基本信息

标准号： GB/T 18867-2002

中文名称：电子工业用气体 六氟化硫

标准类别：国家标准(GB)

标准状态：现行

发布日期：2002-10-15

实施日期：2003-04-01

出版语种：简体中文

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相关标签： 电子 气体 六氟化硫

标准分类号

标准ICS号：化工技术>>化工产品>>71.100.20工业气体

中标分类号：化工>>其他化工产品>>G86工业气体与化学气体

关联标准

采标情况：NEQ SEMI C3.24:1995

出版信息

出版社：中国标准出版社

书号：155066.1-19213

页数：平装16开， 页数：9， 字数：16千字

标准价格：10.0 元

出版日期：2003-04-01

相关单位信息

首发日期：2002-10-15

复审日期：2004-10-14

起草人：杜伟华、张奎、贺国武、张军、何道善

起草单位：中核红华特种气体股份有限公司

归口单位：全国半导体材料和设备标准化技术委员会

提出单位：原国家石油和化学工业局

发布部门：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局

主管部门：国家标准化管理委员会

标准简介