定结果有异议时,以本文件规定的方法为仲裁方法。
5.5杂质总含量
杂质总含量按公式(2)计算:
式中:
qs=qi+qz+qa+q4+9s+9+q
(氧+氩)含量(体积分数),10-°中2一氮含量(体积分数),10~6;oa-
氧化碳含量(体积分数),10-。;二氧化碳含量(体积分数),10~。;中a一一六氟化硫含量(体积分数),10-。Φa一一其他卤代化合物含量(体积分数),10~。pr-
水分含量(体积分数),10-5;杂质总含量(体积分数),10-6。5.6四氟甲烷纯度
四氟甲烷纯度按公式(3)计算:
g=100-pg×10~*
式中:
四氟甲烷纯度(体积分数),10-2。6
检验规则
6.1抽样、判定和复验
6.1.1组批
GB/T43976—2024
.......(2)
同一生产线连续稳定生产的瓶装四氟甲烷产品为一批;或以一贮槽、一槽车装产品为一批数值修约
数值修约应按GB/T8170中规定的修约值比较法进行。6.1.3瓶装四氟甲烷的抽样、判定和复验6.1.3.1应逐一检验(氧+氩)含量、氮含量、水分含量,当检验结果不符合表1规定时,则判该产品不合格。
6.1.3.2表1中所列出的除(氧+氩)含量、氮含量、水分含量之外的其余杂质含量应按表2规定的抽样数量随机抽样检验。当检验结果符合表1的技术要求时,则判该批产品合格。当检验结果不符合表1技术要求时,则应自同批产品中重新加倍随机抽样检验,若检验结果符合表1技术要求时,则判除不合格的那瓶产品外,该批产品合格;若检验结果仍不符合表1技术要求时,则判该批产品不合格表2瓶装四氟甲烷抽样表
单位为瓶
每批气瓶数
最少抽样气瓶数
GB/T43976—2024
6.1.4贮槽装及槽车装四氟甲烷的抽样、判定对于贮槽装及槽车装四氟甲烷产品,应逐一检验并验收。当检验结果不符合表1规定时,则判该产品不合格。
6.2采样
四氟甲烷的采样安全应符合GB/T3723中的规定。6.3尾气处理
测定时,应有四氟甲烷尾气处理措施,以防止四氟甲烷对环境的污染。7标志、包装、运输、贮存及安全信息7.1标志
7.1.1四氟甲烷出厂时应有产品质量合格证,其内容至少应包括:一一产品名称,生产厂名称,危险化学品生产许可证编号;一生产日期或批号,以及失效日期;一充装质量(kg);
一本文件标准编号及四氟甲烷的纯度,7.1.2包装容器上应涂刷“电子级四氟甲烷”字样。7.1.3四氟甲烷的包装标志应符合GB190的规定,颜色标志应符合GB/T7144GB15258和GB/T16804的规定。
7.2包装、运输及贮存
7.2.1包装四氟甲烷的气瓶应符合GB/T5099(所有部分)和GB/T33145的规定,标签应符合
的规定。
7.2.2四氟甲烷的充装、运输及贮存应符合GB/T14193、TSGR0005、TSG
07和TSG23的规定,充
装、运输及贮存的安全管理要求见《危险化学品安全管理条例》和《特种设备安全监察条例》。7.2.3四氟甲烷的最大充装量按公式(4)计算:m=F,xV
++++++++*(4)
式中:
m一一气瓶内四氟甲烷的质量,单位为千克(kg);F,—四氟甲烷的充装系数,单位为千克每升(kg/L);V—气瓶标明的内容积,单位为升(L)。注:F,=0.7kg/L(气瓶公称压力20.0MPa)。7.2.4宜使用进行内表面处理的气瓶,处理后的气瓶应符合本文件的规定。瓶阀出气口连接方式宜使用DISS716或CGA580。
7.2.5应防止泄漏和瓶口被污染。7.2.6四氟甲烷产品应存放在阴凉、干燥、通风的库房内,应远离热源,不应暴晒。7.3安全信息
四氟甲烷的安全信息应符合附录A的规定。6
A.1基本信息
附录A
(规范性)
安全信息
A.1.1化学式:CF;中文名:四氟甲烷;英文名:TetrafluoromethaneA.1.2相对分子质量:88.005(按2018年国际相对原子质量计算)。A.1.3CAS号:75-73-0:UN危险货物编号:1982GB/T43976—2024
A.1.4物理性质:沸点一127.8℃,熔点一183.6℃,临界温度一45.65℃,临界压力3740kPa,临界密度0.6285g/cm2;相对蒸气密度3.04(空气=1);蒸气密度3.688kg/m3(15℃,1A.2危险性说明
atm)。
四氟甲烷是无色无味的高压液化气体,液态迅速蒸发可能造成冻伤。一次接触后特异性靶器官毒性的危害分类为类别3,高浓度接触时有麻醉作用。接触后可引起头痛、恶心和呕吐。A.3操作注意事项
A.3.1生产过程密闭操作,生产装置全面通风。操作人员应经过专门培训,严格遵守操作规程。A.3.2应远离热源、热表面。
A.4紧急情况应对措施
发生火灾时,切断气源。消防人员应佩戴空气呼吸器,在上风向灭火。尽可能将容器从火场移至空旷处。
A.4.2灭火剂宜用干粉、二氧化碳、水。A.4.3如果误吸入四氟甲烷,迅速脱离现场至空气新鲜处,保持呼吸道通畅。如呼吸困难,给氧。如呼吸停止、心跳停止,立即进行心肺复苏术,并就医。A.5泄漏处理处置
尽可能切断泄漏源。
A.5.2根据气体的影响区域划定警戒区,无关人员从侧风、上风向撤离至安全区应急处理人员应佩戴内置正压自给式呼吸器A.5.3
A.5.4有液化气体泄漏,应注意防冻伤。如果发生冻伤,对冻伤部位给予温水解冻,确保受伤人员冷静及温暖。
隔离泄漏区直至气体散尽。
贮存注意事项
贮存于阴凉、干燥、通风良好的库房。应远离热源、热表面。A.6.2
防止阳光直射。
废弃处置说明
处置前应参阅国家和地方有关法规,宜将剩余的和未回收的废弃物交给有资质的单位处理。A.7.2
处置废弃的四氟甲烷时,不应直接排放。
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