YS/T 1123-2016
基本信息
标准号:
YS/T 1123-2016
中文名称:铂蒸发料
标准类别:其他行业标准
英文名称:Evaporated platinum material
标准状态:现行
发布日期:2016-07-11
实施日期:2017-01-01
出版语种:简体中文
下载格式:.pdf .zip
相关标签:
蒸发
标准分类号
标准ICS号:冶金>>有色金属产品>>77.150.99其他有色金属产品
中标分类号:冶金>>有色金属及其合金产品>>H68贵金属及其合金
关联标准
出版信息
出版社:中国标准出版社
页数:12页
标准价格:16.0
出版日期:2017-01-01
相关单位信息
起草人:张巧霞、张涛、王兴权、向磊、万小勇、贺昕、张玉利、王越、王永辉、贾存锋
起草单位:有研亿金新材料有限公司、有色金属技术经济研究院
归口单位:全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)
提出单位:全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)
发布部门:中华人民共和国工业和信息化部
主管部门:全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)
标准简介
本标准规定了铂蒸发料的要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、质量证明书及订货单(或合同)内容。本标准适用于半导体行业用的铂蒸发料。
标准内容
ICS 77.150.99
中华人民共和国有色金属行业标准YS/T1123—2016
Evaporated platinum material2016-07-11发布
中华人民共和国工业和信息化部发布
2017-01-01实施
本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草本标准由全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC243)提出并归口。本标准起草单位:有研亿金新材料有限公司、有色金属技术经济研究院。YS/T1123—2016
本标准主要起草人:张巧霞、张涛、王兴权、向磊、万小勇、贺昕、张玉利、王越、王永辉、贾存锋。I
1范围
铂蒸发料
YS/T1123—2016
本标准规定了铂蒸发料的要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、质量证明书及订货单(或合同)内容,
本标准适用于半导体行业用的铂蒸发料。规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。GB/T1419—2004海绵铂
GB/T2828.1计数抽样检验程序第1部分:按接收质量限(AQL)检索的逐批检验抽样计划GB/T15077—2008
3贵金属及其合金材料几何尺寸测量方法3要求
3.1产品分类
3.1.1产品按照化学成分分为IC-Pt99.95、IC-Pt99.99两个牌号,3.1.2产品主要分为片状、柱状,如图1所示。产品形状、定义及供货状态应符合表1的要求,需方有其他要求时由供需双方协商解决。L
说明:
A—长度;
B——宽度;
C—厚度;
a)片状
b)柱状
长度;
D直径。
铂蒸发料示意图
铂蒸发料分类
厚度为0.5mm~5mm,长度为5mm~20mm,宽度为5mm~20mm的片材直径为2mm~8mm,长度为3mm~10mm的丝线材供货状态
加工态
YS/T1123—2016
牌号表示方法和标记示例
片状标记示例
IC-Pt99.99-mm×mm×mm-YS/T1123—2016厚
示例:长为10mm、宽为10mm、厚为2mm、纯度为99.99%的片状铂蒸发料产品标记为IC-Pt99.99-10X10X2mm-YS/T1123—20163.2.2
柱状标记示例
IC-Pt99.99-mm×mm-YS/T1123—2016长度
示例:直径为6mm、长为6mm、纯度为99.99%的柱状铂蒸发料产品标记为:IC-Pt99.99-6X6mm-YS/T1123—20163.3
化学成分
产品的化学成分要求见表2。
IC-Pt 99.95
IC-Pt99.99
IC-Pt99.95
IC-Pt 99.99
Pt(质量分数)/%,
不小于
Pt(质量分数)/%,
不小于
铂蒸发料的化学成分
杂质含量(质量分数)/%,不大于Au
杂质含量(质量分数)/%,不大于Rh
注:需方对某种特定杂质元素含量有要求的,由供需双方协商执行。a杂质总和为表中所列杂质实测值之和。b铂蒸发料的铂含量为100%减去表中所列杂质实测值之和的余量。3.4
几何尺寸
产品的几何尺寸及允许偏差见表3。Si
杂质总量“
允许偏差
外观质量
表3几何尺寸及允许偏差下载标准就来标准下载网
产品表面应光亮平整、洁净,边角完整、无飞边、毛刺、夹杂和裂纹等缺陷。产品表面应清洁、无油污和锈蚀;应无颗粒附加物和其他沾污。产品端面或表面允许有轻微的冲、剪、裁等痕迹。3.5.3
试验方法
YS/T 1123—2016
单位为毫米
4.1产品化学成分的分析方法按GB/T1419一2004中附录A和附录B的规定执行。4.2产品几何尺寸测量按GB/T15077一2008的方法1直接测量法执行。4.3
外观质量用目视检查,如发现异常现象,用10倍放大镜鉴别。5
检验规则
检查和验收
5.1.1产品由供方检验部门进行检验,保证产品质量符合本标准和订货单(或合同)的规定,并填写质量证明书。
5.1.2需方收到产品,可按本标准的规定进行复验。如复验结果与订货单(或合同)的规定不符时,应在收到产品之日起30天内向供方提出,由供需双方协商解决。如需仲裁,仲裁取样应由供需双方在需方共同进行。
5.2组批
产品应成批提交检验。每批应由同一熔炼炉次、同一几何尺寸的产品组成,5.3检验项目及取样
检验项目、取样位置及数量应符合表4的规定。表4
检验项目、取样位置及数量
检验项目
化学成分
几何尺寸
外观质量
取样位置
成品随机取样
成品随机取样
取样数量
每批2粒
按GB/T2828.1取S-1,AQL=1.5抽取样品按GB/T2828.1取S-1,AQL=1.5抽取样品要求的章条号
检验的章条号
YS/T1123—2016
5.4检验结果的判定
5.4.1化学成分不合格时,则判该批产品不合格。2几何尺寸、外观质量不合格时,重新取双倍样进行重复试验,若仍有不合格,对余下的产品按几5.4.2
何尺寸、外观质量的取样数量进行检验,合格者重新组批交货。标志、包装、运输、贮存和质量证明书6
6.1标志
在已检验合格的每瓶或每袋产品上应附标签,注明以下内容:产品名称;
b)纯度;
c)规格;
d)净重;
批号;
生产日期;
供方名称;
生产厂家地址电话。
包装、运输和贮存
产品内包装可采用塑料瓶包装和真空封装两种,塑料瓶包装的瓶口铝封膜要封口完整,无开裂6.2.1
无贯通。真空袋封口要平整无贯通,真空袋体无漏洞,无真空泄漏。6.2.2产品外包装采用纸箱或木箱包装。经供需双方协商还可采用其他方式包装6.2.3产品运输过程中应防止碰伤、擦伤,并保证运输过程中产品及包装完整,6.3
3质量证明书
每批产品应附有质量证明书,并注明以下内容:a)
供方名称;
b)产品名称;
c)纯度;
d)规格;
数量;
f)净重;
g)批号;
生产日期;
本标准编号(YS/T1123—2016)。订货单(或合同)内容
订购本标准所列产品的订货单(或合同)内应包括以下内容:a)产品名称;
b)纯度;
c)规格;
供货状态;
数量;
f)本标准编号(YS/T1123—2016);其他。
YS/T1123—2016
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