YS/T 791—2012 铂靶 前言 本标准按照GB/T 1.1—2009给出的规则起草，由全国有色金属标准化技术委员会（SAC/TC243）归口，由有研亿金新材料股份有限公司负责起草。主要起草人包括王永辉、朱晓光、杨永刚、杨华、程轶欧、雷继锋、熊晓东、江轩。 1 范围 本标准规定了铂靶的要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮存及合同或订货单等内容。 本标准适用于半导体器件用各类铂溅射靶材（以下简称铂靶），其他用途铂靶材也可参照使用。 2 规范性引用文件 GB/T 1132 产品几何技术规范（形状、方向、位置和跳动公差） GB/T 1419—2004 海绵铂 GB/T 15077—2008 贵金属及其合金材料几何尺寸测量方法 3 要求 3.1 产品分类 铂靶按纯度分为IC-Pt99.95和IC-Pt99.99两个牌号，外形主要为圆形和矩形。 3.2 化学成分 铂靶化学成分应符合GB/T 1419—2004中Pt99.95及Pt99.99规定。未规定元素及挥发物控制限由供需双方协商确定。 3.3 外观质量 铂靶表面应平整，无划伤、裂纹、凸起等缺陷，无颗粒附着物及污染；表面应清洁光滑，无指痕、油污和锈蚀。 表面粗糙度Ra≤1.6 μm。 3.4 几何尺寸及允许偏差 圆形铂靶直径25～300 mm，厚度1～10 mm；矩形铂靶长度20～300 mm，宽度20～300 mm，厚度1～10 mm，倒角半径R为0.5～3 mm。 尺寸允许偏差： 直径25～100 mm：±0.1 mm 直径>100～300 mm：±0.15 mm 矩形边长20～100 mm：±0.1 mm 矩形边长>100～300 mm：±0.15 mm 厚度允许偏差：±0.1 mm 几何公差（如平行度、垂直度等）按需方技术协议或图纸要求执行。 3.5 内部质量 铂靶内部不应有分层、疏松、夹杂及气孔等缺陷，由供方工艺保证。 4 试验方法 化学成分按GB/T 1419—2004附录B执行。 外观质量采用目视检查，异常用10倍放大镜鉴别，表面粗糙度用粗糙度仪测定。 几何尺寸按GB/T 15077—2008方法1直接测量法进行，几何公差按GB/T 1182规定执行。 5 检验规则 产品按批检验，同一投料批、同一规格为一批。 检验项目包括化学成分、外观质量和几何尺寸。 化学成分不合格则整批判不合格；外观或尺寸不合格则单件判不合格。 6 标志、包装、运输、贮存 合格产品应标注产品名称、纯度、规格及批号，并采用防静电塑料袋包装（后续内容未完整显示）。