本标准规定了测量金属覆盖层厚度的轮廓尺寸方法。本标准适用于测量从0.01~1000μm厚度的金属覆盖层厚度，尤其适合测量薄覆盖层厚度；当厚度小于0.01μm时，则对工件表面的平直度、平滑度要求很高，测量厚度较困难。本方法适用于制备覆盖层厚度标准块的厚度测量。 GB/T 11378-1989 金属覆盖层厚度 轮廓尺寸测量方法 GB/T11378-1989 标准下载解压密码：www.bzxz.net
本标准规定了测量金属覆盖层厚度的轮廓尺寸方法。本标准适用于测量从0.01~1000μm厚度的金属覆盖层厚度，尤其适合测量薄覆盖层厚度；当厚度小于0.01μm时，则对工件表面的平直度、平滑度要求很高，测量厚度较困难。本方法适用于制备覆盖层厚度标准块的厚度测量。

中华人民共和国国家标准
金属覆盖层厚度
轮廓尺寸测量方法
Metallic coatings. Measurement ofcoating thickness-Profilometric methodGB 118T 889
本标准等效采用国际标准1S01518--1980《金属覆盖层厚度轮哪小测量方法》。主题内容及适用范围
本标准舰定了测量金属覆盖层厚度的轮廊尺寸方法。本标准适月于测虽从1.01～1000μm厚度的金属覆盖层厚度，尤其适合测量薄盖层厚度，当厚度小于0.01m时，则对件表面的平直度，平滑度要求很底，泌最原度较困难。本方法适用于制备覆盖层厚度标准扶的厚度测虽2 引用标准
GB 61轮廓法测过表而粗糙度的仪器术语GB62轮法触针式表面粗糙度测量仪轮记录仪及中线制轮翰计GB4953金属覆盖层厚度测量阳极溶解库仑方法3原理
通过溶解部分覆盖层或者先遮蔽一部分基体再镀覆，使基体与覆益层形成了个台阶，再用轮廊证录仪测量台阶高度。此高度即为会属覆盖层博度。4测试仪器
下列两种类型的轮率记求仪都可使用4.1电子触针式仪器，即发面分析仪和表面轮仪，通常用十测量表面粗糙度，但本标准是用它记录台阶的轮豌。它们以下测量特性：测量长度
测厚度范围
分辩率（据测量范面定）
4.2电感比较仪
它的浏量特性如下：
测量长度
测氧原度范划
分熟率（根据测鼠范围而定）
采用说：
1 150 45184: 30. 01115 ~ 1 μm 。国家技术监督局1989-06-29批准1 -100mm
0.15～250μm
0. 005 ~1μmll
1 ~100μm
4, 02 ~ 20μm
1990-01-01实施
5测量方法
5.1制备台阶
GB 1137889
通过去除一部分履盖层以制备台阶。制备台阶要求基体和阶顶部不受损伤和腐蚀，而台阶底部应无任何覆盖层痕迹。制备台阶方法如下。5.1.1采用合适材料遮蔽除济解面积外的全旬覆盖。再对基体不腐蚀的合适试剂溶解未遮蔽的覆盖层，最后志除全部遮蔽材料。
5.1.2用GB1955中所用的电解池滚解掉一小面积覆盖层。若触针单方向横穿小电解池所形成圆坑的径，可以役到两个台阶的轮廊。在1cm的正方形内除掉四个小圆面积的覆盖层。再记求正方形由靠近每一角的台阶轮瞩（见图1)），测量出台阶高度。
5.1.3有时，台阶叫通过在覆前遮蔽一部分些体而制得。所迦蔽面烈直径约为1～2mm，使所形成的边界不会妨碍谢最。
5.2轮证求
根据仪器和工件情况确定操作参数，要特别汁意第6童阅述的影响测量精度的内素，按照仪器的操作说证录轮廓。
5.3厚度测量
根据台阶顶部利底部的两条轮郭记录线，描间出各自的中线，择将它们延伸，使条中在另一条中线正上方，测出台阶点处二条中线间距离作为台阶高度，即接盖层厚度。在进行此种测量时，应避免边界效应，还应考虑沿丹猫轮廓上覆盖层厚度的变化。5.4测量精度
仪器的校和操作成使覆盖2厚度测量精度在10以成u.005μm（两著取误差较大值）范南内。6影响精度的有关因素
6.1轮廓记录
因为厚度的测量是在被记录的轮廓上进行，因此行一个合适的放大倍数下，如果不能正确描画出台阶，测虽误差就增大。不谁确的记录可能足由于记录仪质量本好或调节不为造成的。6.2垂自放大倍数
如果垂直放人停数太低，测量精度就差，此时应诞整，按照台阶轮廓记录在证求纸上最佳宽度选择放人倍数。
6.$图形测量
如果测试平血与仪器基准表而不平行，水平方而轮记录与记录纸坐标格是频斜的，台阶的年直部分也是锁余的。当然，对选取的某些垂直和水平放大倍数、触针半径和阶高度（即厚度）的组合，它也可重直于记录纸的坠标格。当轮廓倾斜时，如果对水平放大伴数堆直放大赔数不做适当调整，测量轮廓中线间垂百距离时逛常会册现误差。GB 11378—89
为了避免这些误差或额外的数学运算，仪器基准面与测试面应足行的，这可用合适的夹具和装配做到。
6.4测量力的大小
如果作用」触针上的测量力太大，触针会造成刮伤或变形，可能引进測量误差，故应使测量力保持最小值，般不应超过附求A中表A1所给的合理值。6.5触针的直径和表面粗糙度
对粗糙平面使用大直径触针比较合宜。如果此时使用小点径触针，因所记求的台阶的顶部和底部轮廓线线不易确定，台阶的高度很难精确测量。对基休与爱盖层柜糙度不同的表而使用小直径触针误差较小，如果此时使用人直径触针，所记求的台阶轮廓带带失真，原因是由于两表面上轮摩峰水间距不同，触针在个表面上比另：个表面［易处1高点位置。
配备电子滤波器的小直径触针，可状得半滑的轮廓，但台阶轮廊的拐角可能变圆了。原则上所记录的基体雄糙度（表葡轮廓峰至容的高度）不应超过台阶高度的10%。6.6搬动
振动会导致记录的轮廓产生不规则性或1扰，使进行精密测量困难。应将仪器与振源隔离，使其影响减至最小。原则上，峰至谷的高度不应超过台阶高度的10%。6.7表面曲率
表面曲率会妨碍台阶轮廓的精确测，故成尽可能在平的表而上进行测量。如果是在弯曲的表！进行测量，记求针的移动应在最小的曲率方向，例如在圆佳体的表而上进行测融时，记录针应在轴线的行方向上移动。
6.善清洁度
任何附着物，如灰尘，油脂以及腐蚀物均会导致错漠的测是。故对待测的表而应做清洁处匣，实验室的空气应基本上洁净无粉尘。6.9温度
温度的变化会影响测意。因此，案内温度虚保持均习，稳。6.10台阶形状
如果制作的台阶不好（例如棱角过圆），由于台阶项部与底部的平面高度不易确定，给精密测量带来困，故台阶应精细制作。
6.11基准面
采用两种基准面：种是跨骑在试样表面上的圆形导以在试样波哗上滑行形成的基准面，·种是山仪器基准附件提供的基准面，它不依赖」试样，是：个与试样轮廊相似的标称形状的辅助导面。当触针随其托架沿基准面滑行时，触针相对于落准面的点运动就被记求仪！求下来。轮摩记录的可靠性决定下基准前的质球（半滑度和平直度）。。6.12校准
厚度测量误差不会小于仪器的校准误差利用来校准仪器的标准台阶高度的误差。因校准后可能发生变化，收需经带校准，校准次数根括经验而定。即使纽心地校正仪器，因仪器的非线性特性，还可能有2%的误差，为使此误差最小，仪器可在靠近待测台阶商度两边的两点进行校准。7校准
7.1应根据仪器说明书校准仪器，并适当考虑第6商中划举的影响因繁。了.2用1校准仪需的标准块，其分阶高度误差应是己知的,且小」5。但是,若合阶高度小十01μm，其误差可能大大超过5%。www.bzxz.net
了.8每辆一定时间以及每当怀疑校准有变化时，就应过行重复校准（见6.12条）。A1电子触针式仪器
其志绷战如下：
GB 1137889
附录A
两种类型的轮廓记录仪
（补充件）
A1.1一个夹角为1.57弧度（90\）或1.05弧度（60~）的圆锥或角锥触针传感器，触针针尘的半径公称值为2，5、10或50μm，它与试样表面接触的最人静态测量力如丧A1所示。表Al江在触针上的静态测量力
触针针尖半择公称道，um
融针静态测射力在触计平均高
避上的最人道，（）
1.0007 (0.07)
社：1）适月7低硬度金属如辐和的数值。5
0.004 (0.4)
0.016 (1.6)
0.01 (1.0)
A1.2“一个驳动单元它使传感器沿导头移动的基准轨迹滑行。如果导头可能导致被测表面损伤或者使被测台阶变形，则传感器应沿：·个具有轮哪的标称形状基准滑行。A1.3个放大单店它使轮翻的重直波大倍数可任选1～10\间的某一档次的标称值（V）。A1.4一·个描绘放大了轮哪变化的记录仪它与移动单元联用时，可使轮的水半放大倍数任选1h～×10\间的某档次的标称值（V）A2电感比较仪
A2.1电感比较仪的设计和电子触针式仪器非常相似，主要的不间是它的触针半径大，不能描绘表面的微细轮廓。
A2.2电感比较仪1作参数典型例子如下：带有个能使被扫描的麦面作直线运动的工台，一个匹配的放大器，载性度不低于0.5%的电感比较仪采用下例工作参数：
融针半径
最大放大倍数
触针静态测量大
附加说明：
250μr
50 000X
本标准由亡华人民共和国机械电于工业部提出。本标准出金属与非金属覆盖层标准化技术委员会归11。本系准出武汉材料保护研究所负责起草。本标准主要起草人朱整牛。
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