基本信息
标准号:
YS/T 14-1991
YS/T 14-1991异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法
标准类别:有色金属行业标准(YS)
发布日期:1991-04-26
实施日期:1992-06-01
作废日期:2005-07-26
出版语种:简体中文
下载格式:.rar.pdf
相关标签:
测量方法
厚度
多晶
外延
标准分类号
中标分类号:冶金>>半金属与半导体材料>>H82元素半导体材料
关联标准
相关单位信息
标准简介
YS/T 14-1991 异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法 YS/T14-1991