YS/T 1129-2016钨钛合金靶材

ICS 77.160 H72 YS 中华人民共和国有色金属行业标准 YS/T1129—2016 钨钛合金靶材 Tungsten Titanium Alloy Sputtering Target 2016-07-11发布 2017-01-01实施 中华人民共和国工业和信息化部 发布 前言 本标准按照GB/T 1.1—2009给出的规则起草。 本标准由全国有色金属标准化技术委员会（SAC/TC243）提出并归口。 本标准起草单位：西安瑞福莱钨钼有限公司、北京天龙钨钼科技股份有限公司、厦门虹鹭钨钼工业有限公司。 本标准主要起草人：李长亮、任吉文、刘云飞、苏国平、白锋、韩蕊蕊。 1 范围 本标准规定了溅射用钨钛合金靶坯的要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、质量证明书及订货单（或合同）等内容。 本标准适用于钨钛合金溅射靶材加工用靶坯。 2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件；凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB/T 3850 致密烧结金属材料与硬质合金密度测定方法 GB/T 4324（所有部分） 钨化学分析方法 GB/T 6394 金属平均晶粒度测定方法 GB/T 8651 金属板材超声板波探伤方法 GB/T 14265 金属材料中氢、氧、氮、碳和硫分析方法通则 YS/T 901 高纯钨化学分析方法 痕量杂质元素的测定 辉光放电质谱法 3 要求 3.1 分类 3.1.1 产品按外形分为圆形、矩形。 3.1.2 产品按化学成分分为WTi-99.9、WTi-99.95、WTi-99.99、WTi-99.995、WTi-99.999。 3.2 化学成分 产品的化学成分应符合表1的规定，其中钨钛含量为100%减去表中非气体杂质实测含量总和。 表1 化学成分 牌号：WTi-99.9 钨钛含量（质量分数）/%：≥99.9 Ti（质量分数）/%：20 非气体杂质含量（×10⁻⁶）：Al≤10，Ca≤15，Cr≤5。 Fe≤100，Mg≤10，Mn≤30，Mo≤10，Ni≤10，Si≤10，Zr≤10。 Li≤10，Na≤1，K≤1，Li+Na+K≤1，P≤5，F≤5，Cl≤10。 U≤0.01，Th≤0.01。 气体杂质含量（×10⁻⁶）：C≤100，N≤100，O≤1500，H≤100，S≤20。 牌号：WTi-99.95 钨钛含量（质量分数）/%：≥99.95 Ti（质量分数）/%：15 非气体杂质含量（×10⁻⁶）：Al≤5，Ca≤10，Cr≤5。 Fe≤50，Mg≤5，Mn≤20，Mo≤5，Ni≤10，Si≤10，Zr≤5。 Li≤5，Na≤1，K≤1，Li+Na+K≤1，P≤5，F≤3，Cl≤5。 U≤0.01，Th≤0.01。 气体杂质含量（×10⁻⁶）：C≤100，N≤100，O≤1500，H≤100，S≤10。 牌号：WTi-99.99 钨钛含量（质量分数）/%：≥99.99 Ti（质量分数）/%：5～15 非气体杂质含量（×10⁻⁶）：Al≤10，Ca≤3，Cr≤8。 Fe≤45，Mg≤3，Mn≤15，Mo≤3，Ni≤5，Si≤5，Zr≤3。 Li≤3，Na≤0.01，K≤1，Li+Na+K≤1，P≤3，F≤0.1，Cl≤5。 U≤0.002，Th≤0.002。 气体杂质含量（×10⁻⁶）：C≤100，N≤50，O≤1200，H≤50，S≤5。 牌号：WTi-99.995 钨钛含量（质量分数）/%：≥99.995 Ti（质量分数）/%：5 非气体杂质含量（×10⁻⁶）：Al≤2，Ca≤5，Cr≤1。 Fe≤35，Mg≤1，Mn≤10，Mo≤2，Ni≤5，Si≤5，Zr≤2。 Li≤1，Na≤0.01，K≤1，Li+Na+K≤1，P≤1，F≤2.5，Cl≤0.1。 U≤0.002，Th≤0.002。 气体杂质含量（×10⁻⁶）：C≤50，N≤50，O≤1000，H≤50，S≤2.5。 牌号：WTi-99.999 钨钛含量（质量分数）/%：≥99.999 Ti（质量分数）/%：3 非气体杂质含量（×10⁻⁶）：Al≤1，Ca≤5，Cr≤1。 Fe≤25，Mg≤1，Mn≤5，Mo≤2，Ni≤2，Si≤3，Zr≤2。 Li≤1，Na≤0.01，K≤0.2，Li+Na+K≤0.07，P≤2，F≤0.1，Cl≤2。 U≤0.001，Th≤0.001。 气体杂质含量（×10⁻⁶）：C≤50，N≤50，O≤800，H≤50，S≤2。 3.3 密度 产品的密度值应不小于理论密度的98%。 3.4 晶粒尺寸 产品由钨和钛两种晶粒组成，两者的晶粒尺寸应符合表2规定。 表2 晶粒尺寸 钨晶粒尺寸平均值：5μm，最大值≤15μm。 钛晶粒尺寸平均值：45μm，最大值≤120μm。 3.5 内部质量 产品内部不应有分层、疏松、夹杂和气孔等缺陷。 3.6 尺寸及其允许偏差 产品尺寸及其允许偏差应符合相关规定。