标准号: GB/T 16595-1996
中文名称:晶片通用网格规范
标准类别:国家标准(GB)
标准状态:现行
发布日期:1996-01-01
实施日期:1997-04-01
出版语种:简体中文
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标准ICS号:电气工程>>29.045半导体材料
中标分类号:冶金>>金属理化性能试验方法>>H21金属物理性能试验方法
采标情况:=SEMI M17-90
出版社:中国标准出版社
页数:平装16开, 页数:7, 字数:10千字
标准价格:8.0 元
出版日期:1997-04-01
首发日期:1996-11-04
复审日期:2004-10-14
起草单位:中国有色金属工业总公司
归口单位:全国半导体材料和设备标准化技术委员会
发布部门:国家技术监督局
主管部门:国家标准化管理委员会