GB/T 4061-1983
基本信息
标准号： GB/T 4061-1983
中文名称：硅多晶断面夹层化学腐蚀检验方法
标准类别：国家标准(GB)
英文名称： Chemical corrosion test method for interlayer of silicon polycrystalline cross section
标准状态：现行
发布日期：1983-01-02
实施日期：1984-01-02
出版语种：简体中文
下载格式：.rar.pdf
下载大小：KB
标准分类号
标准ICS号：冶金>>金属材料试验>>77.040.30金属材料化学分析
中标分类号：冶金>>金属理化性能试验方法>>H25金属化学性能试验方法
关联标准
出版信息
页数：2页
标准价格：8.0 元
相关单位信息
首发日期：1983-12-20
复审日期：2004-10-14
起草单位：峨嵋半导体材料厂
归口单位：全国半导体材料和设备标准化技术委员会
发布部门：国家标准局
主管部门：国家标准化管理委员会
标准简介
本标准适用于三氯氢硅及四氯化硅氢还原在细硅芯上沉积硅多晶所生长出来的硅多晶棒。 GB/T 4061-1983 硅多晶断面夹层化学腐蚀检验方法 GB/T4061-1983 标准下载解压密码：www.bzxz.net
标准图片预览
标准内容
中华人民共和国国家标准
硅多品断面夹层化学腐蚀检验方法Polyaystalline sllcon-Exn miadtiahmethad assesement nf aridwirhex antrst-section by cheinical tomusiueDE
669.7821548
.2:620.193.4
CR 4061--23
产：：品格热原编准名出大
「方流原理
1.1原理
用车移的线品源时品可A化实保建大瑞达的美1.2万法
2该样制务
2.1取痒能
原多品成不的站品入度外性年，P
家4向1981220岁
1054-1201店
2.2试样尺号
2.3试样处理
CB4O1-BS
2.8.1将择盛装纯F，-1：4的泥最游训离后尚！正小冲净须察百
检验方法
可肉服迎来啡的要饮！
4光层评定
1却共火层般芯证下的火是
附加说明：免费标准下载网bzxz
大称人共和待帝业长
八标泄中读半导添材料：资进起草大标准十要起举人划记境。
小提示：此标准内容仅展示完整标准里的部分截取内容，若需要完整标准请到上方自行免费下载完整标准文档。
硅多品断面夹层化学腐蚀检验方法Polyaystalline sllcon-Exn miadtiahmethad assesement nf aridwirhex antrst-section by cheinical tomusiueDE
669.7821548
.2:620.193.4
CR 4061--23
产：：品格热原编准名出大
「方流原理
1.1原理
用车移的线品源时品可A化实保建大瑞达的美1.2万法
2该样制务
2.1取痒能
原多品成不的站品入度外性年，P
家4向1981220岁
1054-1201店
2.2试样尺号
2.3试样处理
CB4O1-BS
2.8.1将择盛装纯F，-1：4的泥最游训离后尚！正小冲净须察百
检验方法
可肉服迎来啡的要饮！
4光层评定
1却共火层般芯证下的火是
附加说明：免费标准下载网bzxz
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八标泄中读半导添材料：资进起草大标准十要起举人划记境。
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