标准号: GB 11481-1989
中文名称:掩模对准曝光机通用技术条件
标准类别:国家标准(GB)
标准状态:已作废
实施日期:1990-03-01
出版语种:简体中文
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中标分类号:仪器、仪表>>光学仪器>>N38光学设备
替代情况:调整为SJ/T 11079-1996
页数:12页
标准价格:16.0 元