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标准号: GB 6621-1986
中文名称:硅抛光片表面平整度的非接触式测试方法
标准类别:国家标准(GB)
标准状态:已作废
实施日期:1987-07-01
出版语种:简体中文
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相关标签: 抛光片 表面 平整度 接触式 测试方法
中标分类号:冶金>>金属理化性能试验方法>>H26金属无损检验方法
替代情况:被GB/T 6621-1995代替
采标情况:ASTM F575-1982 MOD
页数:6页
标准价格:12.0 元