标准分类号
标准ICS号：冶金>>金属材料试验>>77.040.30金属材料化学分析
中标分类号：冶金>>金属理化性能试验方法>>H25金属化学性能试验方法
关联标准
相关单位信息
首发日期：1983-12-20
复审日期：2004-10-14
起草单位：峨嵋半导体材料厂
发布部门：国家标准局
主管部门：国家标准化管理委员会
标准简介
本标准适用于三氯氢硅及四氯化硅氢还原在细硅芯上沉积硅多晶所生长出来的硅多晶棒。 GB/T 4061-1983 硅多晶断面夹层化学腐蚀检验方法 GB/T4061-1983
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标准内容
中华人民共和国国家标准
硅多品断面夹层化学腐蚀检验方法Polyaystalline sllcon-Exn miadtiahmethad assesement nf aridwirhex antrst-section by cheinical tomusiueDE
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检验方法
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