GB/T 16944-1997电子工业用气体　氮

前 言

本标准是根据 SEMI C3.28—92《瓶装 VLSI 级氮标准》(1995年版)制定的，在技术要求上与之等同，检验方法与之等效。

在将 SEMI C3.28—92 转化为本国国家标准时，结合我国的实际情况，将标准的适用范围扩大至液态氮和管道输送氮，删去了 SEMI C3.28—92 中仅作为参考的物理常数和注释等内容，试验方法中增加了抽样和氮气纯度两条，各项杂质含量的测定分别采用我国相应的通用试验方法国家标准，同时对检测限和标样要求按 SEMI 标准规定进行了适当的调整。以上变动与 SEMI 标准无实质性差异，并使标准的技术内容更加完整。

本标准由中华人民共和国化学工业部提出。

本标准由化学工业部西南化工研究院归口。

本标准起草单位：化学工业部西南化工研究院、北京普莱克斯实用气体有限公司。

本标准主要起草人：何道善。

中华人民共和国国家标准

电子工业用气体 氮
Gases for electronic industry—Nitrogen GB/T 16944-1997

1 范围

本标准规定了电子工业用液态和气态氮的技术要求、检验方法以及包装、标志等，适用于从分离空气或氨还原法制得的氮，在超大规模集成电路制造中用作净化、覆盖、保护、加压，也用于化学气相淀积时的载气等。

氮气化学性质不活泼，不可燃，是一种窒息性气体。

分子式：N₂。

相对分子质量: 28.0134 (按 1991 年国际相对原子质量)。

2 引用标准

下列标准所包含的条文，通过在本标准中引用而构成为本标准的条文。本标准出版时，所示版本均为有效。所有标准都会被修订，使用本标准的各方应探讨使用下列标准最新版本的可能性。

• GB/T 3864—1996 工业氮
• GB/T 5832.1—86 气体中微量水分的测定 电解法
• GB/T 5832.2—86 气体中微量水分的测定 露点法
• GB/T 6285—86 气体中微量氧的测定 电化学法
• GB/T 8981—88 气体中微量氢的测定 气相色谱法
• GB/T 8984.1—1997 气体中一氧化碳、二氧化碳和甲烷的测定 气相色谱法
• GB/T 8984.3—1997 气体中总烃的测定 火焰离子化法

3 要求

电子工业用液态、气态氮的技术指标应符合表 1 的要求。

国家技术监督局 1997-08-13 批准1998-05-01 实施

4 试验方法

4.1 抽样

瓶装氮气按表2规定随机抽样检验，最大批量100瓶。当检验结果有任何一项指标不符合本标准规定时，则自同批产品中重新加倍抽样检验。若仍有任何一项指标不符合本标准规定时，则该批产品不合格。

表 2 抽样表

管道输送的氮，在4h内至少采样检测一次。当检验结果有任何一项指标不符合本标准规定时，则该4h内产品不合格。

液态氮应从每个储运容器中采取液态样品进行检验。当检验结果有任何一项指标不符合本标准规定时，则该产品不合格。

4.2 氮气纯度

氮气纯度按式(1)计算求得：

式中：

• $\phi$——氮气纯度，$10^{-2}(V/V)$；
• $\phi_1$——氧含量，$10^{-4}(V/V)$；
• $\phi_2$——氢含量，$10^{-4}(V/V)$；
• $\phi_3$——一氧化碳含量，$10^{-4}(V/V)$；
• $\phi_4$——二氧化碳含量，$10^{-4}(V/V)$；
• $\phi_5$——总烃(以甲烷计)含量，$10^{-6}(V/V)$；
• $\phi_6$——水含量，$10^{-6}(V/V)$。

4.3 氧含量的测定

按GB/T 6285的规定进行测定。
仪器检测限：$0.1 \times 10^{-6}(V/V)$。
标样：氮中含氧 $1 \times 10^{-6} \sim 5 \times 10^{-6}(V/V)$。

4.4 氢含量的测定

按GB/T 8981的规定进行测定。
仪器检测限：$0.1 \times 10^{-6}(V/V)$。
标样：氮中含氢 $1 \times 10^{-6} \sim 5 \times 10^{-6}(V/V)$。

4.5 水含量的测定

按GB/T 5832.1或GB/T 5832.2的规定进行测定。两种方法具有同等效力。
仪器检测限：$0.2 \times 10^{-6}(V/V)$。仪器应经相应检定规程检定合格。

4.6 一氧化碳、二氧化碳含量的测定

按GB/T 8984.1—1997的规定进行测定。
仪器检测限：$0.1 \times 10^{-6}(V/V)$。
标样：氮中含一氧化碳、二氧化碳各为 $1 \times 10^{-5} \sim 5 \times 10^{-5}(V/V)$。

4.7 总烃(以甲烷计)含量的测定

按GB/T 8984.3—1997的规定进行测定。
仪器检测限：$0.1 \times 10^{-6}(V/V)$。