基本信息

标准号： YS/T 14-1991

中文名称：异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法

标准类别：有色金属行业标准(YS)

标准状态：已作废

发布日期：1991-04-26

实施日期：1992-06-01

作废日期：2005-07-26

出版语种：简体中文

下载格式：.rar.pdf

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相关标签： 外延 多晶 厚度 测量方法

标准分类号

中标分类号：冶金>>半金属与半导体材料>>H82元素半导体材料

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出版信息

页数：4页

标准价格：8.0 元

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