首页 >  有色金属行业标准(YS) >  YS/T 15-1991 硅外延层和扩散层厚度测定 磨角染色法

基本信息

标准号: YS/T 15-1991

YS/T 15-1991硅外延层和扩散层厚度测定 磨角染色法

标准类别:有色金属行业标准(YS)

实施日期:1992-06-01

出版语种:简体中文

下载格式:.rar.pdf

相关标签: 扩散 厚度 染色法 外延

标准分类号

标准ICS号:电气工程>>29.045半导体材料

中标分类号:冶金>>半金属与半导体材料>>H82元素半导体材料

关联标准

出版信息

页数:5页

标准价格:8.0 元

相关单位信息

标准简介

YS/T 15-1991 硅外延层和扩散层厚度测定 磨角染色法 YS/T15-1991