基本信息

标准号： GB/T 14139-1993

中文名称：硅外延片

标准类别：国家标准(GB)

标准状态：现行

发布日期：1993-02-06

实施日期：1993-10-01

出版语种：简体中文

下载格式：.rar.pdf

下载大小：KB

标准分类号

标准ICS号：29.040.30

中标分类号：冶金>>半金属与半导体材料>>H81半金属

关联标准

采标情况：SEMI S2,REF

出版信息

出版社：中国标准出版社

页数：平装16开， 页数：8， 字数：11千字

标准价格：8.0 元

相关单位信息

首发日期：1993-02-06

复审日期：2004-10-14

起草单位：上海第二冶炼厂

归口单位：全国半导体材料和设备标准化技术委员会

发布部门：国家技术监督局

主管部门：国家标准化管理委员会

标准简介