本标准规定了真空镀膜设备技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存等。本标准适用于压力在１０－１～１０－３Ｐａ范围的蒸发类、溅射类、离子镀类真空镀膜设备。 GB/T 11164-1999 真空镀膜设备通用技术条件 GB/T11164-1999 标准下载解压密码：www.bzxz.net

1Cs,23. 160
中华人民共和国国家标准
GB/T 11164—1999
真空镀膜设备通用技术条件
Yacuum coating plant generic specification1999-04 -08发布
1999-09.01实施
国家质量技术监督局发布
GB/T 11164
本标准是对（/11154—1989°真空膜设备通月技术条件3进行订而筛制时在内容上，对基些技术指标进行广修改，划：类镌膜核备推气时可从原类的13、21:min改为1min增加了升片率指标；并且由十原标维中C类恢膜设备国内三无生产厂生产，在车改标注感订中释C类产品取消。
标准白实塘之日起代替G月/T11164-1939本标准出国家机械工业局提出，本标准由全国点空按大标准化技术委员会归口。本标准起草革位上海露光机械制造厂，沈阳京空技术萨究所.本标推主要起草人张树七李奢、率玉英。1范围
中华人民共和国国家标准
真空镀膜设备通用技术亲件
Vacmn ceating plant geueric speciticatianCB/111164—1999
代警3/T111G4—1695免费标准下载网bzxz
本标准定广直空链膜校备枝术要求、试驱产法出、检验规则，标包装，运据和适存等，本标谁适用于正小在10-1--1C“Pa范用的莱发类射类，离，镊类真空敏膜设备（以下简称设备）
2引用标准
下买标准新包含的条实，通过在本标准中引月而构成为本标遍的条文。本标准户版时，所示版本均为有效：所有标准荐会裁悠订，使用本际摘的各方应探订用下划标准最新瓶本的可能性，GB1-1090包效能运图示标表
GB/I 5070—1995真空法兰
G/T1.3384—1992矶电产吊包装通用技术条性JBT76731995真空设备型号综制方3定义
本标准采用下列定义
3.1极限玉小
其究系统止常[作时,空载十频的链医室逐谢接定的录低压,力：单官a3.？抽气时间
真空系统正节工作付，将空载十焕的镜藻室从大气压（1P)拉到规定的玉力所需要的时间，单位luin,
33升主率
将空戴下燃的逾室连续抽气至总定的量低无力后，被止气，在够膜实内由于漏气或内部致气所选发的单位时间的升氏，单位Pe/h。A独术要求
4.1没备正带工作务件
4.1.1环培盖度：10~：.
4.1.2相对函度：大宁75兴
4.1.3冷却水进水驾度：不高工254.1.4冷却水质，感自来水成质过当的水.4.1. 5供申电源：383V-相,60H或22VV,单相,a)Hz(出所用申器带要而定)：电压波动范由342399V成1--231V频率动范国49~51Hz，国家质量技术监督局1999008批准1999 09- 01 实施
GD/T11164-1999
4.1.6设备所需的压确空气.液氮.冷热水等压力、温度，消耗量均应在产昂俊用说明书中写明，4.1.了设备周围环境费洁，空气清洁，不应有可引起电器及其他金屏件表面腐蚀或引起金厚间导电的尘埃或气位存尘。
1.2设备技术数数
4.2.1没备药主要技术势效应符合表1的规定4.2.2设备范型号应符合JB/7673的规定。表1
将数名称
锂虑空尺寸分档，mm
工件架
数限压力，%
抽气间i
升压事,ra,h
沉型式，尺寸数量位最大托
电玖率
工件架尺十及转动方式
工件烘烤方式及站烤通度
离于整击，丁件偏玉功率
随厚整垫方式改控制精座
设省控制方式
设备晕大耗电量
多数数巨
320*.E00*,600,636*.763,800*.900,1 (002200.12501400,196,1se5.200
255x 10--
(lu*5-7X10 *[3=-20
5x10-5
(10**--7X10 *PaJ*-0
据设计求
1所列糖膜室的几与尺寸,对围住式室位为国妆内径对箱式体为帕体内宽度，带号尺小优先选用,其他尺寸和其他药树形式的设备以出制造厂会阻上述尺小决定，专用股备口用户与造：吴订协汉2本尺寸分档作为护荐值，不作考核，4.3结构要求
4.3.1设务中的真空管道.静动增封零部件游结构型式和尺可应符会CB/530的规定。4.3.2在序空管追及链膜室上应安装真空测试规誉、分别测量各部位的压力，4.3.3如果校备的主泵扩散系时，应在录的步气侧安装注蒸气捕单啡，4.3.4设备的镀膜室应有观案，对在链激过中发生射线的改备，案价1.应装防射线镜出4. 4.制造质量
4.4.1设备主要孕部件制造所用的原材料应符台相应的才料标准的规定，且应其存质基台格证书，划证书不全或产生疑问时变由制造厂检验部门负声复验。CB/T 11164—1999
4.4.2设备的零部件的机满加工质量总设备的煤接质量均应符合制造厂技术文件的规定，4.4.3务的装配质置应符含制造厂技术文件的规定，装配时对工作中处干真空的各零部件表面应进行有效的其密播洗处理并不必干渠，各运动件激配后应运动灵活平稳。4.4.4圾各中镀膜沉积函、离子麦击、工件痛压、工件加热、膜厚监控等装置均应逐调试和联合调试。性能均应达剑设计要，运行可览。工件划热过程中设备应能正常运转。4.4.5备新配用的白制或外购的系，，表.计等各类机械，电器元器件都应合相应产品标准的规定，并应具有质量合格证书或经制造厂检验部门检验合格后方可使用4.4.6没备配的电器装置的制造页量应符合制造厂技术文件的规定·并应保证设备运行利操作时的安全可觉。装立中线路的排布应齐清晰，便于检修，装置中冬电气回踏的绝练电阻值，对丁500V以下不得低12M01对01~100CV不得低12.5M对+1001-3000V.4得低于3.5对3~得低于6。
4.4.7设备的外规质基应做到没有非功能性需要的尖角、楼角，凸起及相整不平表面。零部件结合面边浒应整齐均称：十应有明显归位，金属零件的赖层应牢固·无变质、脱落收生等現象，所有紧固件度有防脑层：没各范徐臻表面应光酒，美观，率固，无利落起皮现象，4.5安全陆
4.5.1关键部件的水冷系统中应有断水或水压不足的拟昏装需，并与电源、真空系筑、传录系统关联部分方账锁保挡划树，这些保书机构的动作应录敏可靠。4.5.2真空系热中来出电动或气动润门时均成有连锁保护，4.5.3设备及其附属的电气装置均应装设接地装暨.接地处应有明显标记。4.5.4设备与相附减的电气照置之间的连接导线应有防止磨损或碰价的保护措施：4.5.5没备的电气路及电气元件应保证不受冷却，润滑油及其他有再物质的影响。4.5.6操作中突然停电后：再恢复供电时应能防止电器自行接通，4.5.7在设备电气线路中，针对负裁情说应采取短路保护，过电流保护等必要保护措施，应月高压电源的设备，其装有高压电极的忧腹室的开启与高压载路的接谨应有安全联懒装盘。4.5.8
段-许中的高压、商频以及其他有可产牛损事人体的辐射部分应安装屏账装置。4.5.9
4.5.10外露的步轮、皮带轮等应有可靠的肪护装置。液巨或气正系统应有压力指示仪表总调节压力的安全装置。4. 5. 1
4.5、12设备及其附属装性上.应装设为操作和安所必需的标牌和标记：5试验方法
5.1最限5力测案
5. 1. 1词整涤件
E.）饿麟室内为空载（钟不安敬被键件+快不进行江积+但不得拆去段爷止常工作成安装的沉积源、上件架等：
b）其空测基现管应衰丁做湛室壁上成放素近触膜案的节直上！<）听用点定计产为报备本身的配套者并应在有效期内；d）允许在仙气过程用设备本身配有的热表击装审对链膜进行除气：）否具有中板、上卷绕室和镀室的卷烧镀膜设备.应在两室同时抽气时对镶漠至的压力进行刷试，
5.1.2测试法
在对毓股室注续油气24h之内测定其玉小的最低值，定为谈设备的极限压力。当压力变化在0.Fh内不超过%时取测生表读款最高值为极限压力值，凡链膜内各转磨封部空处丁运动状态，5.2抽气时的定
5.2.1试验条件
同5. 1. 1中,b),2,。
5.2.2测试方法
A/T11164—1999
设备在连续抽气净件下，在慢膜室内达到授限压月之后-打万境淇整13mi，专关闭镀膜室对其平度抽气至本标准表1十所规定的压力值所需的时间，定为该设备的抽气时邮，5.3升压率的测定
5.3.1试验条件
同5.1.1.
5.3.2魂试方法
设备在连绒批气，24h之内使室内达到邀忘的最低压力之后，关闭与链膜齐相连接的点审，待镀腰布压力上升至户1Pa吋，开始计时，经11.后记录F然后按下式计算升压率；RP-P
式中:R
镀膜的升压，P/
F,——镀膜至的起始压力,Pa：
P，-镀膜室的终正医力,Ps：
-玉力由P，升至P的时间，h.
6检格验规则
61（每专设备必须经制遭！检验部门检验合格片方曾出」、并对有产品质量合格证。6.？设备的试验分型式试验和出厂试，63些式试验项日方：本标准4.2.1及4.4.4,4.4.6,4.5中包含的全部内弃，6.4生下列情况下应进行型式试验：）试当的新产品；
）产品在设计，上艺或所用材料有重女变更时：）同美产品的产比定级时；
d）成批书产品的定期捷套，每两年进：一次，每次拍查该批的10为（不得少于2台），有一项不合格则应京新抽加倍数录的产此进行多变，如仍有不合格者，到进行逐心检验，6.5出！试频
出1试验定逐台进行，其检验内容为本标准4.2.1,4.4.4,4.4.6,4.5.1.4.5.2,4.6.7.4.5.8，4. 5. 10,4,.11.
7标志包要、运输、贮存
7.1每台设备及其附减装而成在明品该宽装二产与标牌，产易标牌应注明：a）制凌厂名款
6）产品号及名税；
品要技术指标：
出！平月及品厂第号
1.2股备必要替存改.邀免发生锈独及据伤：了.3我设备出！应随带下列文件：E）产品合格证；
）装单；
e产品性用说明书.
7. 4包装
GB/11164—1999
7.4.1设备包装肪应对六做阳销处单的金属表面涂以阳锈油。对整机色装范设备装前链账实应抽点空状态。
7.4.2设备包转应符合GH1133B4的裁定，7.5他装箱应有起，怕湿、重心点随上倾倒等忙运标志，这必标志应料合GB191的熟定。7.6设备的运输为式和逐输中所采取的措施必须保证设备及其也装不发牛损伤；没务运输中有可松散的零部件应有防松，垫、扎等槽施；运输户应与防止故备受到口酉、丽淋和剧烈震动的措施，
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