基本信息
标准号:
YS/T 15-1991
YS/T 15-1991硅外延层和扩散层厚度测定 磨角染色法
标准类别:有色金属行业标准(YS)
实施日期:1992-06-01
出版语种:简体中文
下载格式:.rar.pdf
相关标签:
扩散
厚度
染色法
外延
标准分类号
标准ICS号:电气工程>>29.045半导体材料
中标分类号:冶金>>半金属与半导体材料>>H82元素半导体材料
关联标准
相关单位信息
标准简介
YS/T 15-1991 硅外延层和扩散层厚度测定 磨角染色法 YS/T15-1991