ICS 77.150.50 H64 中华人民共和国有色金属行业标准 YS/T 1141—2016 钛蒸发料 Evaporated titanium material 发布：2016-07-11 实施：2017-01-01 发布单位：中华人民共和国工业和信息化部 前言 本标准按照 GB/T 1.1—2009 给出的规则起草。 本标准由全国有色金属标准化技术委员会（SAC/TC243）提出并归口。 本标准起草单位：有研亿金新材料有限公司、中国有色金属工业标准计量质量研究所。 本标准主要起草人：张涛、刘书芹、何金江、万小勇、徐学礼、罗俊锋、丁照崇、王越、高岩、刘冬青、吴艳华。 1 范围 本标准规定了钛蒸发料的要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮存、质量证明书和合同（或订货单）内容。 本标准适用于半导体行业用的钛蒸发料。 2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB/T 2828.1 计数抽样检验程序 第1部分：按接收质量限（AQL）检索的逐批检验抽样计划 GB/T 4698.7 海绵钛、钛及钛合金化学分析方法 氧量、氮量的测定 GB/T 4698.14 海绵钛、钛及钛合金化学分析方法 碳量的测定 GB/T 4698.15 海绵钛、钛及钛合金化学分析方法 氢量的测定 YS/T 891 高纯钛化学分析方法 痕量杂质元素的测定（辉光放电质谱法） YS/T 892 高纯钛化学分析方法 痕量杂质元素的测定（电感耦合等离子体质谱法） 3 要求 3.1 产品分类 3.1.1 产品按纯度分为以下三个牌号：IC-Ti99.9、IC-Ti99.995、IC-Ti99.999。 3.1.2 产品形状主要分为片状和柱状。 片状尺寸参数包括边长A、边长B和厚度C；柱状尺寸参数包括直径D和长度L。 3.2 化学成分 3.2.1 产品化学成分要求 钛蒸发料的纯度采用减量法计算，即为100%减去规定杂质实测总和。若需方对特定杂质元素有要求，由供需双方协商确定。 各牌号钛含量（质量分数）应不低于： IC-Ti99.9：99.9%； IC-Ti99.995：99.995%； IC-Ti99.999：99.999%。 主要杂质元素包括但不限于：Ag、Al、Si、K、Li、Sn、Ca、Co、Cr、Mg、Mn、Mo、Na、Th、U、V、W、Cu、Ni、Zn、Fe、Pb、Zr、S等，其含量应符合标准规定限值。 3.2.2 气体杂质元素含量 气体杂质元素包括C、H、N、O等，其含量应符合标准规定要求。例如： C、H、N、O等元素含量随产品纯度等级不同而有不同限值，整体要求为低含量控制，以保证材料纯度。 3.3 几何尺寸 产品的规格及允许偏差应符合标准规定。片状和柱状产品的尺寸参数包括边长、厚度、直径及长度等，其允许偏差需满足相关表格要求。 （注：原文表格内容因OCR识别不完整，已按可识别信息整理为描述性文本。）