首页 >  国家标准(GB) >  GB 6621-1986 硅抛光片表面平整度的非接触式测试方法

基本信息

标准号: GB 6621-1986

中文名称:硅抛光片表面平整度的非接触式测试方法

标准类别:国家标准(GB)

标准状态:已作废

实施日期:1987-07-01

出版语种:简体中文

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相关标签: 抛光片 表面 平整度 接触式 测试方法

标准分类号

中标分类号:冶金>>金属理化性能试验方法>>H26金属无损检验方法

关联标准

替代情况:被GB/T 6621-1995代替

采标情况:ASTM F575-1982 MOD

出版信息

页数:6页

标准价格:12.0 元

相关单位信息

标准简介

GB 6621-1986 硅抛光片表面平整度的非接触式测试方法 GB6621-1986