基本信息

标准号： GB/T 12964-1996

中文名称：硅单晶抛光片

标准类别：国家标准(GB)

标准状态：已作废

发布日期：1996-11-04

实施日期：1997-04-01

作废日期：2004-01-01

出版语种：简体中文

下载格式：.rar.pdf

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相关标签： 硅单晶

标准分类号

标准ICS号：电气工程>>29.045半导体材料

中标分类号：冶金>>半金属与半导体材料>>H82元素半导体材料

关联标准

替代情况：GB 12964-1991;被GB/T 12964-2003代替

采标情况：SEMI M1-1990 MOD

出版信息

页数：10页

标准价格：15.0 元

相关单位信息

标准简介