中华人民共和国有色金属行业标准 YS/T1142-2016 钒蒸发料 Evaporated vanadium material 2016-07-11 发布 中华人民共和国工业和信息化部发布 2017-01-01 实施 前言 本标准按照 GB/T 1.1-2009 的规则起草，由全国有色金属标准化技术委员会（SAC/TC243）提出并归口。本标准起草单位为有研亿金新材料有限公司，参与起草单位包括北京有色金属研究总院。本标准主要起草人有张涛、张巧霞、陈明、徐国进、张殿凯、张玉利、贾存锋、贺昕、王兴权、庞欣、吕超、雷争。 1 范围 本标准规定了半导体行业用钒蒸发料的要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及质量证明书与合同（或订货单）内容。适用于片状和柱状钒蒸发料。 2 规范性引用文件 下列文件对于本标准的应用是必不可少的。凡注日期的引用文件，其注日期版本适用于本标准；凡不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有修改单）适用于本标准。 - GB/T 2828.1 按接收质量限（AQ）计数抽样检验程序 3 要求 3.1 产品分类 产品按纯度分为 IC-V99.9 和 IC-V99.95 两个等级，主要分为片状和柱状两种形态。 3.2 化学成分 产品中钒的含量按减量法计算，即 100% 减去表中规定杂质实测总和。主要杂质及限值如下（质量分数/%）： - AI: IC-V99.9 0.02, IC-V99.95 0.008 - Si: 0.04, 0.025 - B: 0.001, 0.001 - Sn: 0.005, 0.005 - Fe: 0.01, 0.01 - Cr: 0.002, 0.002 - Mo: 0.01, 0.01 - Ti: 0.005, 0.005 - W: 0.005, 0.005 - Ta: 0.002, 0.002 - Nb: 0.01, 0.005 - Zr: 0.001, 0.002 - Ni: 0.002, 0.001 3.3 几何尺寸及允许偏差（单位：mm） - 片状: A 边长 10~15 ±0.5, B 边长 10~15 ±0.5 - 柱状: C 直径 2 ±0.2, D 直径 3~6 ±0.2, L 长度 6 ±0.5 注：经双方协商可提供其他规格及允许偏差。 3.4 外观质量 产品表面应光亮平整，边角完整，无飞边毛刺、夹杂和裂纹。表面应清洁，无油污、锈蚀、颗粒附着或其他污染。端面或表面允许轻微冲、剪裁痕迹。 4 试验方法 - 产品 IC-V99.9 的化学成分分析按附录 A 进行，IC-V99.95 按附录 B 进行。 - 几何尺寸用相应精度量具测定。 - 外观质量用目视检查，必要时使用 10 倍放大镜鉴别。 5 检验规则 5.1 检查与验收 产品由供方检验部门进行检验，保证符合本标准及合同（或订货单）规定，并填写质量证明书。需方应对收到产品按本标准复验，如复验结果不符，应在收到产品一个月内提出，由供需双方协商解决，如需仲裁，取样应由双方共同进行。