GB/T 1557-2006
基本信息
标准号： GB/T 1557-2006
中文名称：硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法
标准类别：国家标准(GB)
标准状态：现行
发布日期：2006-07-18
实施日期：2006-11-01
出版语种：简体中文
下载格式：.rar.pdf
下载大小：KB
标准分类号
标准ICS号：冶金>>金属材料试验>>77.040.30金属材料化学分析
中标分类号：冶金>>金属理化性能试验方法>>H21金属物理性能试验方法
出版信息
出版社：中国标准出版社
页数：7页
标准价格：10.0 元
计划单号：20060512-T-610
出版日期：2006-11-01
相关单位信息
起草单位：峨眉半导体材料厂
归口单位：中国有色金属工业协会
发布部门：中华人民共和国质量监督检验检疫总局和国家标准化管理委员会
主管部门：中国有色金属工业协会
标准简介
本标准规定了采用红外光谱法测定硅单晶中的间隙氧含量的方法。 本标准适用于室外温电阻率大于0.1Ω?cm的n型硅单晶和室温电阻率大于0.5Ω?cm中间的p型硅单晶中间隙氧含量的测量。 本标准测量氧含量的有效范围从1×1016at?cm-3到硅中间隙氧的最大固熔度。 GB/T 1557-2006 硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法 GB/T1557-2006 标准下载解压密码：www.bzxz.net