本标准规定了吸气剂一船术语、分类术语及特性术语。本标准适用于真空器件用吸气剂。 GB/T 4314-2000 吸气剂术语 GB/T4314-2000 标准下载解压密码：www.bzxz.net

GB/T4314—2000
本标准是对GB/T4314—1984《吸气剂名词术语》的修订。本标准对原标准GB/T4314做了如下修订：1）对气体量、吸附、吸收、非蒸散型吸气剂、吸气剂载体、吸气剂支架、比吸着容量、比含气量、总含气量、预处理后含气量、总蒸时间、起蒸时间及蒸散等术语的名称、定义重新进行了改写；2）对某些定义补充出计量单位。例如：气体量、漏放率、吸气表面、吸着容量、比吸着容量、总吸着容量，
3）将GB/T9506.5-—1988《掺氮吸气剂释氮吸气动态曲线测试方法》以及GB/T6626.1—1986《释汞吸气剂性能测试方法释汞吸气剂释汞特性的测试方法》中所涉及的试样、释氮吸气动态曲线、释氮量、释汞量、总释汞量、标准释汞量、释汞率、释汞特性曲线及释汞吸气剂热稳定性等定义一并列入到本标准中，
4）根据近年来相继研制出的一些新的非蒸散型吸气剂，增加了一些新的吸气剂术语。例如：低温激活型吸气剂、高温激活型吸气剂、高温吸气剂、高牢固度吸气剂、热子型吸气剂、吸气剂泵及耐高温型吸气剂等。此外，还增加了放气量及氢气吸着曲线术语；5）根据GB3100—1993《国际单位制及其应用》的规定，此次修订统一将各术语单位名称改为国际单位制。
本标准自实施之日起同时代替GB/T4314一1984。本标准由中华人民共和国信息产业部提出。本标准由信息产业部电子工业标准化研究所归口。本标准起草单位：信息产业部电子工业标准化研究所、华东电子集团。本标准主要起草人：李晓英、陈金云、钱永生。本标准于1984年4月首次发布。
中华人民共和国国家标准
气剂术语
Getter terms
本标准规定了吸气剂一般术语、分类术语及特性术语。本标准适用于真空器件用吸气剂。十般术语
2.1气体量gasquantity
GB/T4314—2000
代替GB/T4314—1984
处于统计平衡态的理想气体所具有的动能量度，其值等于气体所占有的体积与其压力的乘积。必要时，应注明气体温度或换算成20℃C时的数值。单位为帕L斯卡立方米(Pa·m?），或焦L尔](J)。2.2吸附相分子adsorbedgasmolecule已吸附在固体表面上的气体分子。2.3气相分子gasmoleculeinspaceTWC
对应于吸附相分子而言，处于气体与固体交界面的气体一侧的气体分子。2.4气流量throughput
单位时间内通过某截面的气体量。单位为帕[斯卡]立方米每秒(Pa·m/s）。2.5漏放率leak-uprate
系统内部因漏气或放气引起的单位时间内气体量的增量。单位为帕斯卡】立方米每秒（Pa。mt/s)。
2.6吸附adsorption
吸气剂或吸气剂膜表面对气体或蒸汽的捕集现象。有时也可以更明确地说成“表面吸附”。2.7吸收absorption
气体或汽扩散进大到吸气剂或吸气剂膜内部的现。2.8
吸气sorption
吸着sorption
由于吸附和吸收现象所造成的对气体和蒸汽的清除过程。2.9脱附desorption
吸着气体的释放现象。
2.10脱附速率desorptionrate
放气或除气速率outgassingordegassingrate在一定压力和温度下，单位时间内固体表面脱附的气体体积数。单位为立方米每秒(m\/s）。2.11放气outgassing
真空状态下，材料中气体的自发脱附现象。国家质量技术监督局2000-01-03批准2000-08-01实施
2除气degassing
促使材料中气体脱附的工艺。
2.13表面扩散surfacediffusion吸附相分子沿吸气剂表面的扩散。GB/T4314—2000
2.14表面扩散活化能activeenergyofsurfacediffusion单位摩尔气体分子（或原子）由吸附剂表面的一个活性点转移到另一个活性点时所需的最小能量。单位为焦尔每摩尔(J/mol)。2.15体扩散bulkdiffusion
气体在吸气剂体内的扩散。
2.16体扩散活化能activeenergyofbulkdiffusion单位摩尔气体分子（原子)进行体扩散时所需的最小能量。单位为焦尔每摩尔(J/mol)。3分类术语
3.1吸气剂getter
在一定条件下，能有效地吸着某些(某种)气体或蒸汽，以获得、维持真空以及纯化气体等的材料、制剂或装置。
3.2吸气材料getteringmaterial在一定条件下，对某些（某种)气体具有特殊活性的材料。实际使用中，可以根据材料的组分，称呼为“吸气金属”“吸气合金”等。3.3吸气剂膜getterfilm
吸气剂中的吸气材料经蒸散后，在沉积面上形成的薄膜。3.4单质型吸气剂elementarygetter由单一元素材料制成的吸气剂。3.5合金型吸气剂alloygetter
由合金材料制成的吸气剂。
3.6蒸散型吸气剂flashgetter
需采用蒸散工艺，靠吸气材料在蒸散过程中和沉积成膜后才能具有吸气作用的吸气剂。3.7反应型吸气剂reactivegetter蒸散时兼有化学反应的吸气剂。3.8吸热型吸气剂endothermicgetter蒸散时呈吸热反应的吸气剂。
3.9放热型吸气剂exothermicgetter蒸散时呈放热反应的吸气剂。
D非蒸散型吸气剂nonevaporablegetter不需蒸散，在一定条件下激活后，即有吸气作用的吸气剂。3.11
体吸气剂bulkgetter
表面与实体都能参与吸气，其吸气特性与体扩散速率关系甚密的吸气剂。2低温吸气剂getterforlowtemperatures3.12
经激活后，在常温下具备良好吸气能力的吸气剂。3.13高温吸气剂getterforhightemperatures经激活后在200℃以上能充分发挥其吸气性能的吸气剂。3.14
4低温激活型吸气剂getterforlowtemperaturesactivation在500℃以下可以有效激活的吸气剂。2
GB/T4314—2000
3.15高温激活型吸气剂getterforhightemperaturesactivation在800℃以上可以有效激活的吸气剂。3.16高牢固度吸气剂getterforhighfirmness在一定振动条件下，没有超过微米级微粒脱落的吸气剂。热子型吸气剂thermistorgetter3.17
以热子加热方式进行激活的吸气剂。3.18吸气剂载体gettercarrier
吸气剂容器gettercontainer
装载吸气剂载料的器具。其形状有：带、槽环、碟、管等；相应称呼为：吸气剂带、吸气剂环、吸气剂碟、吸气剂管等。
电阻加热型吸气剂载体ohmicheatingcarrier以直接通电加热方式来加热的吸气剂载体，有时也称“开式载体”“开式容器”。感应加热型吸气剂载体inductionheatingcarrier以感应加热方式来加热的吸气剂载体，有时也称“闭式载体”、“闭式容器”。吸气剂支架gettersupport
用来将吸气剂安装和定位在真空器件中的辅助件，形状有：带、杆、框等。吸气剂支撑gettermount
用来把吸气剂及其支架（如果有的话)固定在吸气剂测试泡特定位置用的机构。废射器reflector
主蒸散型吸气剂蒸散时，使吸气材料作定向蒸散的零件。哆气剂装乳
getter-devic
由吸气材料、辅助材料、载体和其他专用部件组合在一起的综合体，在实际使用中，允许简称吸气剂。
吸气剂载料getterfill
装载于吸气剂载体的吸气材料（含掺气合金）和辅助材料的混合物。吸气剂装载量amountoffillinggetter装入吸气剂载体中的吸气剂载料的重量。单位为克(g）。参气dopedgas
在蒸散型吸气剂的蒸散过程中，让一定量合适气体同时进入空间的手段。目的在于改善吸气剂膜的结构和分布，用以提高吸气剂膜的吸气能力。3.28掺气合金alloywiththegasdoped在室温下稳定的、加热到一定温度时能释放出适量的被掺气体的合金，如能释放出氮气的合金叫“掺氮合金”。
掺气吸气剂getterwiththegasdoped含有掺气合金的吸气剂，如采用掺氮合金时，就称“掺氮吸气剂”。3.30延迟掺气吸气剂getterwiththedelayinggasdopedDGD在蒸散过程中分期释放被掺气体的掺气吸气剂。如采用掺氮吸气剂时，就叫“延迟掺氮吸气剂”(DND)。
全产额吸气剂totalyieldgetter3.31
蒸散型吸气剂中吸气材料接近全部蒸散的吸气剂，有时也称为全得率吸气剂。复合型吸气剂combinedgetter
装有蒸散和非蒸散两种类型吸气材料的吸气剂。3.33释汞剂mercurydispenser
GB/T4314—2000
经过一定的工艺处理后，能获得纯汞的制品。3.34释汞吸气剂getterwiththemercurydispenser装有释汞剂的吸气剂。
3.35碱金属释放剂alkalimetaldispenser经过一定工艺处理后，能获得碱金属的制品。3.36碱金属释放吸气剂getterwithalkalimetaldispenser将吸气合金作为还原剂的碱金属释放剂。3.37
吸气剂泵getterpump
以吸气材料压结带或粉为吸气源的装置，可以代替钛升华泵，与溅散离子泵配合以获得清洁真空。
3.38试件sample
焊有热电偶丝的吸气剂试样。
9耐高温吸气剂getterforhightemperature-resisting3.39
通过特殊工艺处理，在大气中经受420C以上温度一定时间烘烤后，仍能满足规定蒸散条件下所具备的质量要求的蒸散型吸气剂。4吸气剂特性术语
4.1吸气表面gettersurface
在吸气剂的工作过程中，参与吸气的表面。单位为平方米(m)。4.2视在表面积appatentarea
把吸气剂表面视作完全光滑平整的几何表面时所得的表面积。单位为平方米(m)。4.3外在表面积externalsuperficialarea直接受到与吸气剂所处空间相同的气体压力作用的吸气表面的面积，其值与表面粗糙因素有关。单位为平方米(m）。
4.4总表面积totalarea
参与吸气的吸气剂微粒表面积的总和。单位为平方米(m)。4.5比表面积specificarea
吸气总表面积与视在表面积之比，其数值总是大于一。4.6孔隙度porosity
吸气材料中孔隙的体积占材料几何体积的百分数。4.7吸气量getteringquantity
吸气剂在一定的时间间隔内所吸的气体量。4.8吸气剂疲劳寿终thefatiguedeadlineofgetter当非蒸散型吸气剂经多次激活或蒸散型吸气剂蒸散后，其吸气速率降低到某一规定值时，即称为吸气剂疲劳寿命终了，简称为疲劳寿终。4.9吸着容量sorptioncapacity
吸气剂自每次全激活(蒸散)后至疲劳寿终所吸的气体量，用来量度吸气剂能够吸着的气体量。单位为帕[斯卡]立方米(Pa·m°)。0比吸着容量specificsorptioncapacity4.10
单位装载重量吸气材料的吸气容量，或单位视在表面积吸气材料的吸气容量。单位为帕斯卡立方米每克(Pa·m/g）或帕L斯卡]立方米每平方米(Pa·m/m）。4.11
总吸着容量total sorptioncapacity能多次激活再生使用的吸气剂，其各次吸气容量的总和。GB/T4314—2000
4.12特征吸着容量featuresorptioncapacity吸气剂经激活或蒸散启用后，直至其吸气速率下降到终端吸气速率时的吸气量。3一氧化碳吸着容量carbonmonoxidesorptioncapacity4.13
在室温（25C）下，直至达到终端吸气速率为止，所吸着的一氧化碳量。4.14吸气速率getteringrate
在一定压力和温度下，单位时间内吸气剂吸着气体的体积数。作为吸气剂泵使用时，改称“抽速”必要时允许两者通用。单位为立方米每秒(m\/s)。4.15
比吸气速率specificgetteringrate单位视在表面积吸气剂的吸气速率，或单位重量吸气剂的吸气速率。单位为立方米每秒平方米（m/s·m*，或立方来每秒克（m/（s·g））。4.16
终端吸气速率endpointgetteringrate为了确定吸气剂对某一气体的吸着容量的试验终点，人为规定的吸气速率的某一特定值，吸着速度sorptionvelocity
单位时间内吸气剂所吸看的气体量。单位为L斯卡立方米每秒（Pa·m/s），或帕L斯卡］升每秒(Pa·L/s)。
吸气能力getteringability
吸气剂的吸气速率和吸差容量的综合能力，用来评价吸气剂的工作效能和寿命吸着特性曲线sorptioncharacteristics收吸气剂的吸气速率为纵坐标，以其吸气量为横坐标所绘制的双对数关系曲线。一氧化碳吸着曲线carbonmonoxidesorptioncurve吸气速率的对数值对氧化碳吸气量对数值的曲线。轴表示吸气量（Pam），其范围由零到理论容量值。Y轴表示吸气速率（m\/s）的对数，它必须至少包括四个数量级。该曲线用来比较各种类型吸气剂的特性；确定吸气剂在特定真空器件内的工作性能；以及研究吸气剂膜的吸气机理。
氢气吸着曲线hydrogensorptioncurve吸气速率的对数值对氢气吸气量对数值的曲线。X轴表示吸气量(Pa·m），其范围申零到理论容量值。Y轴表示吸气速率（m\/s）的对数，它必须至少包括四个数量级。该曲线用来比较各种类型吸气剂的特性；确定吸气剂在特定真空器件内的工作性能；以及研究吸气剂膜的吸实机理。吸气剂老化ageingofgetter
吸气剂吸气能力的变劣现象。
4.23吸气剂稳定性stabilityofgetter吸气剂在某种环境中的理化性能的稳定程度。4.24
放气量outgassingquantity
吸气剂在蒸散或激活过程中所释放出来的、折合成氮当量（或氢当量）的气体量。蒸散型吸气剂的放气量分为总放气量和预处理后放气量；非蒸散型吸气剂的放气量就是总放气量。单位为帕斯卡立方米（Pa·m）。
5总放气量totaloutgassingquantity4.25
蒸散型吸气剂从室温开始加热到起始蒸散前（或激活全过程中）所释放的、折合成氮当量（或氢当量)的气体量。单位为帕[斯卡]立方米(Pa·m\)。4.26预处理后放气量preflashoutgassingquantity蒸散型吸气剂在动态真空条件下经350℃、15min除气后，让其冷却到100℃以下时再开始加热到起始蒸散前所释放的、折合成氮当量的气体量。单位为帕斯卡立方米（Pa·m）。4.27比放气量specificoutgassingquantity5
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吸气剂单位装载重量（或单位面积)的总放气量或预处理后放气量。单位为帕[斯卡立方米每克(Pa·m\/g），或帕［斯卡］立方米每平方米(Pa·m/m2)。8掺氢量hydrogencontentofgetterwithhydrogendoped4.28
掺氢吸气剂中所含被掺氢气的量。单位为帕[斯卡]立方米(Pa·m\)。4.29
掺氮量nitrogencontentofgetterwithnitrogendoped掺氮吸气剂中所含被掺氮气的量。单位为帕[斯卡]立方米(Pa·m\)。含锁量bariumcontent
含钡吸气剂载料中金属钡所占的重量。单位为克（g）。得钡量bariumyield
从含钡吸气剂中蒸散出来的钡量。单位为克(g)。2得锁率bariumrate
得钡量与含锁量之百分比。
锁膜分布bariumfilmdistribution含钡吸气剂蒸散后，金属钡在沉积区的分布状态。4. 34
钡膜纯度purityofbariumfilm
钡膜中不受铝、镍等杂质污染的程度。5得锁量一致性consistencyofbariumyield4.35
依据标准工艺规范，以恒定的起蒸时间所对应的加热功率、恒定的总蒸时间，先后蒸散九个以上的吸气剂，所得起蒸时间和得钡量的标准离差。6表面吸附决定区intervaldeterminedbysurfaceadsorption4.36
吸气剂的吸着速度决定于表面吸附速度时的时间区间。4.37
扩散决定区intervaldeterminedbydiffusion吸气剂的吸着速度决定于扩散速度时的时间区间。转换温度criticaltemperature
从表面扩散为主转换到体扩散为主的温度。蒸散flashing
因受感应加热或电阻加热而引起的蒸散型吸气剂内所含吸气材料的蒸发现象。蒸散条件flashingcondition
指用电阻加热装置或感应加热装置（频率必须在250kHz~450kHz）使蒸散型吸气剂蒸散时所规定的起蒸时间和总蒸时间。
4.41总蒸时间totaltime
蒸散型吸气剂加上加热功率期间的全部时间间隔。单位为秒(s）。4.42
2起蒸时间starttime
用肉眼观察蒸散型吸气剂被加热至蒸发的那一瞬间称为开始蒸散。从加上加热功率到开始蒸散(即闪亮)的时间间隔即为起蒸时间。单位为秒(s）。3得锁量报告bariumyieldreport4.43
标明如下项目数据和曲线的报告：a）得锁量；
b）得锁率；
c）得锁量一致性；
d）蒸散曲线。
蒸散曲线flashingcharacteristics4.44
得锁量曲线bariumyieldcurve
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以总蒸时间为参变量，得钡量为纵坐标，起蒸时间为横坐标所绘制的曲线。用此可评述各种钡蒸散型吸气剂的得锁量特性，并据此以制定最佳蒸散工艺规范。4.45热蒸散hotflashing
当沉积区温度超过100℃时进行蒸散型吸气剂蒸散的工艺。4.46冷蒸散coldflashing
当沉积区为室温或接近室温时进行蒸散型吸气剂蒸散的工艺。4.47
过蒸散overflashing
蒸散过程中，由于蒸散温度过高等原因所造成载料中的铝、镍以及载体金属等的过量蒸发。蒸散区间flashinginterval
适当地选择合乎实用的起蒸时间和总蒸时间的不同组合，使得钡量在某一规定的范围内，反映在蒸散曲线上，这种不同组合所对应的区间称为“蒸散区间”。从蒸散区间探讨中，可提供获得高得锁量的最佳工艺规范。
激活activation
在一定真空度下，将吸气剂加热到一定温度并保持一定时间，从而使吸气剂具有吸气能力的工全激活fullactivation
使吸气剂获得最大吸气能力的激活。部分激活fractionaryactivation未达到最大吸气能力的激活。
激活温度activationarytemperature使吸气剂达到激活目的的温度。4.53
激活时间activationarytime
极气剂加温激活时，保持激活温度的时间。4.54
再生regeneration，reactivation7bzw.cn
将工作后已失去吸气能力的吸气剂再次激活以恢复吸气能力的工艺。加温再生reactivationbyheat-up，hotreactivation在一定真空度下，借提高温度以完成再生的工艺。4.56
降压再生reactivationbyreducingpressure在一定温度下，借提高真空度以完成再生的工艺4.5m
释氮吸气动态曲线nitrogen-teleasedversusgas-absorbeddynamiccurve掺氮吸气剂蒸散过程中，静态测试容器内压力随时间变化的曲线。它可以形象地描述和准确地折算掺氮吸气剂试样在显像管等真空器件内蒸散过程中压力的变化情况。4.58
释氮量nitrogen-releasedquantity掺氮吸气剂试样在蒸散时所释放出的氮气量。4.59释汞量mercury-releasedquantity在给定条件下，从释汞吸气剂中释放出的汞量。4.60
总释汞量totalmercury-releasedquantity释汞吸气剂在压力低于10mPa、温度950℃、保温5min条件下所得的释汞量。4.61
标准释汞量standardmercury-releasedquantity释汞吸气剂在300Pa氩分压力的真空中，经历一定升温规范的过程后所得的释汞量。因其测试条件与实际使用情况接近，为选择释汞吸气剂用量提供了依据。7
释汞率mercury-releasedrate
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释汞吸气剂在压力低于10mPa时，在设定温度下保温10min后释汞量与同批释汞吸气剂平均含汞量的百分比。
4.63释汞特性曲线
mercuryyieldcharacteristiccurve释汞吸气剂加热温度一释汞率曲线。它综合表征释汞吸气剂释汞性能的优劣。4.64
释汞吸气剂热稳定性thermalstableforgettermercurydispenser释汞吸气剂在应用中可能经历的工艺过程内，由于温度的影响所引起的预先释汞的程度。用释汞吸气剂在压力低于10mPa、温度400℃、保温3min条件下所得的释汞量来表示。钡膜纯度·
钡膜分布.…
比表面积
比放气量
比吸气速率·
比吸着容量….
标准释汞量·
表面扩散
表面扩散活化能…
表面吸附决定区
部分激酒
掺氮量
掺气合金?
掺气吸气剂…
掺氢量
除气·
单质型吸气剂
得锁量
得锁量报告
得银量曲线
得钡量一致性·
得锁率
低温吸气剂·
GB/T4314—2000
附录A
（标准的附录）
汉语索引
放气量?
放热型吸气剂
非蒸散型吸气剂
复合型吸气剂…
5感应加热型吸气剂载体
66500000000005
低温激活型吸气剂······3.14.电阻加热型吸气剂载体：
反射器。
反应型吸气剂
放气或除气速率
高牢固度吸气剂…
高温吸气剂
高温激活型吸气剂
过蒸散·
含锁量
合金型吸气剂
激活·
激活时间
激活温度
加温再生
降压再生·
碱金属释放剂·
碱金属释放吸气剂
把原度
扩散决定区
冷蒸蕾
漏放率
耐高温吸气剂·
起蒸时间·
..3.32
气流量
气体量
气相分子
氢气吸着曲线·
全产额吸气剂
全激活
热蒸散…
热子型吸气剂
释氮量·
释氮吸气动态曲线
释汞剂
释汞量
释汞率
释汞特性曲线
释汞吸气剂…·
释汞吸气剂热稳定性…
视在表面积
特征吸着容量
体扩散
体扩散活化能·
体吸气剂……
脱附速率
外在表面积
吸附相分子
吸气·
吸气表面
吸气材料
吸气剂
吸气剂泵
GB/T4314—2000
··*..2.3
...4.64
吸气剂老化·
吸气剂膜
吸气剂疲劳寿终
吸气剂容器·
吸气剂稳定性·
吸气剂载料
吸气剂载体
吸气剂支架
吸气剂支撑…
吸气剂装载量
吸气剂装置…
吸气量
吸气能力·
吸气速率
吸热型吸气剂此内容来自标准下载网
吸着容量
吸着速度…
吸着特性曲线·
延迟掺气吸气剂
氧化碳吸着曲线
氧化碳吸着容量
预处理后放气量…
蒸散区间·
蒸散曲线
蒸散条件：
蒸散型吸气剂
终端吸气速率…
转换温度
总表面积
总放气量
总释汞量
总吸着容量·
总蒸时间·
10080500001
...4.8
.·3.24
.·3.6
absorption
activation ................
actiyationary temperature
actiyationary time
actiye energy of bulk diffusionactiye energy of surface diffusionadsorbed gas molecule
adsorption ......
ageing of getter
alkali metal dispens
alloygetter
alloy with the gas doped
amount of filling getter
apparent
barium content
barium
barium
barium
barium
GB/T4314—2000
附录B
(标准的附录)
英文索引
S0c00000000
c0006505600600005005000005005005000065005060000050050006000050080000650050060000050ilmdistribution
yieldreport
bulkdiffusion
bulkgetter
1086569666668605069c
cardonmonoxidesorptioncapacitycardonmonoxide sorption curvecoldflashing
combined getter
consistency of barium yield
critical temperature
degassing
desorption
desorption rate
0..0..0...00.00..000000..00.000..0..0...00.00..0..D
........... 4. 30
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