GB/T 43603.1-2023
基本信息
标准号： GB/T 43603.1-2023
中文名称：镍铂靶材合金化学分析方法 第1部分:铂含量的测定 电感耦合等离子体原子发射光谱法
标准类别：国家标准(GB)
英文名称：Methods for chemical analysis of nickel-platinum target alloys—Part 1:Determination of platinum content—Inductively coupled plasma atomic emission spectrometry
标准状态：现行
发布日期：2023-12-28
实施日期：2024-07-01
出版语种：简体中文
下载格式：.pdf .zip
下载大小：3450014
相关标签： 靶材 合金 化学分析 方法 含量 测定 电感 耦合 等离子体 原子 发射光谱
标准分类号
标准ICS号：冶金>>金属材料试验>>77.040.30金属材料化学分析
中标分类号：冶金>>金属化学分析方法>>H15贵金属及其合金分析方法
关联标准
出版信息
出版社：中国标准出版社
页数：12页
标准价格：29.0
相关单位信息
起草人：赵万春、李秋莹、闻明、朱武勋、何姣、方海燕、杨晓滔、胡胭脂、许丽娟、马晓玉、黄晓玲、胡梦桥、简莉婷、罗海霞、吴豫强、魏文、黄世明、傅晓琴、阮桂色、龙秀甲、曾静、廖彬玲、梁任佳、邹积英、田志童
起草单位：贵研铂业股份有限公司、贵研检测科技(云南)有限公司、深圳市中金岭南有色金属股份有限公司、北京有色金属与稀土应用研究所有限公司、有研亿金新材料有限公司、国标(北京)检验认证有限公司、紫金矿业集团股份有限公司、北矿检测技术股份有限公司等
归口单位：全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)
提出单位：中国有色金属工业协会
发布部门：国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
标准简介
本文件描述了镍铂靶材合金中铂含量的测定方法。
本文件适用于镍铂靶材合金中铂含量的测定。测定范围(质量分数)：1.00%~15.00%。
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标准内容
ICS77.040.30
CCSH15
中华人民共和国国家标准
GB/T43603.1—2023
镍铂靶材合金化学分析方法
第1部分：铂含量的测定
电感耦合等离子体原子发射光谱法Methodsforchemical analysisofnickel-platinumtargetalloys-Part 1:Determination of platinum contentInductively coupled plasmaatomic emission spectrometry2023-12-28发布
国家市场监督管理总局
国家标准化管理委员会
2024-07-01实施
GB/T43603.1-2023
本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起草。
本文件是GB/T43603《镍铂靶材合金化学分析方法》的第1部分。GB/T43603已经发布了以下部分：
第1部分：铂含量的测定电感耦合等离子体原子发射光谱法；第2部分：镁、铝、钛、钒、铬、锰、铁、钻、铜、锌、锆、银、钯、锡、、铅、硅含量的测定电感耦合
等离子体质谱法；
第3部分：碳含量的测定
高频红外检测法
请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。本文件由中国有色金属工业协会提出。本文件由全国有色金属标准化技术委员会（SAC/TC243)归口。本文件起草单位：贵研铂业股份有限公司、贵研检测科技（云南）有限公司、深圳市中金岭南有色金属股份有限公司、北京有色金属与稀土应用研究所有限公司、有研亿金新材料有限公司、国标（北京）检验认证有限公司、紫金矿业集团股份有限公司、北矿检测技术股份有限公司、中铝郑州有色金属研究院有限公司、大冶有色设计研究院有限公司、中国检验认证集团广西有限公司、紫金铜业有限公司、金川集团股份有限公司。
本文件主要起草人：赵万春、李秋莹、闻明、朱武勋、何姣、方海燕、杨晓滔、胡胭脂、许丽娟、马晓玉、黄晓玲、胡梦桥、简莉婷、罗海霞、吴豫强、魏文、黄世明、傅晓琴、阮桂色、龙秀甲、曾静、廖彬玲、梁任佳、邹积英、田志童。
GB/T43603.1—2023
镍铂靶材合金广泛应用于半导体工业，是保证半导体器件性能和发展半导体技术的关键材料，不同铂含量的镍铂靶材合金具有特殊的组织和性能，在半导体制造工艺中发挥了重要作用，而镍铂靶材合金的杂质成分直接关系镍铂靶材合金的溅射性能。因此，镍铂靶材合金的化学成分分析显得尤为重要：GB/T43603根据检测对象和检测手段的不同，拟由三个部分构成第1部分：铂含量的测定电感耦合等离子体原子发射光谱法。目的在于规定镍铂靶材合金中铂含量测定的电感耦合等离子体原子发射光谱法及适用的测定范围第2部分：镁、铝、钛、钒、铬、锰、铁、钴、铜、锌、锆、银、钯、锡、铅、硅含量的测定电感耦合等离
子体质谱法。目的在于规定镍铂靶材合金中镁、铝、钛、钒、铬、锰、铁、钻、铜、锌、锆、银、钯、锡、、铅、硅含量测定的电感耦合等离子体质谱法及适用的测定范围。一第3部分：碳含量的测定高频红外检测法。目的在于规定镍铂靶材合金中碳含量测定的高频红外检测法及适用的测定范围上述各部分文件通过明确适用范围、规范试剂、材料、试验设备和步骤，并经过多家实验室反复试验和验证给出精密度数据，增强了不同实验室之间数据的一致性和可比性，为检验镍铂靶材合金的品质建立严谨、规范的标准化基础。
镍铂靶材合金化学分析方法
第1部分：铂含量的测定
电感耦合等离子体原子发射光谱法GB/T43603.1-2023
警示一一使用本文件的人员应有正规实验室工作的实践经验。本文件并未指出所有可能的安全问题。使用者有责任采取适当的安全和健康措施，并保证符合国家有关法规规定的条件。1范围
本文件描述了镍铂靶材合金中铂含量的测定方法。本文件适用于镍铂靶材合金中铂含量的测定。测定范围（质量分数）：1.00%～15.00%。2规范性引用文件
下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件：不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。
数值修约规则与极限数值的表示和判定GB/T8170
GB/T17684贵金属及其合金术语
术语和定义
GB/T17684界定的术语和定义适用于本文件。4原理
试料用盐酸-硝酸溶解，以亿（Y371.029nm）为内标，于稀盐酸介质中，用电感耦合等离子体原子发射光谱仪测定，计算铂的质量分数。5
试剂或材料
除非另有说明，分析中仅使用确认为分析纯的试剂和去离子水。5.1硝酸（p=1.42g/mL）。
5.2盐酸（p=1.19g/mL）。
5.3盐酸（1+9）。
5.4铂标准贮存溶液：称取0.1000g金属铂（wp≥99.99%），置于100mL烧杯中，加入6mL盐酸（5.2）、2mL硝酸（5.1）置于电热板上，低温加热溶解完全，冷却至室温，移人100mL容量瓶中，加入10mL盐酸（5.2）.用水稀释至刻度，混匀。此溶液1mL含1.0mg铂。5.5内标溶液：称取1.2700g三氧化二亿（wy0≥99.99%），置于100mL烧杯中，加人30mL盐酸（5.2）置于电热板上，低温加热溶解完全，冷却至室温。移入500mL容量瓶中，加人50mL盐酸1
GB/T43603.1—2023
（5.2）.用水稀释至刻度，混匀。此溶液1mL含2.0mg、5氟气（质量分数≥99.99%）。
6仪器设备
电感耦合等离子体原子发射光谱仪（工作参数见附录A）。在仪器最佳工作条件下凡是能达到下列指标者均可使用：一光源：氩等离子体光源，发生器最大输出功率不小于1.30kW：一分辨率：200nm时光学分辨率不大于0.010nm；400nm时光学分辨率不大于0.020nm；一仪器稳定性：仪器1h内漂移不大于2.0%。7试样
试样（钻屑或薄片）加工成碎屑，用丙酮去除油污，用水洗净、烘干、混匀。8试验步骤
8.1试料
称取0.10g试样，精确至0.0001g。8.2
测定次数
独立地进行两次测定，取其平均值。8.3
空白试验
随同试料做空白试验。
分析试液制备
将试料（8.1）置于100mL烧杯中，加6mL盐酸（5.2）、2mL硝酸（5.1）置于电热板上，低温加热，溶解完全后，冷却至室温，当铂质量分数小于等于5%时，用水移入100mL容量瓶中，加人5mL盐酸（5.2），1mL内标溶液（5.5），用水稀释至刻度，混匀。当铂质量分数大于5%时，用水移人250mL容量瓶中，加人20mL盐酸（5.2），2.50mL亿内标溶液（5.5），用水稀释至刻度，混匀。5工作标准溶液的配制
移取0mL、1.00mL、2.00mL、5.00mL、10.00mL、15.00mL铂标准贮存溶液（5.4）.置于一组200mL容量瓶中，加入2.00.mL亿内标溶液（5.5），用盐酸（5.3）定容至刻度.混匀，得到铂的工作标准溶液为0μg/mL、5.00μg/mL、10.00μg/mL、25.00μg/mL、50.00μg/mL、75.00μg/mL。8.6测定
8.6.1于电感耦合等离子体原子发射光谱仪上，在仪器运行稳定后，在选定的仪器工作条件下，用配制好的铂工作标准溶液（8.5），进行标准化或校准标准工作曲线，工作曲线线性相关系数应在0.9998以上，否则需要重新进行标准化或重新配制工作标准溶液进行标准化。8.6.2测试分析试液（8.4），仪器根据标准工作曲线，自动进行数据处理，计算并输出铂元素含量。2
试验数据处理
镍铂靶材合金中铂含量用质量分数证p表示，按公式（1)计算：(ppi)xv
式中：
试料溶液中被测元素铂的质量浓度，单位为微克每毫升（ug/mL）；Pi———空白溶液中被测元素铂的质量浓度，单位为微克每毫升（μg/mL)；V——测定溶液的体积，单位为毫升（mL）；m
一试料质量，单位为克（g）。
数据处理应符合GB/T8170数值修约规则与极限数值的表示和判定。计算结果保留至小数点后两位有效数字。10精密度
重复性
GB/T43603.1—2023
....（1
在重复性条件下获得的两个独立测试结果的测定值，在表1给出的平均值范围内，这两个测试结果的绝对差值不超过重复性限（），超过重复性限（r）的情况不超过5%。重复性限（r）按表2数据采用线性内插法或外延法求得。精密度试验原始数据见附录B。表1
10.2再现性
重复性限
在再现性条件下获得的两个独立测试结果的测定值，在表2给出的平均值范围内·这两个测试结果的绝对差值不超过再现性限（R），超过再现性限（R）的情况不超过5%。再现性限（R）按表3采用线性内插法获得。精密度试验原始数据见附录B。表2再现性限
试验报告
试验报告至少应给出以下几个方面的内容：试样；
本文件编号；
GB/T43603.1—2023
分析结果及其表示；
一与基本分析步骤的差异；
—测定中观察到的异常现象；
试验日期。
附录A免费标准下载网bzxz
（资料性）
电感耦合等离子体原子发射光谱仪工作条件GB/T43603.1—2023
使用电感耦合等离子体原子发射光谱仪测定镍铂靶材合金中铂含量，仪器工作条件见表A.1和表A.2。
雾化室气流量
观测高度
波长/nm
泵流量
mL/min
仪器工作参数
等离子体流量
推荐的分析线
辅助气体流量
积分时间
204.937、299.797、265.945
GB/T43603.1—2023
（资料性）
精密度试验原始数据
精密度数据是由12家实验室对3个不同水平试样进行共同试验确定的。每个实验室对每个铂含量在重复性条件下独立测定11次。测量的原始数据见表B1。
实验室
水平数
精密度试验原始数据
铂的质量分数wr
实验室
水平数
精密度试验原始数据
（续）
铂的质量分数m
GB/T43603.1—2023
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CCSH15
中华人民共和国国家标准
GB/T43603.1—2023
镍铂靶材合金化学分析方法
第1部分：铂含量的测定
电感耦合等离子体原子发射光谱法Methodsforchemical analysisofnickel-platinumtargetalloys-Part 1:Determination of platinum contentInductively coupled plasmaatomic emission spectrometry2023-12-28发布
国家市场监督管理总局
国家标准化管理委员会
2024-07-01实施
GB/T43603.1-2023
本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起草。
本文件是GB/T43603《镍铂靶材合金化学分析方法》的第1部分。GB/T43603已经发布了以下部分：
第1部分：铂含量的测定电感耦合等离子体原子发射光谱法；第2部分：镁、铝、钛、钒、铬、锰、铁、钻、铜、锌、锆、银、钯、锡、、铅、硅含量的测定电感耦合
等离子体质谱法；
第3部分：碳含量的测定
高频红外检测法
请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。本文件由中国有色金属工业协会提出。本文件由全国有色金属标准化技术委员会（SAC/TC243)归口。本文件起草单位：贵研铂业股份有限公司、贵研检测科技（云南）有限公司、深圳市中金岭南有色金属股份有限公司、北京有色金属与稀土应用研究所有限公司、有研亿金新材料有限公司、国标（北京）检验认证有限公司、紫金矿业集团股份有限公司、北矿检测技术股份有限公司、中铝郑州有色金属研究院有限公司、大冶有色设计研究院有限公司、中国检验认证集团广西有限公司、紫金铜业有限公司、金川集团股份有限公司。
本文件主要起草人：赵万春、李秋莹、闻明、朱武勋、何姣、方海燕、杨晓滔、胡胭脂、许丽娟、马晓玉、黄晓玲、胡梦桥、简莉婷、罗海霞、吴豫强、魏文、黄世明、傅晓琴、阮桂色、龙秀甲、曾静、廖彬玲、梁任佳、邹积英、田志童。
GB/T43603.1—2023
镍铂靶材合金广泛应用于半导体工业，是保证半导体器件性能和发展半导体技术的关键材料，不同铂含量的镍铂靶材合金具有特殊的组织和性能，在半导体制造工艺中发挥了重要作用，而镍铂靶材合金的杂质成分直接关系镍铂靶材合金的溅射性能。因此，镍铂靶材合金的化学成分分析显得尤为重要：GB/T43603根据检测对象和检测手段的不同，拟由三个部分构成第1部分：铂含量的测定电感耦合等离子体原子发射光谱法。目的在于规定镍铂靶材合金中铂含量测定的电感耦合等离子体原子发射光谱法及适用的测定范围第2部分：镁、铝、钛、钒、铬、锰、铁、钴、铜、锌、锆、银、钯、锡、铅、硅含量的测定电感耦合等离
子体质谱法。目的在于规定镍铂靶材合金中镁、铝、钛、钒、铬、锰、铁、钻、铜、锌、锆、银、钯、锡、、铅、硅含量测定的电感耦合等离子体质谱法及适用的测定范围。一第3部分：碳含量的测定高频红外检测法。目的在于规定镍铂靶材合金中碳含量测定的高频红外检测法及适用的测定范围上述各部分文件通过明确适用范围、规范试剂、材料、试验设备和步骤，并经过多家实验室反复试验和验证给出精密度数据，增强了不同实验室之间数据的一致性和可比性，为检验镍铂靶材合金的品质建立严谨、规范的标准化基础。
镍铂靶材合金化学分析方法
第1部分：铂含量的测定
电感耦合等离子体原子发射光谱法GB/T43603.1-2023
警示一一使用本文件的人员应有正规实验室工作的实践经验。本文件并未指出所有可能的安全问题。使用者有责任采取适当的安全和健康措施，并保证符合国家有关法规规定的条件。1范围
本文件描述了镍铂靶材合金中铂含量的测定方法。本文件适用于镍铂靶材合金中铂含量的测定。测定范围（质量分数）：1.00%～15.00%。2规范性引用文件
下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件：不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。
数值修约规则与极限数值的表示和判定GB/T8170
GB/T17684贵金属及其合金术语
术语和定义
GB/T17684界定的术语和定义适用于本文件。4原理
试料用盐酸-硝酸溶解，以亿（Y371.029nm）为内标，于稀盐酸介质中，用电感耦合等离子体原子发射光谱仪测定，计算铂的质量分数。5
试剂或材料
除非另有说明，分析中仅使用确认为分析纯的试剂和去离子水。5.1硝酸（p=1.42g/mL）。
5.2盐酸（p=1.19g/mL）。
5.3盐酸（1+9）。
5.4铂标准贮存溶液：称取0.1000g金属铂（wp≥99.99%），置于100mL烧杯中，加入6mL盐酸（5.2）、2mL硝酸（5.1）置于电热板上，低温加热溶解完全，冷却至室温，移人100mL容量瓶中，加入10mL盐酸（5.2）.用水稀释至刻度，混匀。此溶液1mL含1.0mg铂。5.5内标溶液：称取1.2700g三氧化二亿（wy0≥99.99%），置于100mL烧杯中，加人30mL盐酸（5.2）置于电热板上，低温加热溶解完全，冷却至室温。移入500mL容量瓶中，加人50mL盐酸1
GB/T43603.1—2023
（5.2）.用水稀释至刻度，混匀。此溶液1mL含2.0mg、5氟气（质量分数≥99.99%）。
6仪器设备
电感耦合等离子体原子发射光谱仪（工作参数见附录A）。在仪器最佳工作条件下凡是能达到下列指标者均可使用：一光源：氩等离子体光源，发生器最大输出功率不小于1.30kW：一分辨率：200nm时光学分辨率不大于0.010nm；400nm时光学分辨率不大于0.020nm；一仪器稳定性：仪器1h内漂移不大于2.0%。7试样
试样（钻屑或薄片）加工成碎屑，用丙酮去除油污，用水洗净、烘干、混匀。8试验步骤
8.1试料
称取0.10g试样，精确至0.0001g。8.2
测定次数
独立地进行两次测定，取其平均值。8.3
空白试验
随同试料做空白试验。
分析试液制备
将试料（8.1）置于100mL烧杯中，加6mL盐酸（5.2）、2mL硝酸（5.1）置于电热板上，低温加热，溶解完全后，冷却至室温，当铂质量分数小于等于5%时，用水移入100mL容量瓶中，加人5mL盐酸（5.2），1mL内标溶液（5.5），用水稀释至刻度，混匀。当铂质量分数大于5%时，用水移人250mL容量瓶中，加人20mL盐酸（5.2），2.50mL亿内标溶液（5.5），用水稀释至刻度，混匀。5工作标准溶液的配制
移取0mL、1.00mL、2.00mL、5.00mL、10.00mL、15.00mL铂标准贮存溶液（5.4）.置于一组200mL容量瓶中，加入2.00.mL亿内标溶液（5.5），用盐酸（5.3）定容至刻度.混匀，得到铂的工作标准溶液为0μg/mL、5.00μg/mL、10.00μg/mL、25.00μg/mL、50.00μg/mL、75.00μg/mL。8.6测定
8.6.1于电感耦合等离子体原子发射光谱仪上，在仪器运行稳定后，在选定的仪器工作条件下，用配制好的铂工作标准溶液（8.5），进行标准化或校准标准工作曲线，工作曲线线性相关系数应在0.9998以上，否则需要重新进行标准化或重新配制工作标准溶液进行标准化。8.6.2测试分析试液（8.4），仪器根据标准工作曲线，自动进行数据处理，计算并输出铂元素含量。2
试验数据处理
镍铂靶材合金中铂含量用质量分数证p表示，按公式（1)计算：(ppi)xv
式中：
试料溶液中被测元素铂的质量浓度，单位为微克每毫升（ug/mL）；Pi———空白溶液中被测元素铂的质量浓度，单位为微克每毫升（μg/mL)；V——测定溶液的体积，单位为毫升（mL）；m
一试料质量，单位为克（g）。
数据处理应符合GB/T8170数值修约规则与极限数值的表示和判定。计算结果保留至小数点后两位有效数字。10精密度
重复性
GB/T43603.1—2023
....（1
在重复性条件下获得的两个独立测试结果的测定值，在表1给出的平均值范围内，这两个测试结果的绝对差值不超过重复性限（），超过重复性限（r）的情况不超过5%。重复性限（r）按表2数据采用线性内插法或外延法求得。精密度试验原始数据见附录B。表1
10.2再现性
重复性限
在再现性条件下获得的两个独立测试结果的测定值，在表2给出的平均值范围内·这两个测试结果的绝对差值不超过再现性限（R），超过再现性限（R）的情况不超过5%。再现性限（R）按表3采用线性内插法获得。精密度试验原始数据见附录B。表2再现性限
试验报告
试验报告至少应给出以下几个方面的内容：试样；
本文件编号；
GB/T43603.1—2023
分析结果及其表示；
一与基本分析步骤的差异；
—测定中观察到的异常现象；
试验日期。
附录A免费标准下载网bzxz
（资料性）
电感耦合等离子体原子发射光谱仪工作条件GB/T43603.1—2023
使用电感耦合等离子体原子发射光谱仪测定镍铂靶材合金中铂含量，仪器工作条件见表A.1和表A.2。
雾化室气流量
观测高度
波长/nm
泵流量
mL/min
仪器工作参数
等离子体流量
推荐的分析线
辅助气体流量
积分时间
204.937、299.797、265.945
GB/T43603.1—2023
（资料性）
精密度试验原始数据
精密度数据是由12家实验室对3个不同水平试样进行共同试验确定的。每个实验室对每个铂含量在重复性条件下独立测定11次。测量的原始数据见表B1。
实验室
水平数
精密度试验原始数据
铂的质量分数wr
实验室
水平数
精密度试验原始数据
（续）
铂的质量分数m
GB/T43603.1—2023
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