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基本信息

标准号: YS/T 14-1991

YS/T 14-1991异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法

标准类别:有色金属行业标准(YS)

发布日期:1991-04-26

实施日期:1992-06-01

作废日期:2005-07-26

出版语种:简体中文

下载格式:.rar.pdf

相关标签: 测量方法 厚度 多晶 外延

标准分类号

中标分类号:冶金>>半金属与半导体材料>>H82元素半导体材料

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出版信息

页数:4页

标准价格:8.0 元

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标准简介

YS/T 14-1991 异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法 YS/T14-1991