GB/T 36066-2018 洁净室及相关受控环境 检测技术分析与应用 GB/T36066-2018 标准压缩包解压密码：www.bzxz.net

ICS13.040.35
中华人民共和国国家标准
GB/T36066—2018
洁净室及相关受控环境
检测技术分析与应用
Cleanrooms and associated controlled environmentsAnalysis and application of test technology2018-03-15发布
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局中国国家标准化管理委员会
2018-07-01实施
GB/T36066—2018
规范性引用文件
术语和定义
检测项目与相关应用领域
检测技术要求
检测仪器配置
检测工况分析
附录A（资料性附录）
压差的调试和测试
附录B（资料性附录）
自净检测
附录C（资料性附录）已装过滤系统检漏参考文献
本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草GB/T36066—2018
请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。本标准由全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会（SAC/TC319）提出并归口。本标准起草单位：中电投工程研究检测评定中心、苏州市计量测试研究所、深圳市亿天净化技术有限公司，中天道成（苏州）洁净技术有限公司、常州祥明智能动力股份有限公司，苏州净化工程安装有限公司、苏州市华宇净化设备有限公司、苏州工业园区嘉合环境技术工程有限公司、中国标准化协会、北京世源希达工程技术有限公司，北京希达建设监理有限责任公司，上海德威净化设备工程有限公司，深圳新科特种装饰工程公司、中国电子学会洁净技术分会。标准主要起草人：王尧、张利群、陈霖新、张俊峰、杨子强、蒋乃军、夏群艳、姜皓遐、张敏、高正、徐火炬、石小雷、苏钢民、王鸿明、王大干、殷晓冬、谭军、王样、杨新宇。HiiKAoNiKAca
1范围
洁净室及相关受控环境
检测技术分析与应用
本标准给出了洁净室及相关受控环境的检测要求、基本仪器配置和技术要求本标准适用于洁净室及相关受控环境的检测技术分析与应用。2规范性引用文件
GB/T36066—2018
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单)适用于本文件GB/T25915.1一2010洁净室及相关受控环境第1部分：空气洁净度等级3术语和定义
下列术语和定义适用于本文件
单向流unidirectionalairflow
通过洁净区整个断面、风速稳定、大致平行的受控气流。注：这种气流可定向清除洁净区的粒子。3.2
非单向流
non-unidirectional airflow
送入洁净区的空气以诱导方式与区内空气混合的一种气流分布。3.3
离散粒子计数器discrete-particlecounter：DPC可显示并记录确定体积空气中离散粒子数量和直径（可辨别粒径）的仪器。3.4
测试气溶胶
test aerosol
具有已知并受控的粒径分布及浓度的固体和（或)液体粒子的气态悬浮物。3.5
气溶胶发生器
Faerosolgenerator
能以加热、液压、气动、超声波、静电等方式生成浓度恒定、粒径范围适当的（例如，0.05um～2um）微粒物质的器具。
气溶胶光度计aerosolphotometer利用光散射原理、用前散射光腔测量空气悬浮粒子质量浓度的仪器3.7
installed filter system
已装过滤系统
已安装在顶棚、侧墙、装置、风管上的过滤系统。1
iiKANiKAca
GB/T36066—2018
已装过滤系统检漏
installedfiltersystemleakagetest为确认过滤器安装良好，向设施内无旁路渗漏，过滤器及其安装框架均无缺陷和渗漏而进行的检测。
扫描scanning
让气溶胶光度计或离散粒子计数器的采样口覆盖面，以略有重叠的往复行程移过规定的检测区来查找过滤器及其他部件渗漏的方法。3.10
isokinetic sampling
等动力采样
采样口进气气流的平均风速与该位置上单向流的平均风速相等的采样条件。3.11
渗漏leak
过滤系统因密封性欠佳或缺陷使污染物漏出，造成下风向浓度超过预期值。3.12
泄漏leak
压差检测所发现围护结构的缺陷。3.13
自净时间
cleanliness recovery characteristic洁净室被污染后，净化空调系统开始运行到恢复到稳定的规定室内洁净度等级的时间。3.14
阅值粒径
threshold size
选定的最小粒径以测量大于或等于该粒径的粒子浓度检测项目与相关应用领域
不同应用领域的常规检测项目见表1。表1各应用领域常规检测项目
检测项目
洁净度（ISO1级~ISO9级）/（Pe/m）菌落数（包括浮游菌、沉降菌、表面微生物的控制）/CFU风量Q/（m/h）
压差△P/Pa
风速V/(m/s）
单向流
单向流
应用领域
I级手术室
工作区
科学实验室
实验室有要求
如纳米实验室
生物安全
实验室
生物安全柜
单向流
iiKANiKAca
检测项目
气流方向（检测与竖向的夹角）温度T/℃
相对湿度/%
噪声/dB(A)
照度E/1x
自净时间/min
表1（续）
单向流
选择项
洁净度的分级按照GB/T25915.1—2010分为ISO1级～ISO9级。制药
选择项
应用领域
GB/T36066—2018
选择项
选择项
科学实验室
纳米实验室
b菌落数CFU用于微生物受控环境，如医疗设施、制药工业、食品行业、相关实验室等。根据技术规范选择部分或全部控制。
压差△P包括正压和负压。负压主要用于医疗设施的正负压手术室、负压隔离病房：生物安全实验室（生物安全三级BSL-3、生物安全四级BSL-4实验室）等相关受控环境。压差的调试和测试参见附录Ad参见附录B。
5检测技术要求
5.1检测条件
5.1.1已装过滤系统检漏合格。（过滤器出厂前应检漏合格；已装过滤系统检漏可以作为单项列入检测项目)（参见附录C）。
5.1.2净化机组系统完成吹扫和调试，风速、风量及压差符合设计要求。5.2技术准备
熟悉设施的系统及其特点。
5.2.2确定检测项目（包括特定要求）。5.2.3确定相关技术标准（包括受控文件和新颁布的技术标准）。确定检测环境的占有状态（空态、静态、动态）。5.2.4
配备相关检测仪器及辅料、配件。5.2.6准备检测相关文本（布点图、空白表格等）5.3
检测仪器受控
5.3.1仪器仪表在标定的有效期并能正常运转，辅料在使用有效期。5.3.2仪表量程、灵敏度/分辨率、满足检测项目要求，5.3.3仪表准确度/测量不确定度满足检测项目要求。3
HiiKAoNiKAca
GB/T36066—2018
5.4检测人员
5.4.1作业人员需经过上岗培训。5.4.2作业人员穿戴满足洁净室等级要求的洁净工作服5.4.3进人洁净区作业人员人数控制，降低人员造成的污染风险。5.5检测作业要素
5.5.1严格执行仪器仪表正确的操作规程（警如，“归零”，取样管“空吹”，噪声仪对标准声源“校准”，测点的位置和高度“确定”等）。5.5.2检测项目顺序：
风量、风速、压差检测。
一空气过滤器“安装检漏”作业（承建商已完成检漏，此项仍需复查或进行抽检）。洁净度检测。
一噪声、照度、温度、相对湿度项目检测。一菌落数项目检测。系统灭菌、消毒后，运行24h后，进行沉降菌取样，及时送实验室培样。异地沉降菌取样，宜使用完全密封的一次性采样血，采样后以最快速度送回实验室培样（一般不超过12h）。
气流平行度测试。
5.5.3作业人员执行经过验证行之有效的质量手册和作业规程。5.5.4数据整理。确保采集数据的真实性，无修改。保留原始记录并存档。5.6
测试报告
至少包括下列内容：
合同要求的检测项目和相关要求b）
执行的相关技术标准。
检测使用的仪器仪表清单（型号、规格、编号、校准/标定日期）。检测布点图。
检测数据。
检测结果。
检测数据分析（根据业主专项要求，按照检测结果对设施的性能进行评价，并提出整改技术措施）。
6检测仪器配置
常用检测仪器基本要求见表2。仪器或仪器组合及使用需遵循生产厂家的建议注：表2参照美国国家平衡局（NEBB，NationalEnvironmentalBalancingBrueau）洁净室（分级）认证测试标准程式(Procedural Standards for Certified Testing of Cleanrooms)和 GB/T25915.3-2010.4
iiKANiKAca
测试项目
设备/仪器
风速仪
（风速直接测量）
压力仪
风速和均匀
度测试
风量和均匀
度测试
已装空气过
滤器系统
检漏(渗漏）
（光度计法）
表2常用检测仪器基本要求
测量限值/量程：设施检测为0.1m/s~1.0m/s，风管检测0.5m/s~20m/s
灵敏度/分辨率：0.05m/s（或满刻度的1%）准确度/测量不确定度：读数士0.1m/s的土5%测量限值/量程：0.25m/s~12.5m/s灵敏度/分辨率：0.1m/s
（风速直接测量）
准确度/测量不确定度：读数的士5%（按当地大气条件将速度压力转换为风速）测量限值/量程：0.13m/s12.5m/s速度矩阵
皮托管或
单点探头
带读数风量罩
压力仪
皮托管或
单点探头
气溶胶光度计
气溶胶发生器
扫描探头
准确度/测量不确定度：读数的士5%；0.25m/s~40m/s,±0.04m/s
测量限值/量程：0.13m/s~12.5m/s准确度/测量不确定度：读数的土3%0.25m/s~40m/s,±0.04m/s
测量限值/量程：40m/h~3600m/h灵敏度/分辨率：1m/h
准确度/测量不确定度：读数的士5%测量限值/量程：0.25m/s~12.5m/s灵敏度/分辨率：0.1m/s
准确度/测量不确定度：读数的士5%（按当地大气条件将速度压力转换为风速）测量限值/量程：0.13m/s~12.5m/s准确度/测量不确定度：读数的土3%；0.25m/s25m/s,±0.04m/s
GB/T36066—2018
校准时间间隔
不超过12个月
不超过12个月
不超过12个月
不超过12个月
不超过12个月
不超过12个月
不超过12个月
采样流量为28.3L/min，探头口大小按等动力采样确定，读数为线性或对数
测量限值/量程：0.001pg/L~100ug/L（线性）：0.01μg/L~100μg/L（对数）
灵敏度/分辨率：0.001pg/L
准确度/测量不确定度：选定范围全刻度的1%生成多分散或单分散式人工粒子气溶胶介质的装置，其中包括拉斯金喷嘴类型、热生成器、雾化器等配有长度不超过8m采样管的（方形或长方形）扫描探头不超过12个月
不超过12个月
无要求
GB/T36066—2018
测试项目
已装空气
过滤器系统
检漏(渗漏）
（粒子计数
器法）
洁净度分级
测试(悬浮
粒子计数）
压差测试
光照度和
均匀度测试
声级测量
设备/仪器
粒子计数器
扫描探头
气溶胶发生器
稀释器
粒子计数器
采样探头
压力仪
照度计
声级计/噪声计
标准声源
表2（续）
-种光散射仪，配备显示、记录功能，对空气中的离散粒子计数、计径。
这类仪器需提供28.3L/min的最小采样流量（流量士5%）和最小粒径0.3μm（高效过滤器）、0.1um（超高效过滤器）的阅值粒径分辨率（一般≤10%）。
准确度/测量不确定度：在粒径设定档，浓度误差土20%。计数效率：第一粒径（阅值粒径）为50%土20%，第二粒径（阅值粒径1.5倍）为100%±10%
配有长度不超过8m采样管的近似等动力（方形或长方形）扫描探头
生成多分散或单分散式人工粒子气溶胶介质的装置，其中包括拉斯金喷嘴类型、热生成器、雾化器等在被测过滤器上风向对气溶胶采样的装置，稀释后的计数结果不应超过100000颗粒子
一种光散射仪，配备显示，记录功能，对空气中的离散粒子计数计径。
这类仪器需提供28.3L/min的最小采样流量（流量士5%）和最小粒径0.3um（高效过滤器）.0.1μm（超高效过滤器）的阅值粒径分辨率（一般≤10%）。
准确度/测量不确定度：在粒径设定档，浓度误差土20%。计数效率：第一粒径（阅值粒径）为50%土20%，第二粒径（阅值粒径1.5倍）为100%±10%
仪器配有长度不超过8m采样管的等动力采样探头，探头进风口风速保持在测试气流的流速
测量限值/量程：0Pa~2000Pa
灵敏度/分辨率：≤1Pa
准确度/测量不确定度：读数的土2%测量限值/量程：01x30001x
灵敏度/分辨率：≤21x
准确度/测量不确定度：读数的士4%测量限值/量程：35dB~130dB
灵敏度/分辨率：0.1dB
准确度/测量不确定度：土2dB
测量前用标准声源对声级计进行校准准确度/测量不确定度：土0.5dB校准时间间隔
不超过12个月
无要求
不超过12个月
不超过12个月
不超过12个月
无要求
不超过12个月
不超过12个月
不超过12个月
不超过12个月
测试项目
普通温湿度
均匀度测量
气流平行度
测试（示踪
线法）
气流平行度
测试(示踪
剂法）
设备/仪器
空气温度测量仪
相对湿度测量仪
测试介质
支架/
带指示器支架
表2（续）
测量限值/量程：4.5℃~38℃
灵敏度/分辨率：0.1℃
准确度/测量不确定度：计数的土1%测量限值/量程：10%~90%
灵敏度/分辨率：土1%
准确度/测量不确定度：土2%
烟雾发生装置
GB/T36066—2018
校准时间间隔
不超过12个月
不超过12个月
将测试介质定位在规定位置和高度的装置，对房间气流影响达到最小
铅锤/气泡水平仪」用线悬锤、找准垂直线皮尺
测试介质
气流流形测试仪
线性测量装置，最小分辨率1mm
直径为0.15μm50μm去离子水雾目测并高速照相机或摄像机记录注：测试项目不包括微振振级测试、静电测试、导电性测试、电磁干扰（EMI)测量。检测工况分析
无要求
无要求
严格遵循作业手册和操作规程、合理选配检测仪器和检测人员的专业水平、实践经验是保障检测数据准确的关键。
检测数据偏离的原因是多而复杂，包括：设计和施工弊端、设备和系统的缺陷、检测作业失误、人员影响（在受控环境中，人是重要的污染源）、检测仪器问题（量程、精度不符以及故障等）表3列出检测项目偏离目标值的主要原因，但不限于此。表3检测项目偏离目标值的主要原因解析检测项目
温度T
异常工况
温度数值偏高
温度精度不能满足
主要原因。
a）冷量不够，包括制冷机出力不足和系统加不进冷量。相关状态：空调风量不够、空调送水温度偏高、表冷器换热面积偏小等。b）空调柜风机温升极端过高
a）送风温差偏大，需加大送风量送风不均勾（送风管道设计缺陷，造成阻力不均衡：进风口布置不当：回b）
风口布置不合理）。
末端加热器处测点和室内取样点处的测量仪器探头精度不能满足要求。一般测量仪器探头的精度为所要检测温度精度值的1/5。d）执行机构反应速度太慢以及末端加热器选择不合适7
GB/T36066—2018
检测项目
异常工况
夏季湿度偏高
相对湿度
冬季湿度偏低
不能顺利建立压力
压差AP
洁净度
单向流
流速V
不达标
气流方向与竖向夹
角超过14°
不均匀
噪声/dB(A)|超标
照度/1x
不达标
表3（续）
主要原因
表冷器空调冷冻水供水温度偏高。不能满足空调冷冻水回水温度低于空气处理的机器露点0.7℃以上的热力学要求。表冷器换热效果差（结垢、结构缺陷、换热面积不足、设计缺陷b）
表冷系统设计成一级表冷系统等）。二级
除湿方法选择不当，当相对湿度≤40%时，冷冻去湿已不能满足要求，需采用化学去湿
加湿器选型错误（热力学工况为等温加湿型选成等恰加湿型）。采用水加湿（等加湿）方法时，加湿前空气要加热到30℃以上，方能完成加湿目的。
加湿器失灵（结水垢：电气故障）风量不平衡（系统风阀工作不正常：系统漏风量过大：新风量不足；排风系统工作不稳定等）。
设计缺陷：1）检测难定压差调节“零压点”“零压点”位置选择不合适，b)
零点稳不住，波动太大；
2）负压洁净室的进出口未设缓冲间a)
净化风量不够（单向流空气过滤器出口断面风速偏小，非单向流换气次数太少)。
空气过滤器少装、堵塞、渗漏（“扫描”诊断）。b)
末端过滤器效果有问题（不是高效过滤器）。回风有间题：回风口设置位置不合理；各点回风阻力偏差太大（需调整架d)
空地板开孔率）；设计弊端导致气流组织失调。洁净室内正压不足，甚至出现负压。e）
进出洁净室人员对的影响
回风阻力不均勾（回风口总面积不够：回风口布置不合理：高架地板开孔面积不够或与送风量不匹配：高架地板净空太低等）a)bzxZ.net
空气过滤器布置缺陷，自身结构缺陷及滤材质量问题造成气流组织混乱，局部产生紊流。
b）工艺设备布置或发热设备热气流影响a)
送风管太小，以致气流速度过高，气流噪声（通常工作面高度气流速度控制在0.25m/s左右）。
消声系统问题（未装消声器劣质消声器、送风系统消声器配置不合理）。FFU单机噪声偏高。
d）环境背景噪声影响（工艺设备噪声、气体管道阀门泄漏、动力设施噪声源传播等）。
标准指标不合适：
通常控制值单向流≤65dB(A），非单向流≤60dB（A）技术标准指标值偏高（电子工厂黄光区指标过高）。a）
灯具配置不到位，造成照度低
表中所列为主要原因，但不限于此8
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