基本信息

标准号： GB/T 26111-2023

中文名称：微机电系统（MEMS）技术 术语

标准类别：国家标准(GB)

英文名称：Micro-electromechanical system technology—Terms

标准状态：现行

发布日期：2023-05-23

实施日期：2023-09-01

出版语种：简体中文

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标准分类号

标准ICS号：电子学>>半导体器件>>31.080.99其他半导体器件

中标分类号：电子元器件与信息技术>>微电路>>L59微型组件

关联标准

替代情况：替代GB/T 26111-2010

采标情况：IEC 62047-1:2016

出版信息

出版社：中国标准出版社

页数：40页

标准价格：65.0

相关单位信息

起草人：顾枫、宋秀敏、李根梓、孙立宁、张大成、夏长奉、夏善红、董全林、张卫平、胡晓东、刘会聪、邢朝洋、刘奎、熊斌、张永斌、张威、崔波、陈得民、王玮冰、明志茂、李晓波、SHUMINZHANG、张宾、张胜兵、杨飞、高峰

起草单位：中机生产力促进中心有限公司、西安知微传感技术有限公司、苏州大学、北京大学、无锡华润上华科技有限公司、中国科学院空天信息创新研究院、北京航空航天大学、上海交通大学、天津大学、北京航天控制仪器研究所、西安现代控制技术研究所等

归口单位：全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)

提出单位：全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)

发布部门：国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会