QJ 3212-2005 氦质谱仪背压检漏方法 QJ3212-2005 标准下载解压密码：www.bzxz.net

中华人民共和国航天行业标准
FL0150
氮质谱仪背压检漏方法
QJ3212—2005
Test methods for leaks using the helium mass spectrometer leak detector in theinside-outtesting mode
2005—04—11发布
国防科学技术工业委员会发布
2005—07—01实施
060508000042
本标准的附录A为资料性附录。
本标准由中国航天科技集团公司提出本标准由中国航天标准化研究所归口。前言
本标准起草单位：中国航天标准化研究所。本标准主要起草人：闫荣鑫、吴孝俭、王振武、张京豪QJ3212—2005
1范围
氨质谱仪背压检漏方法
QJ3212-2005
本标准规定了氮质谱仪背压检漏的设备、环境、安全、人员、试验原理、试验程序的要求。本标准适用于漏率在10\pa·m\/s～10-1opa·m3/s的小型封闭产品的氮质谱背压泄漏检测。2规范性引用文件
下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件，其随后所有的修改单（不包含勘误的内容）或修订版均不适用于本标准，然而，鼓励根据本标准达成协议的各方研究是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本适用于本标准。GB4844-1984氨气
GB/T12604.7-1995无损检测术语泄漏检测GB/T13979-1992氨质谱检漏仪
GJB9712--2002无损检测人员的资格鉴定与认证QJ2040.1一1991标准漏孔的校准方法绝对校准方法QJ2040.2—1991标准漏孔的校准方法相对校准方法3术语和定义
GB/T12604.7一1995确立的以及下列术语和定义适用于本标准。3.1
氰质谱仪背压检漏leaks usingthe helium mass spectrometerleak detector in the inside-outtesting mode
在被检件内压人氨气，清除表面氨气后，放入和氨质谱检漏仪相连的真空容器内测定漏率。3.2
充氨箱pressureheliumbox
容纳被检件，向被检件施加一定压力氨气的容器。3.3
测试室testingchamber
同氮质谱检漏仪相连，并容纳被检件的密封容器。3.4
标准漏率
standard leakage rate
温度在25℃土5℃，人口压力为0.1×（1±5%）MPa，出口压力小于1kPa，露点低于一25℃条件下的大气流动速率。
measured leakagerate
测量漏率
在规定的测试条件下，氮质谱检漏仪测定的被检件漏率。3.6
QJ3212-—2005
等效标准漏率equivalentstandardleakrate以空气作为试验气体情况下，给定器件的标准漏率。4般要求
4.1试验设备
4.1.1概述免费标准下载网bzxz
氮质谱检漏仪背压检漏的试验设备主要由充氨箱、测试室、氮质谱检漏仪组成。4.1.2充氮箱
充氨箱应符合如下要求：
a）密封充氨箱最高应承受大于10×10'Pa的绝对压力，并能够承受小于100Pa的真空：b）在空载状态5.0×10'pa的绝对压力下，2h内箱内的压力降应小于0.2×10'pa。4.1.3测试室
测试室应符合如下要求：
a）测试室应有门或盖，以方便地放入被检件：b）测试室的有效容积应和被检件相适应：c）测试室在关闭门、盖后，应能抽空至氨质谱检漏仪的工作压力；d）测试室一般应有标准漏孔接口。4.1.4氮质谱检漏仪
氨质谱检漏仪应符合如下要求：a）氮质谱检漏仪应满足GB/T13979—1992的要求；b）氨质谱检漏仪的真空检漏漏率范围应在10Pa·m/s～10\pa·m/s:c）氨质谱检漏仪所用的标准漏孔校准按QJ2040.1--1991、QJ2040.2-—1991的规定定期校验。4.2环境要求
测试环境应满足如下要求：
a）温度：25℃±5℃：
b）相对湿度小于80%；
c）工作现场应有通风设备，现场无氨气污染；d）工作现场洁净度应优于100,000级。4.3安全要求
4.3.1充箱和连接管道必须经过10×10°Pa以上的强度试验。4.3.2被检件必须能够承受所加氨气的压力，氨气对被检件不产生任何不良影响，4.3.3加压和排气速度应满足5.2.1d）、5.2.1e）的要求。4.4人员要求
检漏人员必须具备GJB9712一2002规定的无损检测人员资格。4.5氮气
所用氨气应满足GB4844一1984纯氨级的要求。5测试方法
5.1试验原理
QJ3212—-2005
将被检件放人充氨箱，充人一定压力的氨气，在规定的加氮时间内，氮气通过被检件存在的漏孔进人内部，将被检件从充氨箱中取出，用氮气或干燥空气吹除被检件表面残存氨气，在规定的时间内，放人测试室，用氨质谱检漏仪测定被检件漏率，如图1所示。o10
1氨气；2充氨系统；3充氨箱；4被检件：5——测试室；6—氮质谱检漏仪；7—标准漏孔图1氮质谱背压检漏原理示意图
5.2试验程序
5.2.1充氨加压背压检漏
充氨加压背压检漏一般按如下步骤进行；a）开启氨质谱检漏仪，使氨质谱检漏仪处于正常检漏状态，b）将被检件放人测试室，打开质谱检漏仪对测试室抽真空，测试检漏的本底值。用接在测试室上的标准漏孔校验检漏有效最小可检漏率，其值按公式（1）计算：Omin=
式中：
Omin—一检漏最小可检漏率，单位为帕斯卡立方米每秒（Pa·m2/s）；In—检漏仪噪声信号，单位为帕斯卡立方米每秒（Pa·m\/s）；1一一标准漏孔对应于检漏仪的输出信号，单位为帕斯卡立方米每秒（Pa·m\/s）：Io氨质谱检漏仪的本底值，单位为帕斯卡立方米每秒（Pa·m\/s）；Qo一一标准漏孔的标称值，单位为帕斯卡立方米每秒（Pa·m\/s）。(1)
c）对被检件进行附着物处理（油脂可用有机溶剂去除，指印可擦除），放人100℃的烘箱烘烤1h，取出后用氮气或干燥空气连续吹密封面5min以上。d）将被检件放人充氨箱中，对充氨箱抽真空，压力低于100Pa后，用GB4844一1984规定的纯氨充人充氨箱，充氨时间大于20s，当压力达到要求充氨压力后，保压至要求的时间。e）用大于20s的时间排放充氨箱中的氨气至零表压，取出被检件，并用氮气或干燥空气将被检件吹5min以上。
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将有氮气的被检件放人与氨质谱室相连的测试室中，测试被检件的测量漏率为R。f）
g）根据被检件内部可充气体的体积V和允许最大等效标准漏率L，按公式（2）计算测量漏率的极限值Ri；
R=2.68LPJ
式中：
Ri——示漏气体（氮）的测量漏率极限值，单位为帕斯卡立方米每秒（Pa·m2/s）；L一允许最大等效标准漏率，单位为帕斯卡立方米每秒（Pa·m\/s）；P。—充氮压力，单位为帕斯卡（Pa）；Po大气压力，单位为帕斯卡（Pa）；一加压时间，单位为秒（s）：
t2——净化时间，即加压结束至检漏的时间，单位为秒（s）；被检件内腔的体积，单位为立方米（m3）。例如：某被检件的等效漏率L和测量漏率R极限值的计算曲线参见附录A。h）根据公式（3）计算，得出最大可测试的等校漏率Lmax。R=0.
i）当PoVIL≥60h(2×10’）时，公式（2）可简化为公式（4）和公式（5）：R = 7.18 PL
j）对于L小于Lmax的被检件，当被检件的测量漏率R大于R；时，被检件漏率超标，判定为不合格。对于R小于R的被检件，选择最小可检漏率大于Lmx的粗检方法进行粗检，确定被检件无大漏后，判定被检件为合格。
5.2.2预埋氨封接背压检漏
5.2.2.1预埋氨封接背压检漏一般适用于预先充人氨气的被检件，按如下步骤进行：a）当被检件中预先充入分压力为Ps的氮气后封接，在候检时间t3后放入测试室中，抽空检漏。b）按5.2.la）、b）的程序校验检漏最小可检漏率。根据被检件内部可充气体的体积V和允许最大等效标准漏率L，按公式（6）计算测量漏率的极c）
限值R：
R = 2.68LP。
式中：
P，——充氨分压力，单位为帕斯卡（Pa）：t3候检时间，即加压结束至检漏的时间，单位为秒（s）。d）按5.2.h）、i）、i）的程序判定被检件漏率是否超标。5.2.2.2封接后放置时间过长（大于30d），或要求复验检查的被检件，应按照5.2.1进行。4
检漏报告
检漏报告应包括：
被检件的名称、型号、图号及漏率指标试验时间；
试验人员；
氨质谱检漏仪的型号、出厂号；充氨压力或氮浓度；
最小可检漏率；
最大可检漏率；
标准漏孔的型号及标定值；
粗检漏方法；
产品是否合格的结论。
QJ3212--2005
QJ3212-2005
附录A
《资料性附录）
等效漏率L和测量漏率R，极限值的计算曲线等效漏率L和测量漏率极限值R：的计算曲线A.1
等效漏率L和测量漏率极限值R的计算结果A.1.1
某被检件，当Po=1.0×10°Pa，P=5.0×10°'Pa，V=1×10m2，t=3600s，t2=1800s时。按公式（2）计算结果见表A.1。
等效漏率L
Pa·m*/s
等效漏率L和测量漏率极限值R的计算曲线测量漏率的极限值R
Pa·m’/s
1.26721E-13
7.9189E-13
3.1668E-12
7.12361E-12
1.26612E-11
7.9019E-11
3.15322E-10
7.07784E-10
1.25528E-09
7.73406E-09
3.02083E-08
6.63727E-08
1.15231E-07
6.25296E-07
1.9839E-06
3.55726E-06
5.06312E-06
9.12683E-06
6.03838E-06
2.76553E-06
1.11802E-06
2.16261E-09
2.82016E-14
2.75824E-19
2.39793E-24
画出某被检件等效漏率L和测量漏率极限值R；的计算曲线，见图A.1。
根据表A.1的计算结果，
R(Pa·m/s）
被检件等效漏率L和测量漏率极限值R，的计算曲线QJ3212—2005
L（Pa·m/s）
中华人民共和国航天行业标准
氮质谱仪背压检漏方法
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版权专有不得翻印
2005年7月出版
定价：11.00元
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