本文件规定了激光光学用薄膜的光学性能尤其是激光功率承载能力、机械性能、化学耐受性和环境适应性等方面的基本要求。本文件适用于激光领域应用的光学薄膜。本文件既可以满足薄膜制造商选择材料和制备方法的要求，也可以使用户准确理解该薄膜产品的相关量化规定。

ICS17.180
CCSN30
中华人民共和国国家标准
GB/T26332.8—2022
光学和光子学
光学薄膜
第8部分：激光光学薄膜基本要求OpticsandphotonicsOpticalcoatings-Part 8: Minimum requirements for coatings used for laser optics（IS09211-8:2018，M0D）
2022-10-12发布
国家市场监督管理总局
国家标准化管理委员会
2023-05-01实施
GB/T26332.8—2022
规范性引用文件
术语和定义
光学性能
光学性能指标及偏离度的标识方法图示标识
材料和膜层结构
基本要求
GB/T26332.8—2022
创第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定本文件按照GB/T1.1一2020《标准化工作导则起草。
光学薄膜》的第8部分。GB/T26332已经发布了以下本文件是GB/T26332《光学和光子学部分：
一第1部分：定义；
一第2部分：光学特性；
——第3部分：环境适应性；
一第4部分：规定的试验方法；
一第5部分：减反射膜基本要求；一第6部分：反射膜基本要求；
一第7部分：中性分束膜基本要求；一第8部分：激光光学薄膜基本要求本文件修改采用ISO9211-8：2018《光学和光子学：光学薄膜第8部分：激光光学薄膜的基本要求》。
本文件与ISO9211-8：2018的技术差异及其原因如下：一在“术语和定义”的引导语中删除了关于维护ISO和IEC的“标准化术语数据库”内容（见第3章）。因为我国的国家标准中不涉及维护ISO和IEC的“标准化术语数据库”内容，因此删除该内容：
一用规范性引用的GB/T26332.1一2018代替ISO9211-1（见第3章、第4章），GB/T26332.2一2015代替ISO9211-2（见第5章），以适应我国的技术条件；因在文中引用到了具体试验方法序号，用规范性引用的GB/T26332.3一2015代替ISO9211-3，GB/T26332.4—2015代替ISO9211-4，GB/T12085.2—2010代替ISO9022-2，GB/T16601.1—2017代替ISO21254-1，GB/T16601.2—2017代替ISO21254-2,GB/T37396.1—2019代替ISO11151-1:2015，GB/T37396.2—2019代替ISO11151-2：2015，GB/T38245—2019代替ISO11551（见第8章），以适应我国的技术条件。本文件做了下列编辑性改动：
表2～表6标题中增加了波长范围，避免上下表波长范围有交叉：表2～表6中“参数/基本要求”内容中各数值前加入不等式运算符号。请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任本文件由中国机械工业联合会提出。本文件由全国光学和光子学标准化技术委员会（SAC/TC103）归口。本文件起草单位：中国科学院大连化学物理研究所、沈阳仪表科学研究院有限公司、同济大学、浙江大学、中国科学院空天信息创新研究院、中国科学院上海光学精密机械研究所、中国兵器工业标准化研究所、张家港志辰光学技术有限公司、福建福晶科技股份有限公司。本文件主要起草人：王锋、李刚、金玉奇、邓淞文、阴晓俊、高鹏、赵帅锋、程鑫彬、章岳光、麻云凤、赵元安、曲亦歆、叶小兵、陈秋华。GB/T26332.8—2022
光学薄膜元件广泛地应用于与光学和光子学相关的各类科学技术领域中，用于实现反射、分束、滤光等不同的光学功能，是光学系统中不可替代的重要组成部分。随着科技的不断进步，光学薄膜元件向着性能要求更高、需求种类更加多样化的方向发展。因此有必要针对光学薄膜技术，专门制定一套技术内容与国际接轨的国家标准。这既有利于推动我国光学薄膜行业规范有序发展，又能更好地促进相关领域的贸易、交流和技术合作。GB/T26332《光学和光子学光学薄膜》就是在这种背景下起草制定的。
GB/T26332采用国际标准ISO9211系列.拟由八个部分构成：第1部分：定义。目的在于规范与光学薄膜相关的通用术语的技术表述。一第2部分：光学特性。目的在于规范光学薄膜各类光谱特性的描述方式。一第3部分：环境适应性。目的在于确立考察光学薄膜元件环境适应性所适用的环境试验方法。一第4部分：规定的试验方法。目的在于补充规定几种环境试验方法的详细技术要求，第3部分中引用了其中的试验方法。
一一第5部分：减反射膜基本要求。目的在于确立常用减反射膜的基本要求。一一第6部分：反射膜基本要求。目的在于确立常用金属反射膜的基本要求，一一第7部分：中性分束膜基本要求。目的在于确立常用中性分束膜的基本要求第8部分：激光光学薄膜基本要求。目的在于确立常用激光光学薄膜的基本要求。GB/T26332系列标准的前四个部分描述的是光学薄膜的通用规范，其余部分针对特定应用方向的光学薄膜规定了基本的技术要求。GB/T26332.8针对的是在激光光学系统中广泛应用的激光薄膜。1范围
光学和光子学光学薄膜
第8部分：激光光学薄膜基本要求GB/T26332.8—2022
本文件规定了激光光学用薄膜的光学性能尤其是激光功率承载能力、机械性能、化学耐受性和环境适应性等方面的基本要求。
本文件适用于激光领域应用的光学薄膜。本文件既可以满足薄膜制造商选择材料和制备方法的要求，也可以使用户准确理解该薄膜产品的相关量化规定。2规范性引用文件
下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。
GB/T12085.2—2010
2:2002.MOD)
GB/T16601.1—2017
(ISO21254-1:2011,MOD)
GB/T16601.2—2017
（ISO21254-2:2011,MOD）
GB/T26332.1—2018
GB/T26332.2—2015
GB/T26332.3—2015
GB/T26332.4—2015
2012.IDT)
GB/T37396.1—2019
光学和光学仪器环境试验方法第2部分：低温、高温、湿热（1SO9022激光器和激光相关设备激光损伤阅值测试方法第1部分：定义和总则激光器和激光相关设备
光学和光子学
光学和光子学
光学和光子学
光学和光子学
光学薄膜
激光损伤阈值测试方法第2部分：阅值确定第1部分：定义（ISO9211-1：2010IDT）第2部分：光学特性（ISO9211-2：2010，IDT）光学薄膜
光学薄膜
光学薄膜
激光器和激光相关设备
光谱范围内的元件（ISO11151-1:2015，MOD）第3部分：环境适应性（ISO9211-3：2008，第4部分：规定的试验方法（ISO9211-4：标准光学元件
第1部分：紫外、可见和近红外
GB/T37396.2—2019激光器和激光相关设备标准光学元件第2部分：红外光谱范围内的元件（ISO11151-2：2015，MOD）
GB/T38245—2019光学和光学仪器激光器和激光相关设备激光光学元件吸收率测试方法
（ISO11551:2003,MOD)
1IS010110-9：2016光学和光子学光学元件和系统制图准备第9部分：表面处理与镀膜(Opticsandphotonics-Preparation of drawingsfor optical elements and systemsPart9:Surfacetreatment and coating)
ISO13696：2002光学和光学仪器光学元件散射辐射的测试方法（OpticsandopticalinstrumentsTestmethods for radiation scattered by optical components)GB/T26332.8—2022
3术语和定义
GB/T26332.1一2018界定的术语和定义适用于本文件。4光学性能
本文件适用于进行过表面处理的激光元件和基底，其指标应满足GB/T26332.1一2018的要求。元件字母代码应根据GB/T26332.1一2018缩编制，并增加首字母“L”，说明其用于激光系统。光学性能指标及偏离度的标识方法5
激光光学薄膜的光学性能和光谱特征要求的标识方法应满足GB/T26332.2—2015的规定示例1：
L-HRGB/T26332.8p(1064nm)>0.999L-ARGB/T26332.8p,(1030nm，45)<0.01对于低功率应用应增加附加符号“LOW”，详细要求见第8章。示例2：
L-HRGB/T26332.8p(633nm)>0.999LOW6图示标识
在应用本文件对图示标识时.②(ISO10110-9：2016中规定的光学薄膜符号)应与第5章中的符号标识联用。
材料和膜层结构
膜层的基本要求由激光的应用领域以及可选适用的基底和膜层材料决定。膜层材料的使用和膜层结构的设计取决手元件的工作情况，无其取决手使用波长。基本要求
本文件提出的基本要求是针对未经处理的薄膜样品。在性能测试前可以根据薄膜制造商推荐的清洁方法对薄膜表面进行清洁处理。可以商定其他要求并做记录。所有种类的元件至少应满足表1中给出的附着力、清洁度、化学稳定性、环境适应性和表面缺陷的基本要求。这些要求对于任何种类的元件均相同。薄膜样品指标应满足表2至表6中给出的各种波长范围的基本要求，且对于低功率激光和高功率激光应用有不同要求。低功率激光应用是指能量密度低于5mJ/cm或线性功率密度低于10W/cm。表2～表6中给出的损伤阅值要求仅针对高功率激光应用。如果需要，可以应用其他规格的附着力、清洁度、化学耐久性、环境耐久性和表面缺陷要求，或规定进一步的处理方法。
GB/T26332.8—2022
附着力、清洁度、化学稳定性、环境适应性和表面缺陷的基本要求特性
附着力
清洁度
化学稳定性
环境适应性
表面缺陷”
参数/基本要求
按照GB/T26332.4—2015中试验方法02进行试验，严酷等级应满足03要求清洗方法和循环次数由客户和制造商共同商定试验所用溶剂应不影响基底。
溶剂溶解度按照GB/T26332.3—2015中试验方法12-3进行试验，严酷等级应满足01要求。除丙酮和乙醇外，其他溶剂经客户和制造商双方同意方可使用。膜层附着力应满足GB/T26332.4-2015中试验方法02进行试验，严醋等级应满足01要求
条件试验方法依据GB/T12085.2—201010：低温
11：高温
13：凝露
14:温度渐变
严酷等级应满足
依据GB/T37396.1—2019和GB/T37396.2-2019表面缺陷针对的是直径为20mm的圆形测试区域。表2
高反膜
波长范围150nm≤入<200nm激光光学用薄膜的基本要求参数/基本要求
吸收率
依据GB/T38245—2019测量
高功率范围
≤2×10-
2×10-
部分反射膜、分光膜
减反射膜
高反膜
部分反射膜、分光膜
减反射膜
≤1×10-2
总散射
依据ISO13696：2002测量
高功率范围
2×10-2
2×10-2此内容来自标准下载网
1X10-2
低功率范围
3×10-2
3×10-
3×10-
低功率范围
3×10-8
3×10-
1×10-2
GB/T26332.8—2022
高反膜
波长范围150nm≤入<200nm激光光学用薄膜的基本要求（续）功能
部分反射膜、分光膜
减反射膜
激光损伤阅值
参数/基本要求
依据GB/T16601.1-2017和GB/T16601.2—2017测量1对1测试：≥1J/cm20ns
1对1测试：≥1J/cm@20ns
1对1测试：≥0.5J/cm@20ns
测试时如果激光波长、脉宽或光斑大小不一样，损伤阅值的比较可能会产生误导。尤其是损伤数据的外推可能导致计算结果错误，并高估激光损伤阅值。针对特殊重频、脉宽激光的损伤测试需求，用相应参数激光进行测试。如元件材料有毒，可能会导致严重的健康危害。GB/T16601.1—2017和GB/T16601.2—2017中给出了损伤阅值的测量单位和缩放比例的示例。表3
高反膜
波长范围200nm≤入<400nm激光光学用薄膜的基本要求参数/基本要求
吸收率
依据GB/T38245—2019测量
高功率范围
5×10-
部分反射膜、分光膜
减反射膜
高反膜
部分反射膜、分光膜
减反射膜
高反膜
部分反射膜、分光膜
减反射膜
5×10-4
5×10-
总散射
依据ISO13696：2002测量
高功率范围
5×10-3
5X10-3
5×10-3
激光损伤阅值
低功率范围
5×10-
5×10-3
5×10-3
低功率范围
1X10-2
≤1×10~2
1×10-2
依据GB/T16601.1—2017和GB/T16601.2-2017测量1对1测试：≥1J/cm@20ns
1对1测试：≥1J/em20ns
1对1测试：≥0.5J/cm@20ns
高反膜
GB/T26332.8—2022
波长范围400nm≤入<1600nm激光光学用薄膜的基本要求参数/基本要求
吸收率
依据GB/T38245
高功率范围
3X10-5
部分反射膜、分光膜
减反射膜
带通滤光膜、带阻滤
光膜（负滤光膜）
长波通滤光膜、短波
通滤光膜
偏振分束膜
相位延迟膜
高反膜
部分反射膜、分光膜
减反射膜
衰减膜
高反膜
部分反射膜、分光膜
减反射膜
3×10-5
5×10-4
≤1×10-3
1×10-3
≤210-3
2019测量
低功率范围
5×10-3
5×10-3
5×10-
≤1×10-2
1×10-2
≤5×10-3
总散射
依据ISO13696：2002测量
高功率范围
2×10-4
≤2×10-4
≤2×10-4
≤2×10-4
激光损伤阅值
低功率范围
≤1×10-2
1×10-
5×10-3
≤5×10-3
依据GB/T16601.1—2017和GB/T16601.2—2017测量1对1测试：≥20J/em@20ns
S对1测试：≥1000J/cm@400ns，1kHzS对1测试：≥0.1J/cm@150fs，1kHz1对1测试：≥20J/em@20ns
S对1测试：>1000J/cm@400ns，1kHzS对1测试：≥0.1J/em@150fs，1kHz1对1测试：≥10J/cm@20ns
S对1测试：≥500J/cm@400ns，1kHzS对1测试：≥0.1J/cm@
150fs,1kHz
GB/T26332.8—2022
高反膜
波长范围1.6μm≤a<3μm激光光学用薄膜的基本要求参数/基本要求
吸收率
依据GB/T38245—2019测量
高功率范围
5×10-
部分反射膜、分光膜
减反射膜
高反膜
部分反射膜、分光膜
减反射膜
高反膜
5×10-4
≤1X10-
激光损伤阅值
低功率范围
≤1×10-
1x10-2
1X10-2
依据GB/T16601.1-
-2017和GB/T16601.2—2017测量1对1测试：≥1J/cm@20ns
1对1测试：≥1J/cm@20ns
1对1测试：≥0.5J/em@20ns
波长范围3μm≤α<16μm激光光学用薄膜的基本要求参数/基本要求
吸收率
依据GB/T38245—2019测量
高功率范围
5×10-
部分反射膜、分光膜
减反射膜
偏振分束膜
相移膜
高反膜
部分反射膜、分光膜
减反射膜
3×10-
5×10-3
≤1X10-2
激光损伤阅值
低功率范围
≤3×10-2
1×10-2
5×10-3
3×10-2
依据GB/T16601.1-2017和GB/T16601.2-2017测量拖尾4.5μs
1对1测试：≥2J/cm@100ns，#
S对1测试：≥1J/cm@100ns，
拖尾4.5us，10Hz
连续激光测试：≥1000W/mm
1对1测试：≥2J/em@100ns，
拖尾4.5pμs
拖尾4.5，10Hz
S对1测试：≥1J/cm@100ns，#
连续激光测试：≥1000W/mm
拖尾4.5ms
1对1测试：≥1.5J/cm@100ns，#S对1测试：≥1J/cm@100ns，拖尾4.5μs，10Hz：>500W/mm
连续激光测试：
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