本标准规定了用扫描电镜测量微米级长度的方法，适用于测量0.5～10μm的长度，也适用于电子探针分析仪测量微米级长度。 GB/T 16594-1996 微米级长度的扫描电镜测量方法 GB/T16594-1996 标准下载解压密码：www.bzxz.net

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中华人民共和国国家标准
GH/T16594-1996
微米级长度的扫描电镜测量方法Micron grade lenght measurement by SEM1996-11-04发布
1997-04-01实施
国家技术监督局发布
CE/T16594：1996
本标准尽一个测单方法标理，其最值可以酬源乳长度禁准。还标准士要用于两量便小瓶粒的直径、薄层厚度.能条宽度，线条臣离、线维宜径、刀可的面牢半格等。
本标准可与JJG5r0·8扫描电子显微镜稳定规离准列使用。本标准业金国微束分析标准化技术委员会凝出并凹口。本标准起草单位，上海市制试技术研究所、中国船期总公司725研究所。本标程主要起草人：账训、徐国照，商文华，1范围
中华人民共和国国家标准
微米级长度的扫描电镜测量方法Micran grade lenght measurement by SEMGB/ 165941996
本标准视定用扫猎电铠测量微米级长的法，适用丁两款0.5-~10m的长度.也道用于电子探分护变测益设米级长度。
2引用标准
下到标准包含的条文，渔过在本标准中引用而构成为本标准的条文。在标滞出总日，所示版太均为有效：所有标准都会被您订，但用术标准的各方应操讨使用下列标准最新版本的可能性JIG:550—8扫摘电子显微检定规程3基本原理
这卡种比较测医法。其基本原理是：先带扫描电镜薪得待到样品和微米级标尺（忍下简称标尺)的二次电子像，然后用比长仪删盘启底片上标尺图像拍分度长虚（A)和样品图像中持测的师~持征点之间的长度（B）。样币往测的实阳长度（)按式（1>计筛)
式中，——原心分的标定值。
4标准器和器设
4.1际尺：应经过法定计量机构标是：4.2打描电款：分释力忧于0.01μ4.3比长仪程不小于60mm，说差不超过上5m，4.4光学显微就，效人倍数不小于4C倍，5试验方法
5. 1样品的筛备
5.1.1渐待样品留于净品性上，用光学显微镜观划，将推品的工作而调能到与性品性重，然后用导电胶将栏品酉定
5.7.2若点不导电，应在样品表面喷镀厚度大约为1Um的金。5.1.3将样品柱受于祥品座上，片整到标准高度，5-1.4按5-1.1-5.1.3方法，将标上干样品座上。5.1.5用光学显微镜观测，先将样品需」视场中，调节光学显微镜.使样品工作面正焦。51.6平移推品座便标尺置丁规场中，调节标尺高度，链标尺工作面正点，口案控术监骨局1996-11-04批准1997-4-01实#
GB/T16594—1996
5.1.7将拌品序因定在扫拥电镜节样品台上。5.2拍摄样品的二次电于像
5.2.十将扫需出源调满到量停工非状态。样品舌倾料角度调料刹零。5.2.2抵抛待测的长度选用会道的放大者数，待测长度的一次也于像-股不小丁5mm。5.2.3将样品中待的部位调整判规场中心，选泽最佳条件拍摄二次电广像。5.3拍摄标反的饮电子
5.3.7有电镜处于与5.2相后的状悉，5.3.2选取一待测长度接近的标尺分度，将其移致规场市心5.3.3旋转样品台，使标尺分度力与样品中待衡长度方内平行，供后拍版二次电子惊，5.4底片的测量
5.4.1酒整底片上标尺图常的处度长座（A3.5.4.1.1将底片火于两块乎距披球之间于比长快的测过后上，5.4.7-2购节己长仪的脑准就，使然片的像潜呢。转动账片，使底片上标尺的分度方完当行于比长仪盘方向，
5.4.1.3喵准标尺像的一条分准线的中间位举让出坐标值，后腾准另一条分度线的中间位双，出读出坐松值，两次读山第尘标值之差为分度长度、5.4.1.4连续测盘三次，取三次通得值约弹术平均值为4.5.42测基床片上样品图假中待烫长度（B）。划量方法与5.1.1相同如总待测长度是物体的率度，应该饿唯物体边界累度的峰和穿位约中间位暨。6数期处理
样品中待测的实际长度(7.)按式(1)证算。7测量误差
薄送差（)按式(2)计第。
式中报描电筑分矫力
一标尺度的标定宜.产m
e.标,尺分度的标定没差:m
1.——样品中得溯药实际长度卫2
A1误差来源
A1.1标尺分度直的标定误差。
41.2扫推电的分裤方误。
A1.3比长仪的测误差：免费标准下载网bzxz
A2误差的估计
BT16594—1996
（标振的附录）
误差芬析
A2.1标尺分度值的标定误差由标定单性结出，设灯士eA2.2扫描电境的分辨力由收器的种类而定，没为工。^2.3比长仪的计量误举10m，由丁用比长仪测基是测基放大的图像所以误差培效大借数络小。扫疯电镜的收大告数般都比校大：所以比长仪的测识差就归以想略不计了。A3误差的传递
A3.1标准中样品中待测的实际长度(7)按式（A1)计募）(A:)
出中：A-—标尺图的度长度，
品一—样品图假中待测封两个特正点之间的长度！—一检尺分度的标定值。
A3.2对式(A!)进行微分处理，
误差值为+[BAX4-/AXAB+A
其中，财为扫描电镜效大倍数
上式可以化为
上[/h*(e*)7-:
44误差计算二例
妇果描电镜的分辨力为01m,标尺的标定误差为(.511,购误差线为：1[0. 05*+0. 01+0. 01*]2=0. 05(μm).果其地案件不变，而长度为1m，则差线为：±_0. 01×(0. 05*+0. 01)+0. 01***. 01(μm)。
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