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GB/T 16595-1996

基本信息

标准号: GB/T 16595-1996

中文名称:晶片通用网格规范

标准类别:国家标准(GB)

标准状态:现行

发布日期:1996-01-01

实施日期:1997-04-01

出版语种:简体中文

下载格式:.rar.pdf

下载大小:KB

标准分类号

标准ICS号:电气工程>>29.045半导体材料

中标分类号:冶金>>金属理化性能试验方法>>H21金属物理性能试验方法

关联标准

采标情况:=SEMI M17-90

出版信息

出版社:中国标准出版社

页数:平装16开, 页数:7, 字数:10千字

标准价格:8.0 元

出版日期:1997-04-01

相关单位信息

首发日期:1996-11-04

复审日期:2004-10-14

起草单位:中国有色金属工业总公司

归口单位:全国半导体材料和设备标准化技术委员会

发布部门:国家技术监督局

主管部门:国家标准化管理委员会

标准简介

本标准规定了可用于定量描述公称圆形半导体晶片表面缺陷的网格图形。 GB/T 16595-1996 晶片通用网格规范 GB/T16595-1996 标准下载解压密码:www.bzxz.net