YS/T 791-2012
基本信息
标准号： YS/T 791-2012
中文名称：铂靶
标准类别：其他行业标准
英文名称：Platinum target
标准状态：现行
发布日期：2012-11-07
实施日期：2013-03-01
出版语种：简体中文
下载格式：.pdf .zip
标准分类号
标准ICS号：冶金>>有色金属>>77.120.99其他有色金属及其合金
中标分类号：冶金>>有色金属及其合金产品>>H68贵金属及其合金
关联标准
出版信息
出版社：中国标准出版社
页数：8页
标准价格：14.0
出版日期：2013-03-01
相关单位信息
起草人：王永辉、朱晓光、杨永刚、杨华、程轶欧、雷继锋、熊晓东、江轩
起草单位：有研亿金新材料股份有限公司
归口单位：全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)
发布部门：中华人民共和国工业和信息化部
主管部门：全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)
标准简介
本标准规定了铂靶的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及合同或订货单。
本标准适用于半导体器件用的各类铂溅射靶材，其他用途的铂靶材也可参照使用。
本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。
本标准由全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC243)归口。
本标准由有研亿金新材料股份有限公司负责起草。
本标准主要起草人:王永辉、朱晓光、杨永刚、杨华、程轶欧、雷继锋、熊晓东、江轩。
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T1182 产品几何技术规范(GPS) 几何公差 形状、方向、位置和跳动公差标注
GB/T1419—2004 海绵铂
GB/T15077—2008 贵金属及其合金材料几何尺寸测量方法
本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。
本标准由全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC243)归口。
本标准由有研亿金新材料股份有限公司负责起草。
本标准主要起草人:王永辉、朱晓光、杨永刚、杨华、程轶欧、雷继锋、熊晓东、江轩。
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T1182 产品几何技术规范(GPS) 几何公差 形状、方向、位置和跳动公差标注
GB/T1419—2004 海绵铂
GB/T15077—2008 贵金属及其合金材料几何尺寸测量方法
标准图片预览
标准内容
ICS 77.120. 99
中华人民共和国有色金属行业标准YS/T791—2012
2012-11-07发布
Platinumtarget
2013-03-01实施
中华人民共和国工业和信息化部发布
本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。本标准由全国有色金属标准化技术委员会（SAC/TC243)归口。本标准由有研亿金新材料股份有限公司负责起草。本标准主要起草人：王永辉、朱晓光、杨永刚、杨华、程轶欧、雷继锋、熊晓东、江轩。YS/T791-2012
1范围
YS/T791--2012
本标准规定了铂靶的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及合同或订货单。本标准适用于半导体器件用的各类铂溅射靶材（以下简称铂靶），其他用途的铂靶材也可参照使用。2规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。GB/T1132产品几何技术规范（GPS）几何公差形状、方向、位置和跳动公差标注GB/T1419—2004海绵铂
GB/T15077-2008贵金属及其合金材料几何尺寸测量方法·3要求
、3.1产品分类
铂靶按照纯度分为IC-Pt99.95、IC-Pt99.99两个牌号。外形主要为圆形和矩形。3.2化学成分
铂靶的化学成分应符合GB/T1419一2004中的Pt99.95及Pt99.99的规定，未规定元素和挥发物控制限及分析方法的，由供需双方协商确定。3.3外观质量
3.3.1铂靶表面应平整，无划伤、裂纹、凸起等缺陷；无颗粒附加物和其他沾污；应清洁光滑，无指痕，无油污和锈蚀。
3.3.2铂靶表面粗糙度Ra值应不大于1.6μm。3.4几何尺寸与允许偏差
3.4.1圆形铂靶的直径Φ主要有25mm~300mm，厚度通常为1mm~10mm。3.4.2矩形铂靶的尺寸主要有：长度20mm~300mm，宽度20mm~300mm，厚度通常为1mm~10mm，倒角半径R通常为0.5mm~3mm。3.4.3圆彩和矩形铂靶的尺寸及其允许偏差应符合表1的规定。经双方协商，可提供其他规格及允许偏差的铂勒！。
3.4.4铂靶的几何公差（平行度、垂直度等）：若需方有特殊要求，可按技术协议或需方图纸的公差要求。
YS/T791—2012
直径中
3.5内部质
几何尺寸
25~100
>100~300
20~100
>100~300
允许偏差
铂靶的内部不应有分层、疏松、夹杂和气孔等缺陷，由供方的生产工艺保证。4试验方法
4.1铂靶化学成分的分析方法按GB/T1419一2004标准的附录B执行。单位为旁米
允许偏差
4.2外观质量用目视检查，如发现异常现象，用10倍放大镜鉴别；表面粗糙度由粗糙度仪检测。4.3铂靶几何尺寸的测量按GB/T15077一2008标准的方法1直接测量法执行；铂靶几何公差的测量按照GB/T1182的规定进行。客户特别要求，可按技术协议或按需方图纸、来样检查。5
检验规则
5.1检验和验收
5.1.1产品应由供方检验部门进行检验，保证产品质量符合本标准（或订货合同）的规定，并填写质量证明书。
5.1.2需方应对收到的产品按本标准的规定进行复验。如复验结果与本标准（或订货合同）的规定不符时，应在收到产品之日起一个月内向供方提出，由供需双方协商解决。如需仲裁，仲裁取样应由供需双方在需方场所共同进行。
5.2组批
产品应成批提交验收。每批应由同一投料批、同一规格的产品组成。5.3检验项目及取样
检验项目、取样位置及数量应符合表2的规定。表2
检验项目
化学成分
外观质量
几何尺寸
取样位置
铸锭缩孔下
5.4检验结果的判定
取样数量
批铸锭的20%进行抽样，但不少于1个逐件
要求的章条号
检验的章条号
化学成分不合格时，判该批铸锭不合格。允许供方对剩余铸锭进行全检，将合格者重新组批。5.4.2外观质量不合格时，判该件产品不合格。5.4.3几何尺寸不合格时，判该件产品不合格。6标志、包装、运输、贮存
6.1标志
在已检验合格的每块铂靶上进行如下标记：a）产品名称；
纯度；
规格；
批号。
包装、运输和贮存
产品用防静电塑料袋真空封装，并放在防止碰撞的包装盒内。每批产品应附标签，注明产品名称、纯度、批号、规格、净重、毛重、生产日期。YS/T791—2012
产品运输过程中应防止碰伤、擦伤，不得损坏和沾污产品，并保证运输过程中靶材完整。产品应保存于清洁、干燥的环境中。质量证明书
每批产品应附有质量证明书，注明：a)
供方名称；
产品名称；
纯度；
规格；
数量；
净重；
批号；
检测报告和技术监督部门印记；生产日期；
执行标准号。
订货单（或合同）内容
订购本标准所列产品的订货单（或合同)内应包括下列内容：a)
产品名称；
纯度；bzxz.net
规格；
供货状态；
数量；
执行标准号；
其他。
YS/T791-2012
中华人民共和国有色金属
行业标
YS/T791—2012
中国标准出版社出版发行
北京市朝阳区和平里西街甲2号（100013）北京市西城区三里河北街16号（100045)网址www.spc.net.cn
总编室：（010)64275323发行中心：（010)51780235读者服务部：(010)68523946
中国标准出版社秦皇岛印刷厂印刷各地新华书店经销
开本880×1230
印张0.5
字数7千字
2013年3月第一版
反2013年3月第一次印刷
书号：155066·2-24565
由本社发行中心调换
如有印装差错
版权专有侵权必究
举报电话：(010)68510107
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中华人民共和国有色金属行业标准YS/T791—2012
2012-11-07发布
Platinumtarget
2013-03-01实施
中华人民共和国工业和信息化部发布
本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。本标准由全国有色金属标准化技术委员会（SAC/TC243)归口。本标准由有研亿金新材料股份有限公司负责起草。本标准主要起草人：王永辉、朱晓光、杨永刚、杨华、程轶欧、雷继锋、熊晓东、江轩。YS/T791-2012
1范围
YS/T791--2012
本标准规定了铂靶的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及合同或订货单。本标准适用于半导体器件用的各类铂溅射靶材（以下简称铂靶），其他用途的铂靶材也可参照使用。2规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。GB/T1132产品几何技术规范（GPS）几何公差形状、方向、位置和跳动公差标注GB/T1419—2004海绵铂
GB/T15077-2008贵金属及其合金材料几何尺寸测量方法·3要求
、3.1产品分类
铂靶按照纯度分为IC-Pt99.95、IC-Pt99.99两个牌号。外形主要为圆形和矩形。3.2化学成分
铂靶的化学成分应符合GB/T1419一2004中的Pt99.95及Pt99.99的规定，未规定元素和挥发物控制限及分析方法的，由供需双方协商确定。3.3外观质量
3.3.1铂靶表面应平整，无划伤、裂纹、凸起等缺陷；无颗粒附加物和其他沾污；应清洁光滑，无指痕，无油污和锈蚀。
3.3.2铂靶表面粗糙度Ra值应不大于1.6μm。3.4几何尺寸与允许偏差
3.4.1圆形铂靶的直径Φ主要有25mm~300mm，厚度通常为1mm~10mm。3.4.2矩形铂靶的尺寸主要有：长度20mm~300mm，宽度20mm~300mm，厚度通常为1mm~10mm，倒角半径R通常为0.5mm~3mm。3.4.3圆彩和矩形铂靶的尺寸及其允许偏差应符合表1的规定。经双方协商，可提供其他规格及允许偏差的铂勒！。
3.4.4铂靶的几何公差（平行度、垂直度等）：若需方有特殊要求，可按技术协议或需方图纸的公差要求。
YS/T791—2012
直径中
3.5内部质
几何尺寸
25~100
>100~300
20~100
>100~300
允许偏差
铂靶的内部不应有分层、疏松、夹杂和气孔等缺陷，由供方的生产工艺保证。4试验方法
4.1铂靶化学成分的分析方法按GB/T1419一2004标准的附录B执行。单位为旁米
允许偏差
4.2外观质量用目视检查，如发现异常现象，用10倍放大镜鉴别；表面粗糙度由粗糙度仪检测。4.3铂靶几何尺寸的测量按GB/T15077一2008标准的方法1直接测量法执行；铂靶几何公差的测量按照GB/T1182的规定进行。客户特别要求，可按技术协议或按需方图纸、来样检查。5
检验规则
5.1检验和验收
5.1.1产品应由供方检验部门进行检验，保证产品质量符合本标准（或订货合同）的规定，并填写质量证明书。
5.1.2需方应对收到的产品按本标准的规定进行复验。如复验结果与本标准（或订货合同）的规定不符时，应在收到产品之日起一个月内向供方提出，由供需双方协商解决。如需仲裁，仲裁取样应由供需双方在需方场所共同进行。
5.2组批
产品应成批提交验收。每批应由同一投料批、同一规格的产品组成。5.3检验项目及取样
检验项目、取样位置及数量应符合表2的规定。表2
检验项目
化学成分
外观质量
几何尺寸
取样位置
铸锭缩孔下
5.4检验结果的判定
取样数量
批铸锭的20%进行抽样，但不少于1个逐件
要求的章条号
检验的章条号
化学成分不合格时，判该批铸锭不合格。允许供方对剩余铸锭进行全检，将合格者重新组批。5.4.2外观质量不合格时，判该件产品不合格。5.4.3几何尺寸不合格时，判该件产品不合格。6标志、包装、运输、贮存
6.1标志
在已检验合格的每块铂靶上进行如下标记：a）产品名称；
纯度；
规格；
批号。
包装、运输和贮存
产品用防静电塑料袋真空封装，并放在防止碰撞的包装盒内。每批产品应附标签，注明产品名称、纯度、批号、规格、净重、毛重、生产日期。YS/T791—2012
产品运输过程中应防止碰伤、擦伤，不得损坏和沾污产品，并保证运输过程中靶材完整。产品应保存于清洁、干燥的环境中。质量证明书
每批产品应附有质量证明书，注明：a)
供方名称；
产品名称；
纯度；
规格；
数量；
净重；
批号；
检测报告和技术监督部门印记；生产日期；
执行标准号。
订货单（或合同）内容
订购本标准所列产品的订货单（或合同)内应包括下列内容：a)
产品名称；
纯度；bzxz.net
规格；
供货状态；
数量；
执行标准号；
其他。
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中华人民共和国有色金属
行业标
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北京市朝阳区和平里西街甲2号（100013）北京市西城区三里河北街16号（100045)网址www.spc.net.cn
总编室：（010)64275323发行中心：（010)51780235读者服务部：(010)68523946
中国标准出版社秦皇岛印刷厂印刷各地新华书店经销
开本880×1230
印张0.5
字数7千字
2013年3月第一版
反2013年3月第一次印刷
书号：155066·2-24565
由本社发行中心调换
如有印装差错
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