标准号： YS/T 15-1991
中文名称：硅外延层和扩散层厚度测定 磨角染色法
标准类别：有色金属行业标准(YS)
标准状态：现行
实施日期：1992-06-01
出版语种：简体中文
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相关标签： 外延 扩散 厚度 测定 染色法
标准ICS号：电气工程>>29.045半导体材料
中标分类号：冶金>>半金属与半导体材料>>H82元素半导体材料
页数：5页
标准价格：8.0 元