本标准规定了钒蒸发料的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及质量证明书与合同（或订货单）内容。本标准适用于半导体行业用的钒蒸发料。

ICS77.150.99
中华人民共和国有色金属行业标准YS/T1142—2016
钒蒸发料
Evaporatedvanadiummaterial
2016-07-11发布
中华人民共和国工业和信息化部发布
2017-01-01实施
同方知网(北京)技术有限公司
中华人民共和国有色金属
行业标准
钒蒸发
YS/T1142—2016
中国标出版社出版发行
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2017年5月第一版
书号：155066：2-31621
版权专有
侵权必究
本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。本标准由全国有色金属标准化技术委员会（SAC/TC243）提出并归口。本标准起草单位，有研亿金新材料有限公司。本标准参加起草单位：北京有色金属研究总院YS/T1142—2016
本标准主要起草人：张涛、张巧霞、陈明、徐国进、张殿凯、张玉利、贾存锋、贺昕、王兴权、庞欣、吕超、雷争
章程。
同方知网(北京）技术有限公司
1范围
钒蒸发料
YS/T1142—2016
本标准规定了蒸发料的要求试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及质量证明书与合同（或订货单）内容。
本标准适用于半导体行业用的钒蒸发料。2
规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本受件第1部分：按接收质量限（AQ检索的逐批检验抽样计划GB/T2828.1计数抽样检验程序
3要求
3.1产品分类
产品按照纯度分为ICV99.9、IC-V99.95两全产品主要分为片状和柱状，如图1所示A
说明：
A———边长：
B—边长：
C厚度：
D直径：
L—长度。
3.2化学成分
a)）片状
b)柱状
图1钒蒸发料示意图
产品的化学成分要求见表1。产品中钒的含量按照减量法计算，即100%减去表中规定的杂质实测总和而得。需方对某种特定杂质元素含量有要求时，由供需双方协商执行。1
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IC-V99.95
IC-V99.95
几何尺寸
V（质量分数）/%，
不小于
V（质量分数）/%，
不小手
产品的规格及允许偏差见表2。
化学成分
充许偏差
杂质含量（质量分数）/%.不大于Fe
杂质含量（质量分数）/%，不大于Ti
规格及允许偏差
注：经双方协商可提供其他规格及充许偏差的产品。外观质量
产品表面应光亮平整，边角完整，无飞边毛刺、夹杂和裂纹等缺陷产品表面应清洁、无油污和锈蚀，应无颗粒附加物和其他沾污。产品端面或表面允许有轻微的冲、剪裁等痕迹。试验方法
单位为毫米
产品牌号为IC-V.99.9的化学成分分析按附录A进行，产品牌号为IC-V99.95的化学成分分析4.1
按附录B的规定进行。
4.2产品几何尺寸用相应精度的量具进行测定。4.3
外观质量用目视检查，如发现异常现象，用10倍放大镜鉴别。5
检验规则
检查和验收
产品由供方检验部门进行检验保证产品质量符合本标准和合同（或订货单）的规定，并填写质5.1.1
量证明书。
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5.1.2需方应对收到的产品按本标准的规定进行复验。如复验结果与本标准（或订货合同）的规定不符时，应在收到产品之日起一个月内向供方提出，由供需双方协商解决。如需仲裁，仲裁取样应由供需双方在需方共同进行。
5.2组批
产品应成批提交检验。每批应由同一牌号、同一规格的产品组成，检验项目及取样
检验项目、取样位置及数量应符合表3的规定。表3检验项目及取样
检验项目
化学成分
几何尺寸
外观质量
取祥位置
成品随机取样
成品随机取样
检验结果的判定
取样数量
每批一份，供方可以由原铸锭分析结果报出；需方在产品上取样分析
按GB/T2828.1取S1.AQL=1.5抽取样品按GB/T2828.1取S1.AQL-1.5抽取样品化学成分不合格时，则判该批产品为不合格。5.4.1
要求的意察号
试验方法的章条号
但允许对余下的产品进行逐件检验，合格5.4.2几何尺寸，外观质量不合格时，则判该批产品不合格网(北京）
者重新组批交货。
标志、包装、运输、贮存及质量证明书6
已检验合格的每瓶或每袋产品应附标签，并注明以下内容：同方
产品名称；
牌号：
规格；
净重：
批号：
生产日期；
供方名称；
生产厂家地址电话。
包装、运输和购存
钒蒸发料内包装可采用塑料瓶包装和真空封装两种，塑料瓶包装的瓶口铝封膜应封口完整，无6.2.1
开裂、无贯通。真空袋封口应平整，无贯通，真空袋体无漏洞和泄漏6.2.2产品外包装采用纸箱或木箱包装。经供需双方协商还可采用其他方式包装。6.2.3产品运输过程中应防止碰伤、擦伤，不得损坏和沾污产品，并保证运输过程中产品及包装完整。6.2.4产品应保存于清洁、干燥的环境中。3
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质量证明书
每批产品应附有质量证明书.并注明以下内容：a)
需方名称；
供方名称；
产品名称：
牌号：
规格；
数量：
净重：
批号：
各项分析检验结果及质量部门印记；生产日期；
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本标准编号（YS/T1142—2016）。合同（或订货单）内容
订购本标准所列产品的合同（或订货单）内应包括下列内容：产品名称：
牌号：
规格；
数量：
本标准编号（YS/T1142-—2016）：其他。
A.1范围
附录A
（规范性附录）
电感耦合等离子体原子发射光谱法测定钒中微量杂质的含量YS/T1142-—2016
本附录规定了钒中AI、B、Cr、Fe、Mo、Nb、Ni、Si、Sn、Ta、Ti、W、Zr含量的测定方法。本附录适用于钒中AI、B、Cr、Fe、Mo、Nb、Ni、Si、Sn、Ta、Ti、W、Zr含量的测定，测定范围见表A.1。用
方法提要
测定范围
测定范围（质量分数）/%
0.058~0.20此内容来自标准下载网
10-0500.20
20.005:0~0.20
0.0050~0.20
0.00500.20
0.0050~0.20
0.0050~0.20
0.0050~0.20
0.0050~0.20
0.00500.20
0.0050~0.20
0.0050~0.20
试料以氢氟酸和硝酸溶解，用电感耦合等离子体原子发射光谱仪进行测定，按工作曲线法计算各元素的浓度，以质量分数表示测定结果。A.3试剂
除另有说明，在分析中仅使用确认为优级纯的试剂和一级水或与其纯度相当的水。硝酸（p1.42g/mL.优级纯）。
A.3.2氢氟酸（p1.16g/mL、优级纯）。A.3.3铝、硼、铬、铁、镍、锡、钛（以上为硝酸介质），钼、锯、钼、钨、锆（以上为硝酸一氢氟酸介质），硅（氢氧化钠介质）单元素标准储存溶液（国家标准样品/国家标准物质），质量浓度为1000μg/mL。混合标准溶液A：分别移取10.00mL铝、硼、铬、铁、镍、锡、钛单元素标准储存溶液于100mLA.3.4
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容量瓶中，补加5mL硝酸（A.3.1）.用水稀释至刻度.混匀。此溶液1mL含铝、硼、铬、铁、镍、锡、钛各100μg。
A.3.5混合标准溶液B：分别移取10.00mL钼、锯、钮、钨、锆单元素标准储存溶液于100mL塑料容量瓶中，补加1mL氢氟酸（A.3.2）,5mL硝酸（A.3.1），用水稀释至刻度，混勾。此溶液1mL含钼、锯、钼、钨、锆各100ug。
A.3.6硅标准溶液：移取10.00mL硅单元素标准储存溶液于100mL塑料容量瓶中，加入5mL硝酸（A.3.1)用水稀释至刻度，混勾。此溶液1mL含硅100pg。A.4
电感耦合等离子体原子发射光谱仪。推荐采用表A.2所列测量元素的分析谱线。表A.2
分析步骤
称取试样0.20g.精确至0.0001g。A.5.2
测定次数
独立地进行两次测定，取其平均值。A.5.3
空白试验
随同试料做空白试验。
测量元素的分析谱线
分板谱线/nm
A.5.4溶液的制备
A.5.4.1试料溶液的制备
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将试料（A.5.1）置于聚四氟乙烯烧杯中，以水润湿，加人10mL硝酸（A，3.1）、2mL氢氟酸（A.3.2），加热至试料溶解完全，取下冷却，移入100mL塑料容量瓶中，稀释至刻度，混勾。A.5.4.2标准系列溶液的配制
准确移取0mL、0.20mL0.50mL、1.00mL5.00mL、10.00mL混合标准溶液A（A.3.4）于6个100mL容量瓶中，分别加入5mL硝酸（A.3.1)，以水稀释至刻度，混匀。此标准溶液中1mL含0μg、0.2#、0.5u、1.0#名、5.0ug、10.0ug的铝、硼、铬、铁、镍、锡、钛。准确移取0mL0.20mL0.50mL、1.00mL、5.00mL、10.00mL混合标准溶液BA.3.5）于6个100mL塑料容量瓶中，分别加人5mL硝酸（A.3.1）、1mL氢氟酸（A.3.2），以水稀释至刻度，混匀。此标准溶液中1mL含0μg.0.2μg、0.5μg、1.0μg、5.0μg、10.0μg的钼、锯、钼、8、。准确移取0mL、0.20mL、0.50mL、1.00mL、5.00mL、10.00mL硅标准溶液（A.3.6）于6个100mL容量瓶中，分别加人5mL硝酸（A.3.1），以水稀释至刻度，混匀。0.2ug、0.5ug、1.0ug、5.0μg、10.0ug的硅。A.5.5测量
此标准溶液中1mL含0μg、
A.5.5.1，于电感耦合等离子体原子发射光谱仪上，待仪器运行稳定后，在选定的仪器工作条件下，用配制好的系列标准溶液（A5.4.2）进行标准化或绘制标准工作曲线客元素工作曲线相关系数应在0.999以上：否则需重新进行标准化或重新配制系列标准溶液进行标演化。A.5.5.2测量分析试液（A.5.4.1）及空白试液的光谱强度根据工作曲线，仪器自动进行数据处理，方
计算并输出各待测元素的质量浓度。A.6分析结果的计算
被测元素（AI、B、Cr、Fe、Mo、Nb、Ni、Si、Sn、Ta、TiW、Zr）含量wM以质量分数计，按式（A.1)计算：Me
式中：
区X10-6
CpMe-pdl
试液中被测各元素的质量浓度，单值为微克每毫升（ug/mL)；PMe
空白溶液中被测元素的质量浓度单位为微克每毫升（ug/mL）：试液总体积，单位为毫升（mL）试料质量单位为克（g）。
A.7允许差
实验室之间分析结果的差值应不大于表A.3所列允许差。表A,3允许差
>0.0050~0.010
>0.010~0.050
>0.050~0.20
允许差/%
.(A.1)
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A.8试验报告
试验报告应包括下列内容：
试样；
使用的标准（包括发布或出版年号）：分析结果及其表示；
与基本分析步骤的差异；
测定中观察的异常现象；
试验日期。
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